（OUTSIDE AIR），經過淨室系統各種處理單元設備之處理後進而得到符合規格 之潔淨空氣。以下 簡單介紹其處理流程：外氣經由外氣空調箱（Make-up Air Unit
Chase），將淨室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合，經由冷卻盤管（Dry Cooling Coil）將回風管道間之回風降溫至淨室要求之規格，透過循環風扇（Fan Filter Unit 或 FFU）帶動淨室的氣流循環帶走微塵及熱量，最後經過超高性能過 濾網（Ultra-low penetration air 或 ULPA Filter）過濾後，供應至 Fab 區。
無塵室空調的特性
LCM 部分部材對溼度變化極為敏感，如 COF、PCBA、B/L 光學膜，些微 的溼度變化均會使部材的膨脹量產生變化，故空調系統必須24 小時監控 管理之。
5. LCM 廠無塵室室內壓力大小
LCM 廠無塵室室內壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、溼度、
網(ULPA Filter)的壽命，但不能無條件增加，如此將使向外逸散的潔淨空
所有維護保養符合美國ESD/EOS防靜電協會之標準(ESD STM3.1-2000)，並且要 詳加紀錄，以下說明其維護保養之作業程序；
1. 維護保養前，先測量離子風扇平衡及靜電消散時間 測量儀器：離子平衡儀(注意事項：定期校正)
測試標準：採用美國 ESD/EOS 防靜電協會之標準(ESD STM3.1-2000) 2. 離子高壓針長久使用，針頭會附著一些塵粒與塵垢，使用較細砂紙清除，然
後用棉花棒加酒精察拭乾淨。清理風扇扇葉不乾淨部分，先用噴槍噴除積塵 ( 噴槍不可噴到 IC 零件部分 ) ，再用酒精擦拭。
3. 清理結束後，採用儀器測量離子平衡值與靜電消散時間，未達 ESD 標準，
必須做校正與調整，若是在無法調整的狀況下，一必須作出汰換的動作，千 萬不要勉強使用，否則有可能造成反效果，使得模組造成更大的損壞。
三、 離子風扇離子平衡之測試
依美國ESD/EOS 防靜電協會之標準(ESD STM3.1-2000)，離子風扇必須達 靜電消散時間3 秒以內(由 1000VÆ100V)，且通過離子平衡之測試，下列將依離 子風扇的型式及設置位置，來說明離子平衡儀的充電板(Charged plate)應量測位 置：
3. 平置式離子風扇校正
資料來源：美國防靜電協會 圖 5.2 平置式離子風扇校正Charged plate位置圖
2. 吊掛式離子風扇校正
資料來源：美國防靜電協會 圖 5.3 吊掛式離子風扇校正Charged plate位置圖-1
資料來源：美國防靜電協會 圖 5.4 吊掛式離子風扇校正Charged plate位置圖-2
3. 離子棒/離子網校正
資料來源：美國防靜電協會 圖 5.5 離子棒/離子網校正Charged plate位置圖-1
資料來源：美國防靜電協會 圖 5.6 離子棒/離子網校正Charged plate位置圖-2
4. 離子槍/離子噴嘴校正
資料來源：美國防靜電協會 圖 5.7 離子槍/離子噴嘴校正Charged plate位置圖
四、 靜電防護對策-疏導之靜電環選用
