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ESD防護措施量測作業指導書

(2). 使用設備:PRS-801(E)、Electrodes(2H)、24 inch cable(A-6)、火線(A-7)、

(3). 量測方式:火線(A-7)、水線(A-8)各接於 PRS-801(E)及 Electrodes(2H),

並將24 inch cable (A-6)套入 Electrodes(2H)後拉緊,形成一迴路後,即可 開始量測;量測圖例如下:

(4). 注意事項:

A. 電極及地板須清潔

B. 24 inch cable(A-6)線須拉緊

圖 6.22 導電地板Rtt(點對點) 量測方式

2. 導電地板Rtg (點對地)

(1). 量測目的:測試導電地板 Rtg(點對地)之導電效果(Ω)

(2). 使用設備:PRS-801(E)、Electrodes(H)、Ground Adapter Plug (N)、火線 (A-7)、地線(A-9)

(3). 量測方式:將 N 插於插座上,在將火線(A-7)、地線(A-9)一端接於 PRS-801(E)、火線(A-7)另一端接於 Electrodes(H)及地線(A-9)另一端接於 N,與地板形成一迴路後,即可開始量測;量測圖例如下:

(4). 注意事項:

A. 電極及地板須清潔

B. 注意 N 上的燈顥示接地結果是否正常

圖 6.23 導電地板Rtg (點對地) 量測方式

3. 靜電墊 Rtt(點對點)

(1). 量測目的:測試靜電墊 Rtt(點對點)導電效果(Ω)

(2). 使用設備:PRS-801(E)、Electrodes(2H)、8 inch cable(A-6)、火線(A-7)、

水線(A-8)

(3). 量測方式:火線(A-7)、水線(A-8)各接於 Electrodes(2H)及 PRS-801(E),

並將8 inch cable(A-6)線套於 Electrodes(2H)後拉緊,形成一迴路後,即 可開始量測;量測圖例如下:

(4). 注意事項:

A. 電極及靜電墊須清潔 B. 8 inch cable(A-6)線須拉緊 C. 量測時,勿碰觸待量測物

圖 6.24 靜電墊Rtt(點對點) 量測方式

4. 靜電鏈

(1). 量測目的:測試靜電鏈導電效果(Ω)

(2). 使用設備:PRS-801(E)、PRS-800-INS/PRS-800-MTL (L-7)、二個 PSI-870-MAC (L-4)、火線(A-7) 、水線(A-8)

(3). 量測方式:擺設如圖,L-7 放置靜電鏈下,水線(A-8)一端夾至 L-7(鐵片)、

火線(A-7)一端夾至鐵架上,水線(A-8)及火線(A-7)另一端則接於 PRS-801(E)使其形成迴路,即可量測;量測圖例如下:

(4). 注意事項:

A. (L-7)內有鐵片及壓克力板,鐵片須放置在上方,壓克力板則置於下 方,使之與地板絕緣

B. 貨架上之靜電鏈須接觸到鐵片,不可接觸到地面

圖 6.25 靜電鏈量測方式

5. 靜電椅

(1). 量測目的:測試靜電椅導電效果(Ω)

(2). 使用設備:PRS-801(E)、PRS-800-INS/PRS-800-MTL (L-7)、二個 PSI-870-MAC (L-4)、火線(A-7) 、水線(A-8)、Pony Clamp (O)

(3). 量測方式:擺設如圖,將 Pony Clamp (O)夾至椅背上,水線(A-8)一端夾 至L-7(鐵片)、火線(A-7)一端夾至 Pony Clamp (O)上,水線(A-8) 及火線 (A-7)另一端則接於 PRS-801(E)使其形成迴路,即可量測;量測圖例如下:

(4). 注意事項:

A. (L-7)內有鐵片及壓克力板,鐵片須放置在上方,壓克力板則置於下 方,使之與地板絕緣

B. 靜電椅上之鐵鏈須接觸到鐵片,不可接觸到地面

C. 量測時要將 O(Pony Clamp)夾住一方的隔絕塑膠套取出

圖 6.26 靜電椅量測方式

6. 插座接地

(1). 量測目的:測試插座接地是否正常&電阻值 (2). 使用設備:PGT-602 Ground Circuit Test (F) (3). 量測方式:

