建議

因製程排放之化學物質成份與種類複雜，其中各化合物之物理化 學特性互異，且在製程流程中環環相扣，廢氣濃度削減控制其實與許 多細節有著不可忽略的相關性，針對本研究執行相關數據資料討論，

所匯整的建議如下列：

1. 本研究所建立的方法經過品保品管規範與實場採樣效率評 估後，相對於傳統或公告採樣方法(如 Canister/Bag-GC-MS) 所採集的樣品，以溶劑類化合物居多，如異丙醇(IPA)、丙酮 (ACO)與二甲基硫(DMS)等化合物，更適合針對高沸點的製 程廢氣濃度的調查，因此建議將高\低沸點的採樣分析方法進 行區分，使得不同特性的廢氣可以各自合宜的模式可以評 估。

2. 本方法在採集去光阻製程廢氣的規劃上，因大部分所使用的 產品系列所含主要成分乙醇胺(MEA)具有鹼性的特性，因此

在採樣設備的配置規劃上，加入了 pH 試紙與指示劑的即時 顯示。但是如果採集的污染物為光阻塗佈製程廢氣時，因主 要成份為中性的有機物，因此必須注意採樣量與採樣破出的 問題。

3. 化學需氧量(COD)與總有機碳測定(TOC)是水中有機物污染 最常用的指標之一，因此本研究於實廠測試時也加入 COD 相關的測試，但由於測試的樣品數量甚少，相對之代表性可 能有待評估，另外也有文獻指出以 COD 的測試模式，並不 適用於含有二甲亞碸(DMSO)以及氫氧化四鉀(TMAH)的削 減指標的應用，因此後續建議可以再加入 TOC 的調查，如 此將可以更進一步的瞭解與還原，這些高沸點卻溶於水的製 程廢氣被處理與控制的狀況。

4. 當廢氣中含有較多量之高沸點化學物質時，則必須考量是否 從製程端先利用local 處理系統將廢氣減量後，再匯排至主排 放管線進行最末處理，以減低後段尾氣之污染控制設備的處 理負擔。

5. 採集樣品時發現採樣口位置通常都設置在處理設備的附近 位置，因為當出口端採樣點位置太靠近冷凝設備時，在採集 當下可能會將冷凝下來之廢液抽至採樣器內，影響到出口端

樣品濃度，進而造成整體濃度去除效率結果下降，因此對於 進出、口採樣點設置也要列入考量範疇內。

6. 目前光電與半導體產業中乙醇胺(MEA)、氫氧化四鉀(TMAH) 等化合物之濃度檢測，環檢所尚無公告檢測分析方法，建議 此類化學物質以離子層析儀(IC)分析法進行檢測分析。

基於各種類本身物化特性不同，如高沸點的光阻稀釋劑類以及去 光阻液，混雜了乙醇與丙酮等高揮發性之溶劑類物質，或是對水溶解 性不同之有機物，以及相關廢氣濃度太低等因素，進而導致濃度削減 率不顯著，甚至造成化合物在處理設備進、出口兩端濃度相近，所以 處理設備參數之設定必須根據，欲處理物種之濃度高、低以及化學與 物理相關特性進行調整，以因應現場高濃度的製程廢氣採集，以獲得 更具有代表性與完整性的樣品。

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