最理想的靜電環是使用多蕊的絕緣導線，並在導線的一端或兩端加裝電阻 器。選擇靜電環最好配合實際的需要，每一個工作站至少安裝一個，最重要的是 所有在工作站位置上的工作人員隨時都要配戴靜電環，而不是在特殊狀況時才配 戴，如此才能習慣成自然。工作人員都應該保護自己的工作地盤，即使是董事長 也不能讓它亂拿東西，只有帶上靜電環、接觸工作人員的皮膚或是其他接地方式 排除靜電之後才可接觸物品，袋子、箱子可以拿，但是裸露的零件和電路板絕對 不可以碰。同樣的腕帶也應該發給售後服務部門的維修工作人員配戴，當他們在 移動或更換敏感的零件時，要把腕帶接在機架的接地上，或是選用可直接對導電 地板接觸排放電荷之靜電環。
很多人將靜電環配戴在衣服上面，這是不對的，使用靜電環時一定要與皮膚 直接接觸，傳導靜電的是身體的流汗層而不是衣服，這在人員教育訓練和工程每 日巡檢項目，都必須列為重點項目。另外，頭髮與皮膚是獨立的，靜電環是幫不 上忙的，因此，不要讓頭髮碰到工作檯面上的零件。靜電環一定要直接接地，而 且必須與工作檯面共用同一個接地點，如此可使靜電環內的保護電阻器更安全的 接地。
一般在輸送帶作業時，大多是將所配帶的靜電環的插銷(鱷魚夾)插(夾)在設 於輸送帶的人員接地插座(接地線)上。但是在插銷(鱷魚夾)這種作業情況時必須 注意，銅線是否確實與大地接地，同時每個插銷是否鬆動或鱷魚夾是否夾緊著銅 線，以確保抗靜電的效果。常用的靜電環樣式如下：
1. 可調式鬆緊帶靜電環
優點：長時間佩帶比較不會有不適感
缺點：鬆緊帶容易劣化，使靜電環因無法貼緊皮膚 而失效，接地線可能妨礙作業，無法大範圍作業
圖 5.8 可調式鬆緊帶靜電環 2. 可調式魔鬼粘靜電環
優點：堅固耐用
缺點：長時間佩帶經常引起人員過敏的情況，接地 線可能妨礙作業，無法大範圍作業
圖 5.9 可調式魔鬼粘靜電環 3. 無線式靜電環
優點：使用時可以不受場地限制，作業範圍 大，不會妨礙作業
缺點：依其設計是以電暈原理放電，但在實 際測試中，靜電荷通常要高達3KV 以上，靜 電環才會有放電效果，雖然使用方便，但在 LCM 生產線則不建議使用。
圖 5.10 無線式靜電環 4. 有線靜電環+接地腳踏
優點：不會妨礙作業，作業範圍大
缺點：一定要再有導電地板的區域作業，且地板 的靜電排放效果要佳
圖 5.11 有線靜電環+接地腳踏
五、 LCM各工作站的防靜電措施及管理注意事項
(a). 靜電無塵衣(CLASS10,000~100,000)於清洗完畢後每週量測一
次表面電阻值檢測，表面 電阻值測試通過範圍為 106~1011Ω，藉 以評估無塵衣防護靜電能力。
(b). 無塵鞋及無塵安全鞋/靜電鞋於清洗完畢後每季抽測一次表面 電阻值檢測,鞋底電阻值1*104 to 1*108Ω之間，藉以評估無塵鞋 及無塵安全鞋防護靜電能力。
(c). LCM 無塵衣鞋整體測量方式:
i. 檢點次數:每週一次,於著裝完畢後每週第一次進入 LCM 廠 時測試一次
ii. LED 狀態指示: High fail,Pass 或 Low fail iii. 測試通過範圍:750KΩ~100MΩ
(d). 異樣處理流程:
i. 測試異常者需記錄並由管制口人員先檢查個人服裝有無問 題。
ii. 更換測試通過正常的無塵鞋重新量測。
iii. 無塵衣 Check，低於或高於電阻範圍將予淘汰至 move-in 服使用。
iv. 持續追蹤一星期以 Check OK。
2. 人員基本配備：無塵服裝、靜電環、無塵抗靜電鞋
由於無塵室內的濕度通常須保持在相對溼度55%之乾燥狀態，因此容易 產生靜電；靜電在LCM製程上誘發不良的作用主要為靜電釋放(ESD)，其所引 發的失效率，在產品早期各種失效發生源中佔首位；為了克服靜電釋放的問 題，許多製造商已著手研究各種靜電控制計畫，內容包括製程機儀及人體所 產生的靜電危害。
