晶圓廠RFID資訊系統架構

晶圓廠現場管理一般說均採用 MES 系統搭配 GUI 介面(Graphic User Interface，GUI) 進行管理。

過去搭配使用 Bar Code 系統時，自動化程度尚未完全做到透過 MES 進行機台端控 制，故機台端並無配置 Bar Code Reader，而是透過其機台旁配置 MES 系統終端機之 Bar Code Reader 進行登錄。如圖 17 所示。

圖 １７ 採用 Bar Code 系統架構示意圖 資料來源：本研究整理

開始使用紅外線傳輸介面之 Smart Tag 系統後，機台之運轉透過 MES 進行直接控制，

機台端配置 Smarte Tag Reader，當產品放入機台載入埠(Load Port)即由 Reader 讀取 Smart Tag 識別並進行登錄，機台並依登錄後取得產品製程資料自動載入所預設之參數與程式 進行生產。如圖 18 所示。但此階段現場產品控管尚只限於與機台相關，若產品不在機 台上，那些存放在貨架或其他位置的則無記錄資訊可參考。

圖 １８ 採用 Smart Tag 系統架構示意圖 資料來源：本研究整理

RFID 系統的納入，使整體系統資訊由被動的登錄或動作觸發(Trigger)延伸到主動對 產品狀況、位置甚至移動的監控。RFID 系統除了在機台端以類似 Smart Tag 之運作方式 進行外，利用如智慧型貨架設計與開放空間之 Reader 配置對廠內所有可存放產品之位置 進行監管。

因 RFID 之無線感應傳特性與應用設計，在資訊系統架構上尚需考慮 MES 系統與 RFID Tag 間進行溝通方式是否需搭配中介軟體(Middleware)予以輔助。以下就整體資訊系 統中是否含中介軟體進行說明與比較，其中中介軟體部份參考 EPC 之網路系統的架構，

就有無 Savant 系統（參見附錄一）來設計，分為二種架構，並以表 7 進行比較。

z 具 Savant 之 RFID 系統架構：

MES 透過 Savant 系統與 Reader 溝通，由 Savant 負責對 Tag 的資料進行校對、傳 送和儲存，並進行任務管理。使 MES 系統功能維持在製造執行方面，減少因 RFID 管理所產生的額外系統負荷。並透過 Savant 的任務管理來靈活發揮 RFID 之功能。

可進行如限制移動區域之警告。參見圖 19。

z 不具 Savant 之 RFID 系統架構：

MES 直接與 Reader 溝通，主用在 RFID Tag 與 Reader 間傳輸資訊簡單明確，僅為 提供 MES 系統直接產品資料識別與傳輸為主。但必要時仍需透過 MES 之內建或 外掛軟體功能針對部份狀況如重複讀取，進行比對過濾等之資料修正，與此架構 可視為 RFID 系統運作之精簡版。參見圖 20。

圖 １９ 具 Savant 之 RFID 系統架構示意圖 資料來源：本研究整理

圖 ２０ 不具 Savant 之 RFID 系統架構示意圖 資料來源：本研究整理

表 7 RFID 資訊系統依 Savant 有無進行比較

註：在 LF 與 HF 同為近距離之感應耦合(Inductive Coupling)，及 UHF 與 Microwave 同 為長距離之遠距離傳導耦合(Propagation Coupling) [陳宏宇編著，93]，選用 LF 與 Microwave 之原因為 HF 與 UHF 之頻率有可能影響晶圓廠設備機台，如離子植入機或其他有使用到 電漿(Plasma)之機台，故不使用 HF 與 UHF。[日經 BP RFID 技術編輯部，93]