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陽能產業也大多與歐洲各國以及民間企業合作發展,早期關鍵技術是 有歐洲各國所掌握,不過近年來,我國不間斷的研發創新,並且有半 導體製程的基礎做後盾,目前已經能夠慢慢的趕上國際間的腳步。

由於矽晶製程的應用條件優於其他種類的製程(表 2.1),因此領 先其它的製造方式,在材料取得以及轉換效率都遠大於其他形式的太 陽能晶片,而且矽晶製造過程與半導體技術多有相似之處,而我國在 半導體工業歷經多年的發展已經是有目共睹,半導體的年產值在國際 市場上更是有舉足輕重之地位。[2]

表 2.1 矽晶型太陽能轉換率

太陽能晶片製造流程簡介 [2]

太陽能產業可以概分為上、中、下游產業, 此概分法是依照主 要製程來區分,不過也有許多企業製造能力已經可以涵蓋到範圍更廣 的產業別,但是為了方便區分,仍然會以三個生產階段來說明介紹:

上游產業:

(1)長晶製程:這項製程與半導體的長晶製程類似。主要原料為 矽,以高溫將矽材料溶融,將矽溶湯置於在石英爐內,並且置入晶種,

當矽融湯與晶種結合後,在緩慢的拉出矽溶湯,將長成一單晶矽圓柱。

(2)修邊:晶柱長成後,外型為 5 吋或是 6 吋圓柱狀,此外型不利 於陣列的排列,因此會將晶片的外圍切成方形,在模組串列焊接段可 以節省排列的空間。

(3)切割:使用線切割機將晶柱切割成 0.2mm 厚度之晶片

中游產業:[7][8]

圖 2.1 中游產業製造流程圖

(1) 進料檢驗(Wafer Inspector):主要為晶片外觀檢察、厚度 以及電阻值測量、檢查裂片等項目。

(2) 表面粗化(Texture):在此階段去除切片時產生的切痕,

同時將晶片表面蝕刻為粗糙面,使入射的光線不容易 反射,增加晶片表面的受光。

(3) 高溫磷擴散(Diffusion):在高溫爐中通入含磷氣體, 使 電洞較多的 P 型矽晶片表層滲入磷, 形成電子較多的 N 型區域。形成光電轉換所需的 P-N junction。

(4) 磷玻璃去除(Phosphorous Glass Etching): 磷玻璃是磷 擴散後的副產品,此副產品會影相發電效能,必須以 氫氟酸洗淨去除之後,才能進行後續的製程。

(5) 抗反射層(PECVD):在晶片表面鍍上氮化矽抗反射層, 顏色以藍色為主,主要目的為降低光的反射。

(6) 網印以及燒結(Print and Cofiring):正反面之粗細電極 皆以網印之方式將含銀、含鋁之漿料印製於晶片表

(8) 測試以及分類(Testing and sorting):檢測正反面外觀以 及量測光電轉換效率等電性資料後, 依據設定之產品 分類定義進行篩選分類。

下游產業:[2]

將晶片串並聯在一起,以提高實用性,主要製程內容如下 (1) 選擇晶片以及設計模組性能

(3) 真空壓熱封裝 (4) 性能檢測

2-2 分片裝置原理以及架構介紹 分片裝置包含八個主要的單元:

 太陽能矽晶片

 晶片承載裝置

 升降裝置

 噴嘴裝置

 晶片高度位置感測器

 調速閥

 流量計

 氣壓系統

太陽能晶片(圖2.2)

太陽能晶片為本研究主要的對象,由6吋晶圓棒經過切割後的尺 寸為156x156x0.02(單位:mm) ,矽晶片本身是硬脆材料,再加上厚度 與長寬的比例尺寸差異大,容易產生應力而斷裂,因此必須小心的處 理。

單位:mm

圖 2.2 太陽能矽晶片外型尺寸

 晶片承載裝置(圖2.3)

提供一個適合載放晶片的空間,當氣嘴吹出之壓縮空氣對晶片做 分片動作時,此裝置將提供一個適當的空間,適當的空間是指在X、

Y、Z三度空間的座標中,將晶片限制X、Y方向的自由度,而給予Z 方向的自由度。在限制X、Y方向的自由度仍必須考量其結構件是否 會影響到流場的分佈,當壓縮空氣經由氣嘴噴出時,氣流穿過晶片必 須能夠順利排放出至大氣中。

圖 2.3 晶片承載裝置

 伺服升降裝置(圖2.4)

主要包含一伺服馬達以及滾珠導螺桿,馬達提供旋轉運動的動力 源帶動滾珠導螺桿,同時將旋轉運動轉為直線運動,此直線運動的主 要功能在帶動晶片做昇降的動作,當晶片依序被取走後,伺服機構依 照程式指令做供料的動作。

圖 2.4 伺服升降裝置

 噴嘴裝置

使用的配置在晶片的兩側同時開啟對晶片吹氣,平均的供給氣流 讓晶片產生浮力。

噴嘴裝置使用壓縮空氣經由氣嘴的腔體設計,將氣體整流成為適 合分離晶片所使用,氣體由進入噴嘴裝置內部,將氣體整流為細長的 形式後從出風口噴出,出風口的形狀為狹長的形式,尺寸為寬0.5mm 高6mm,寬與高的比例為1:12

單位:mm

圖 2.5 氣流噴嘴尺寸

 雷射光電感測器[3] (圖2.6)

位於承載裝置上緣,主要目的在感測晶片高度的位置,當晶片因 氣體的浮力上升遮蔽到感測器的光束時,致使信號觸發,原先已經在 上方待命的取片裝置立即將晶片取走。感測器使用反射式的形式,由 感測器本體發射出狹長型的雷射光束,經過反射鏡入射到感測器本體 的受光處,可調整反射後接受的光強做為觸發訊號。

