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2.1 簡介

定性的理論分析,可以幫助我們瞭解半導體元件一些光電的輸出特性,

能夠對於輸出特性,做模組化和最佳化的模擬。

本論文中所使用的套裝軟體為 LASTIP (Laser Technology Integrated Program)以及 APSYS(advanced physical model of semiconductor devices),這 兩套軟體都是由加拿大的Crosslight 公司所出版。模擬的數值分析是基於 k

・p 的理論,使用 Luttinger-Kohn 提出的 Hamiltonian 矩陣以及 envelope function 去解 quantum well subband 的結構。在物理的模型中包含基本的 Poisson’s equation、current continuity equations、photon rate equation 和 scalar wave equation 等等,以及對於載子特性、邊界條件的描述等基本的公式。

2.2 軟體的模型

LASTIP軟體結合了二維的載子傳輸、熱流、光增益的計算,以及橫截 面(transversal plane)波導等等。熱的影響對於半導體雷射來說非常的重要,

因此幾乎所有的可能和熱有關的因素都會被考慮進去,這包含了電流和光 吸收產生的Joule heating、recombination heat、Thomson heat、Peltier heat等 影響[1]。

在APSYS軟體,結合了三維的載子傳輸、量子效應以及光線追跡的模 型,傳輸模型方面包含了電子和電洞的漂流(drift) 和擴散(diffusion)的效 應、Fermi statistics、異質接面的極化和熱離子發散效應,以及考慮到載子 的Shockley-Read-Hall (SRH) recombination 的 模 型 。 在 量 子 理 論 中 , 以 Schrödinger和Poisson equation並用疊代法,來求得改變不同偏壓時,量子井 產生的變化。在量子井中電子電洞再結合自發性輻射的計算是用free-carrier model,並且考慮wurtzite價電帶結構。

在光模的模型中,所有光的模態都會被盡可能的討論到,因為這些非同 調性的自發性輻射發光模態,都會對輸出功率做出貢獻。photon rate equation 與drift-diffusion equations耦合的機制,以及各個材料折射率的增益也會被考 慮進去。

2.2.1 漂流-擴散/流體動力模型(Drift-Diffusion/Hydrodynamic Models)

在半導體中許多的物理現象需要用不同的模型去敘述,drift-diffusion model是一個最普遍,能夠解釋許多已知的半導體元件的基本特性的一個模 型,描述元件的行為,可以從Poisson’s equation開始

(

0 dc

)

D

(1

D

)

A A tj

(

j tj

)

電洞的

deep level trap

spontaneous

stimulated

Auger

的復合速率。這些方 程式提供了描述半導體元件中電子的行為。

2.2.2 增益模型(Gain Model)

在一般的增益模型理論中,對於塊材

(bulk)

和量子井而言,材料的增益 和損失可以視為是波長和載子密度的函數。由於寬能隙的氮化系材料擁有 較低的介電常數

(dielectric constant)

,在

AlGaInN

量子結構的光增益部分是由

Coulomb enhanced gain spectral function[2]

來計算

, (ith-subband holes) transition 之總和。Γcv 是代表 Lorenzian width 也等於

/ τ

cv

價電帶中的次能階

(

ith

-subband of valence band)

,所得到電子和電洞的能量。

2

Mji

transition matrix element

Cpl 是範圍從

1

4

的單位常數。

N2D=n

×(quantum well thickness)

,代表在量子井中的二維載子密度。而增益

光譜是以

Lorenzian function

延展開的。

2.2.3 自恰載子密度模型(Self-Consistent Carrier Density Model)

當位能井

(potential well)

在強大的電場下,如壓電場

(piezoelectric field)

造成的影響,這時量子井就會斜向一邊,被侷限的波函數也會跟著斜向一

邊,

optical transition

的行為就會不同於在平坦下的量子井,因此對於元件

的特性就會產生一些影響。圖

2.2.3(a)

為沒有壓電場影響的能帶圖;圖

2.2.3(b)

為壓電場導致能帶彎曲,造成載子從新分佈,因此需要一個模型來重新計 算能帶和波函數。

而自恰載子密度模型

(self-consistent carrier density model)

,就被用來解 出在量子井中的壓電場,來修正位能帶和波函數。

( )

0

{ ( ) }

2D

( , )

nj j

ln 1 exp

fn

( , )

j

) / ,

j

n x y =

g y

ρ

kT + E x yE kT

(2.7) VB

CB CB

VB

+σ -σ

Electrical

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