A. 測試插座接地是否正常:直接將 PGT-602 Ground Circuit Test (F)插入欲 測試之插座,依據判讀燈號顯示來判斷插座接地是否正常;量測圖例一 如下:

B. 電阻值:將 PGT-602 Ground Circuit Test (F)先按住三秒後,插入欲測試 之插座,螢幕將會顯示讀值;量測圖例二如下:

(4). 注意事項:測試時須在開關處將接地 PIN 扳開 (5). 量測判斷燈號顯示意義:Wiring Indications:

A. {5 NORMAL-正常 B.  NO GROUND-未接地

C. { POLARITY REVERSED-極性相反 D. {{{ NO HOT-没有火線

E. { NO NEUTRAL or HOT/GROUND REVERSED-没有地線 or 火 線、地線接反

圖 6.27 插座接地量測方式

7. 靜電手環(CUFF)

(1). 量測目的:測試靜電手環(CUFF)導電效果(Ω)

(2). 使用設備:PRS-801(E)、2 each PWS-610M Modified Wrist Straps 手環 (A-11)、PWA-805 Wrist Strap Auditor (K)、火線(A-7)、水線(A-8)

(3). 量測方式:擺設如圖,將 2 each PWS-610M Modified Wrist Straps 手環(A-11) 套入PWA-805 Wrist Strap Auditor (K),水線(A-8)及火線(A-7)接於 PWA-805 Wrist Strap Auditor (K) 及 PRS-801(E),再將 K(PWA-805 Wrist Strap Auditor) 的開關按到cuff only,即可量測;量測圖例如下:

(4). 注意事項:

A. 靜電手環(CUFF)量測時,須以套入手腕方式套入(注意正反面)PWA-805 Wrist Strap Auditor (K)

B. 須將開關按到 cuff only(環)

圖 6.28 靜電手環(CUFF) 量測方式

8. 靜電手環(CORD)

(1). 量測目的:測試靜電手環(CORD)導電效果(Ω)

(2). 使用設備:PRS-801(E)、2 each PWS-610M Modified Wrist Straps 手鏈 (A-11)、PWA-805 Wrist Strap Auditor (K)、火線(A-7)、水線(A-8)

(3). 量測方式:擺設如圖,將 2 each PWS-610M Modified Wrist Straps 手鏈(A-11) 套入PWA-805 Wrist Strap Auditor (K),水線(A-8)及火線(A-7)接於 PWA-805 Wrist Strap Auditor (K)及 PRS-801(E),再將 PWA-805 Wrist Strap Auditor (K) 的開關按到cord only,即可量測;量測圖例如下:

(4). 注意事項:

A. 靜電手環(CORD)量測時,手鏈兩端都須接於 PWA-805 Wrist Strap Auditor (K)

B. 須將開關按到 cord only(鏈)

圖 6.29 靜電手環(CORD) 量測方式

9. 靜電手環(CUFF&CORD)

(1). 量測目的:測試靜電手環(CUFF&CORD)導電效果(Ω)

(2). 使用設備:PRS-801(E)、2 each PWS-610M Modified Wrist Straps (A-11)、

PWA-805 Wrist Strap Auditor (K)、火線(A-7)、水線(A-8)

(3). 量測方式:擺設如圖,將手環(A-11)套入 PWA-805 Wrist Strap Auditor (K),

手鏈(A-11)一端套入 PWA-805 Wrist Strap Auditor (K)、另一端扣上手環 (A-11),再將水線(A-8)及火線(A-7)接於 PWA-805 Wrist Strap Auditor (K)及 PRS-801(E),之後將 PWA-805 Wrist Strap Auditor (K)的開關按到 cuff &

cord,即可量測;量測圖例如下:

