採樣方法建立

在樣品採集模式的規劃部分，雖然各家廠商所使用之去光阻液 (Strippers)以及光阻稀釋劑(Thinners)等產品系列不盡相同，但是這些 製程廢氣，除了皆屬於高沸點低蒸氣壓且黏稠性大之化合物外，更具 備對水溶解性甚佳之共同特性，所以在採集時所應用之採樣設備之設 計原理，則與處理設備去除與控制之模式雷同，進行此類型製程廢氣 樣品的採集。衝擊式採集瓶中均裝有一定量之吸收液，其中吸收液的 體積則依據現場製程所排放廢氣量，以及參考控制設備工程師所提供 的資料，因此所添加吸收液體積量必須根據處理的廢氣濃度與經驗值 而定，體積量添加的範圍由100 mL 至 500 mL 之間；採樣設備後端 再銜接以空氣採樣器，採集管道所排放的廢氣。空氣採樣器在執行採 樣前必須先進行流量校正，首先利用軟管將衝擊瓶頂部入口接至流量

計，該衝擊瓶內應加入吸收液，通常衝擊瓶樣品捕集流量設定為1000 mL/min，其中建議若流量少於 750 mL/min 時，應於空氣採樣器和衝 擊瓶間加裝低流量控制器。

採樣的原理主要為採樣器啟動後，所抽取之氣體衝擊液面，利用 溶解、反應、吸收等多方面作用來採集所要評估之物質。必須注意的 是採樣時衝擊瓶不可以傾斜，且為了保護空氣採樣器不吸入從衝擊瓶 內衝溢出來的液體，因此必須在衝擊瓶與空氣採樣器之間多加裝一個 緩衝瓶(或稱除霧器)，以避免吸收液流入空氣採樣器中。由於採樣時 間太短時，可能造成樣品不具代表性，因此考量採樣時間與樣品代表 性的關係，採樣時間由原始的 5 分鐘以內修正至 10 分鐘以上，以利 採樣時可以採集到更具代表性的樣品。

衝擊瓶除了有不同尺寸的設計與不同數量的串接搭配外，在衝擊 瓶內部之內管噴頭為多細孔型噴頭時，主要是增加其撞擊吸收面積，

至於衝擊瓶採集器法之採樣組合則如圖 3-4，此三種尺寸的採樣配 置，可依不同濃度高低搭配適合的吸收液體積。採集方向的示意圖則 如圖 3-5 所示，其中編號為# 1 與# 2 之衝擊瓶內裝入含有去離子水 (DIW)之吸收液，以利樣品的吸收與採集，並且由# 2 的分析數據初 步判斷採樣是否有破出的疑慮，至於編號# 3 之衝擊瓶則裝入了酸鹼 指示劑，經由指示的的變色與否，可以再進一步的瞭解採樣當下的狀

況，最後銜接在空氣採樣器前端的衝擊瓶則為一保護裝置，目的為保 護空氣採樣器不吸入從衝擊瓶內衝溢出來的液體。

圖 3-4、衝擊瓶採集器採樣組合

圖 3-5、衝擊瓶採樣方向示意圖

另外去光阻製程廢氣的採集規劃上，因大部分所使用的產品系列

所含主要成分(MEA)具有鹼性的特性，因此在採樣設備的配置規劃 讀式光離子化偵測器（Photoionization Detector, PID）[64]進行濃度趨 勢的評估，以初步確認收集到的污染物為一具有代表性樣品。