圖 2.6 雷射光電感測器

 真空吸盤(圖2.7)

裝置使用於吸取晶片,再使用另一組直線運動機構將晶片搬移至 下一個工作站,吸盤裝置設計上的考量必須注意到晶片吸附上來時的 衝擊力,此衝擊力量可能會致使晶片破損,因此必須增加緩衝的機制 在吸盤與晶片直接觸碰的位置,另外真空值也必須是經過調教的,比 較高的真空壓力雖然可以迅速的吸附晶片而且不至於搬運途中掉 落,但是有可能造成晶片受到太大的真空壓力而導致破損。

圖 2.7 真空吸盤

 流量感測計[4] (圖2.8)(表2,2)

用來測量噴嘴裝置的實際流量,此流量計有提供數位顯示器之功 能,使用單位是L/min,顯示單位可以到小數點後一位,流量計使用 時與噴嘴做串連在一起,在噴流開啟的同時一併測量流量。

圖 2.8 流量感測器 表 2.2 流量計使用規格表

 氣壓系統(圖2.9)

氣壓系統主要由廠務供給氣壓源,經過減壓閥將壓力調降為實際 所需要的壓力值,再由電磁閥控制噴嘴氣流的開與關,電磁閥平時為 關閉的狀態,當晶片到達指定位置時,並且電控程式下達指令後,電 磁閥開啟將壓縮空氣導通到噴嘴位置。

圖 2.9 氣壓系統圖

上訴的幾個重要元件乃是針對細部功能做說明,實際上的設計規 劃必須具備整體的考量,必須要能配合快速的自動化生產、產品損壞 率低、人員操作便利性的規劃、易於維修保養、選用材料合乎成本。

在產品開發過程,可能因為功能上的互相衝突,必須遷就於另外一方 面更重要的功能考量,才能針對使用者的習慣做最佳的設計,因此在

設計之初應該要有各項功能所佔權重的評比以及客戶使用習慣的訪 查,定製規格比較完善的規格再進行產品的開發。

 動作流程說明

以下的內文以及圖片在說明噴流分離機構主要的動作流程做介 紹,在整個生產動作中,整體的動作以噴嘴的開關以及晶片上下移動 的時間為最主要的兩個動作,這兩個動作必須要互相搭配在適合的時 間開始或是停止動作,而動作的切換點則以位置感測器做為訊號的觸 發開關。

(1) 噴嘴為開啟狀態,此時晶片開始緩慢的上昇。(圖 2.10)

圖 2.10 動作流程說明-1

噴流開啟

晶片上升中 位置感測器

(2)晶片繼續緩慢的上昇,已經到達噴嘴位置,並且吹離晶片。(圖 2.11)

圖 2.11 動作流程說明-2

(3)當晶片再繼續緩慢的上昇,吹離的晶片已經觸發到位置感測 器,此時晶片將立即停止上升。(圖 2.12)

圖 2.12 動作流程說明-3

噴流開啟 噴流開啟

晶片停止上升 位置感測器

噴流開啟

晶片上升中 位置感測器

(4)取片裝置將晶片取走的同時,噴嘴將關閉,其餘的晶片將立即 的下降,避免取片裝置上升產生的負壓將其它的晶片向上牽引。(圖 2.13)

圖 2.13 動作流程說明-4

噴流開啟

晶片下降 位置感測器

取片裝置將矽晶片取走

2-3 CFD原理介紹 需要特別的重視,必須要瞭解數值模擬(Numerical Simulation)的

過程,才能正確設置數值模擬的條件。

工程問題可以採用「區域離散化(Domain Discretization)」的數 值計算並借助電腦得到滿足工程要求的數值解,數值模擬技術是工程

(Governing Equation)或守恆定律(Conservation Law)的最小幾何 單位,節點可以視為代表著控制體積,而控制體積和子區域並不一定 是重合的。在區域離散化開始時,由坐標軸對應的直線或曲線所切劃 出來需多子區域(Subzone)。區域離散的基礎元素就是網格,而網 格節點是離散化物理量的存儲位置。

常用的離散化方法有「有限差分法(Finite Difference Method, FDM)」、「有限元素法(Finite Element Method, FEM)」以及「有 限體積法(Finite Volume Method, FVM)」,由於Fluent是基於有限 體積法,以下對有限體積法簡要說明。

控制體積法係將計算區域劃分為網格,並使每個網格點周圍有一

分,從中求解得到一組離散方程,其中的因變量就是網格節點上的未

所以得到的速度場大多是不滿足連續性方程,必須對壓力場進行逐步

了預測-修正-再修正三個步驟,從而加快了單個迭代步中的收斂速 度。

綜合以上,SIMPLE 演算法是SIMPLE 演算法系列的基礎,目前 各種CFD軟體中均提供這種演算法,而SIMPLEC 和PISO 演算法主要 是提高了計算的收斂性,從而縮短了計算時間。

[1];[11]

圖 2.14 SIMPLE 壓力求解速度流程圖 求解動量方程

求解壓力修正方程 更新壓強、質量流量

求解能量、紊流方程

是否收歛 停止

給予假定值 更新未知量

2-4 Fluent軟體簡介

Fluent能夠解決的工程問題可以歸結為以下幾個方面:

採用三角形、四邊形、四面體、六面體及其混合網格計算二維和

 多運動坐標系下的流動問題。

Fluent的套裝軟體由以下幾部分組成。

(1) 前處理器:Gambit用於網格的生成,它是具有超強組合建構模 型能力的專用CFD前置處理器。Fluent系列產品皆採用Fluent公司自行

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