(4). 注意事項:須將開關按到 cuff & cord

圖 6.30 靜電手環(CUFF&CORD) 量測方式

10. 靜電環測試器

(1). 量測目的:測試靜電環測試器是否正常

(2). 使用設備:PAR-809B (J)、火線(A-7)、水線(A-8)、

(3). 量測方式:擺設如圖,將火線(A-7)兩端各接於 PAR-809B (J)及靜電環測試 器,水線(A-8)一端接於 PAR-809B (J)另一端則在測試時碰觸靜環測試器上 之鐵面,並在Select Resistance Down/UP 上選取適當之 spec,當水線(A-8) 另一端碰觸靜電環測試器即可測得是否正常;量測圖例如下:

(4). 注意事項:

A. 選取 3 組 data 測試,即小於 0.8×106Ω、0.8×106Ω~1.2×106Ω、大於 1.2×106Ω,量測圖例如下圖步驟一 ~ 四所示

B. 水線(A-8)另一端一定要碰觸靜電環測試器上之鐵面

圖 6.31 靜電環測試器量測方式

11. 離子棒(Ion bar)

(1). 量測目的:測試 Ion bar 靜電消散效果是否良好

(2). 使用設備:Wand (A-1)、Cable (A-4)、PFM-711A (B)、PSC-730(C)、PDT-740B (D)、CPM-720(P)

(3). 量測方式:

A. 步驟一:先將 Wand( A-1)接於 PSC-730(C);Cable (A-4)接於 PFM-711A (B) 及PDT-740B (D);CPM-720(P)套入 PFM-711A (B)後,將 B 設定為 kv/inch 單位,並以Wand (A-1)接觸 P(供給靜電),直到 B 的數值為 1KV 以上後 B. 步驟二:將之拿至Ion bar 下消散靜電

C. 步驟三:此時PDT-740B (D)開始讀秒,直到 PFM-711A (B)值降至 0.1KV D. 步驟四:量測圖例如下:

(4). 注意事項:

A. Wand (A-1)組接觸 P 時須按至+1KV B. 接觸完之 P,不可以任何東西觸摸

圖 6.32 離子棒(Ion bar) 量測方式

12. 機台接地系統(機台位於導電地板上) (1). 量測目的:測試機台是否接地(Ω)

(2). 使用設備:PRS-801(E)、二個 PSI-870-MAC (L-4)、火線(A-7)、水線(A-8) (3). 量測方式:先找出機台接地線之源頭(通常位於柱位上之配電箱內)後,將

火線(A-7)、水線(A-8)一端接於 PRS-801(E),火線(A-7)另一端接於機台接 地線之源頭(如圖步驟一)、水線(A-8)另一端則接於機台上任一金屬體(如圖 步驟二),形成一迴路後,即可開始量測;量測圖例如下(若機台分為許多 black,須在每一 black 間量測是否有導通):

(4). 注意事項:接觸機台部份,須確認避免夾到烤漆或絕緣體

圖 6.33 機台接地系統(機台位於導電地板上) 量測方式

13. 靜電袋(表面電阻)

(1). 量測目的:測試靜電袋導電效果(Ω)

(2). 使用設備:PRS-801(E)、Electrodes(H)、火線(A-7)、水線(A-8)、地線(A-9)、

BNC Adpater (A-2)、PRF-911 Concentric Ring (I)、PTB-920 Dual Test Bed (Q) (3). 量測方式:先將 PRF-911 Concentric Ring( I)套於靜電袋內,後放置於

PTB-920 Dual Test Bed(Q)上(黑色塑膠面朝上),再將 Electrodes(H)疊於靜 電袋上方,之後依圖所示將火線(A-7)、水線(A-8)、地線(A-9)、BNC Adpater (A-2)接於 PRS-801(E)及 PRF-911 Concentric Ring (I),形成一迴路後,即可 開始量測;量測圖例如下:

(4). 注意事項:

A. 電極須清潔

B. BNC Adpater (A-2) 接於 PRF-911 Concentric Ring (I)時需旋轉扣上 C. PRF-911 Concentric Ring (I)測試時需將保護蓋取下

圖 6.34 靜電袋(表面電阻) 量測方式

14. 靜電手套(表面電阻)

(1). 量測目的:測試靜電手套導電效果(Ω)

(2). 使用設備:PRS-801(E)、Electrodes(H)、火線(A-7)、水線(A-8)、地線(A-9)、

BNC Adpater (A-2)、PRF-911 Concentric Ring(I)、PTB-920 Dual Test Bed (Q) (3). 量測方式:先將 PRF-911 Concentric Ring (I)套於靜電手套內,後放置於