資料來源：本研究整理
無塵抗靜電服裝
靜電環
無塵抗靜電鞋
圖 5.12 人員防靜電措施基本配備
在人體靜電控制當中，製造業者最常使用的方法是設置"靜電安全工作區
"。使用離子化設備使工作區完全接地，並綁一條接地手環(grounding strap)於 工作人員手上以導離靜電；接地方法對於控制靜電來自工作人員本身非常有 效，惟接地手環方式對於靜電聚集於工作人員衣服上還是無法有效克服；因 此使用具持久性之抗靜電／靜電逸散衣著是達成人體抗靜電之關鍵要素。
一般工作人員之衣著所產生之電荷，通常在5,000至30,000伏特之間，並 須視濕度而定，但許多電子裝置通常在靜電釋放100至300伏特之間就會遭受 破壞；因此在工作室若要嚴謹管制靜電所造成之問題，就必須使用具永久性
抗靜電／靜電逸散衣著並配合靜電管制措施。即使是在靜電管制工作區，具 靜電釋放防護衣著仍然是不可或缺。
此外，若考慮水洗後的因素，則須考慮耐用程度及經濟效益兩因素之影 響。再者，人員本身所穿著之衣物，也是影響靜電產量的一個重要因素，因 此所有現場操作人員所穿著的衣物，則是嚴禁尼龍 (Nylon)及羊毛 (Wool)材 質。
3. 壓著(Bonding)站防護須知
在LCM製程之中，壓著(Bonding)站是直接可接觸TFT端子和薄膜封裝 (Chip On Film ,COF)IC端子的一個站點，由前面各節敘述可知，愈容易直接觸 則愈容易受到ESD的破壞，因此本站點主要就是要使用防護原則中的離子中
會直接經過沖切頭排放出來，若是瞬間電荷量太大，將會是COF IC直接受到 衝擊，但是因為離子槍必須在相當距離才會產生預設的中和效果，所以供料 機構再設計時，也一定要保留有足夠的空間，讓靜電離子槍可取得最有利的 位置設置。
異方性導電膜( Anisotropic Conductive Film, ACF)料卷因為了保持其局 部絕緣特性，因此其結構大部份均為絕緣材，所以在使用時，一樣有與COF 相同的困擾，且因為其幅寬較窄，靜電荷會使ACF產生吸附作用，使得整個 ACF貼附的精度控制極為不易，所以ACF本身的靜電消除，貼附精度控制是 比靜電破壞控制還重要的。
注意事項：
因為在壓著區(pre-Bonding & main-Bonding)兩處，對於溫度及對位 (alignment)精準度有較高的要求，而離子槍的風量是足以影響其溫度特性要求 和對位精度，雖然在Bonding製程的這兩個作業，也是會暴露在ESD的威脅之 中，但是若連最基本的製程條件都無法確保，擔心靜電破壞的顧慮，就是多 餘的了。這是一般在壓著區不設置離子槍的主要原因。
4. 基板壓著檢查（Printed Circuit Board bonding Inspection , PCBI)防護
雖然在PCBI站點是以玻璃為基礎，附加Bonding上了COF及PCBA，使得
儲存大量的靜電荷，在沒有保護膜的情況下，空氣中的微塵會因靜電而直接
位動作，但是如果前述的作業，都無法有效的將電荷值下降，那在組合時玻 璃基板與背光板接觸的瞬間，兩者之間的電位差，將讓生產線產生無法預測 的靜電破壞損失。
(3). 其他零件組裝
PCBA螺絲固定站點，使用電動螺絲起子時應有接地回路，以避免操作
PCBA螺絲固定站點，使用電動螺絲起子時應有接地回路，以避免操作