PTB-920 Dual Test Bed (Q)上(黑色塑膠面朝上),再將 Electrodes(H)疊於靜 電手套上方,之後依圖所示將火線(A-7)、水線(A-8)、地線(A-9)、BNC Adpater (A-2)接於 PRS-801(E)及 PRF-911 Concentric Ring (I),形成一迴路 後,即可開始量測;量測圖例如下:

(4). 注意事項:

A. 電極須清潔

B. BNC Adpater (A-2) 接於 PRF-911 Concentric Ring (I)時需旋轉扣上 C. PRF-911 Concentric Ring (I)測試時需將保護蓋取下

圖 6.35 靜電手套(表面電阻) 量測方式

15. 無塵服

(1). 量測目的:測試無塵服導電效果(Ω)

(2). 使用設備:PRS-801(E)、Electrodes(2H)、火線(A-7)、水線(A-8)、軟墊(面 積須大於無塵服及電阻值須大於1012Ω)

(3). 量測方式:

A. 方式一(袖口對袖口):將 Electrodes(2H)各放置袖口處,後將火線(A-7)、

地線(A-8)各接於 PRS-801(E)及 Electrodes(2H),與無塵服形成一迴路後,

即可開始量測;量測點(一)如下:

B. 方式二(點對點):將 Electrodes(2H)各放置拉鏈左右處,後將火線(A-7)、

水線(A-8)各接於 PRS-801(E)及 Electrodes(2H),與無塵服形成一迴路後,

即可開始量測;量測點(二)如下:

(4). 注意事項:

A. 電極 Electrodes(2H)及軟墊須清潔 B. 量測點之無塵服需平整

圖 6.36 無塵服量測方式

16. 無塵鞋

(1). 量測目的:測試無塵鞋導電效果(Ω)

(2). 使用設備:PRS-801(E)、火線(A-7)、水線(A-8)、PFA-860 Footwear Auditor (L-1)、一個 PSI-870-MAC (L-4)、鍚箔

(3). 量測方式:撕一長條鍚箔(長度須露出無塵鞋外)放入無塵鞋內,後穿上無 塵鞋(須踩住鍚箔)踏在 PFA-860 Footwear Auditor (L-1)板上,再將火線 (A-7)、水線(A-8)、一個 PSI-870-MAC (L-4)依圖示相接形成一迴路後,即 可開始量測;量測圖例如下:

(4). 注意事項:穿上無塵鞋,腳須踩住鍚箔

圖 6.37 無塵鞋量測方式

17. 聚丙烯包裝箱(polypropylene box - PP box) (1). 量測目的:測試 PP box 導電效果(Ω)

(2). 使用設備:PRS-801(E)、Electrodes(2H)、火線(A-7)、水線(A-8)

(3). 量測方式:火線(A-7)、水線(A-8)各接於 Electrodes(2H)及 PRS-801(E),後 置於PP box 上,形成一迴路後,即可開始量測;量測圖例如下:

(4). 注意事項:

A. 電極及與 PP box 接觸面上須清潔 B. 量測時,勿碰觸待量測物

圖 6.38 聚丙烯包裝(PP-Box)箱量測方式

18. 裝載匣(Cassette)

(1). 量測目的:測試 Cassette 導電效果(Ω)

(2). 使用設備:PRS-801(E)、二個 PSI-870-MAC (L-4)、火線(A-7) 、水線(A-8) PRS-800-INS/PRS-800-MTL (L-7)

(3). 量測方式:

A. 材質量測:火線(A-7)、水線(A-8)各接於 PRS-801(E)及二個 PSI-870-MAC (L-4),後將兩端夾至預量測部份,形成一迴路後,即可開始量測;量測 圖例一及圖例二如下:

(A-8)一端夾至 L-7(鐵片)、火線(A-7)一端夾至 Cassette 之 pin 上,水線(A-8) 及火線(A-7)另一端則接於 PRS-801(E)使其形成迴路,即可量測;量測圖 例如下:

(4). 注意事項:

A. (L-7)內有鐵片及壓克力板,鐵片須放置在上方,壓克力板則置於下方,

使之與地板絕緣 B. 量測時,勿碰觸待量測物

圖 6.39 裝載匣(Cassette) 量測方式

19. 人工搬運車 ( Manual Guided Vehicle - MGV) (1). 量測目的:測試 MGV 導電效果(Ω)

(2). 使用設備:PRS-801(E)、一個 PSI-870-MAC (L-4)、一個 Electrodes(2H)、

火線(A-7) 、水線(A-8) PRS-800-INS/PRS-800-MTL (L-7)

(3). Over all 量測方式:擺設如型號一及型號二,L-7 放置 MGV 輪子上,水線 (A-8)一端夾至 L-7(鐵片)、火線(A-7)一端連接一個 Electrodes(2H)放至 Cassette 放置處,地線(A-8)及火線(A-7)另一端則接於 PRS-801(E)使其形成 迴路,即可量測:

(4). 注意事項:

A. 電極及與 MGV 接觸面上須清潔

B. (L-7)內有鐵片及壓克力板,鐵片須放置在上方,壓克力板則置於下方,

使之與地板絕緣

C. 量測時,勿碰觸待量測物

圖 6.40 人工搬運車 ( Manual Guided Vehicle - MGV) 量測方式

20. 黑色靜電箱

(1). 量測目的:測試黑色靜電箱導電效果(Ω)

(2). 使用設備:PRS-801(E)、二個 PSI-870-MAC (L-4)、火線(A-7)、水線(A-8)、

二個Electrodes(2H)、PRS-800-INS/PRS-800-MTL (L-7) (3). 量測方式:

A. 材質量測(步驟一):火線(A-7)、水線(A-8)各接於 PRS-801(E)及二個 PSI-870-MAC (L-4),後將兩端夾至預量測部份,形成一迴路後,即可開 始量測

B. 材質量測(步驟二):火線(A-7)、水線(A-8)各接於 PRS-801(E)及二個 Electrodes(2H),後將放至預量測部份,形成一迴路後,即可開始量測 C. Over all 量測方式:擺設如(步驟三),L-7 放置黑色靜電箱下,水線(A-8)

一端夾至L-7(鐵片)、火線(A-7)一端夾至黑色靜電箱內,水線(A-8)及火 線(A-7)另一端則接於 PRS-801(E)使其形成迴路,即可量測;量測圖例如 下:

(4). 注意事項:

A. (L-7)內有鐵片及壓克力板,鐵片須放置在上方,壓克力板則置於下方,

使之與地板絕緣 B. 量測時,勿碰觸待量測物

圖 6.41 黑色靜電箱量測方式

21. 置物架

(1). 量測目的:測試置物架導電效果及層與層間是否導通(Ω)

(2). 使用設備:PRS-801(E)、PRS-800-INS/PRS-800-MTL (L-7)、二個

PSI-870-MAC (L-4)or Electrodes(2H)-可接觸預量測物即可、火線(A-7) 、 水線(A-8)

(3). 量測方式:

A. Over all 量測方式:擺設如步驟一,L-7 放置靜電鏈下,地線(A-8)一端夾 至L-7(鐵片)、火線(A-7)一端夾至鐵架上,水線(A-8)及火線(A-7)另一端 則接於PRS-801(E)使其形成迴路,即可量測;量測圖例如下:

B. 層與層間量測方式:擺設如步驟二,可將一 Electrodes 即電極固定於一層 貨架上,另一電極移動於每一層,使其形成迴路,即可量測

(4). 注意事項:

A. (L-7)內有鐵片及壓克力板,鐵片須放置在上方,壓克力板則置於下方,

使之與地板絕緣

B. 貨架上之靜電鏈須接觸到鐵片,不可接觸到地面 C. 量測時,勿碰觸待量測物

圖 6.42 置物架量測方式

第柒章 結論與建議

本研究提供一個靜電防護計畫,以及廠房、設備的施工管理要領,並以研究 個案為例,說明生產線的防護配置及防護效能的量測,讓LCM 模組的製造環境 能更臻完善。

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