綜合討論

綜合以上各節，方案一「個案工廠現況」每年取水成本 T1 每年 15,738,120 元；

排放水處理成本 T2 每年 8,126,713 元；回收水處理成本 T3 每年 2,645,880 元；

故每年全廠用水成本（Z＝ T1＋T2＋T3）為 26,510,713 元，全廠用水成本結構 如圖20。

方案二「製程切割研磨廢水回收系統擴充」每年取水成本 T1 每年為 15,282,115 元；排放水處理成本 T2 每年為 7,488,607 元；回收水處理成本 T3 每 年需花費 3,249,928 元；故每年全廠總用水成本 Z＝ T1＋T2＋T3 為 26,020,650 元，全廠用水成本結構如圖21。

方案三「製程低濃度氟酸廢排水回收工程」每年取水成本 T1 每年為

14,782,891 元；排放水處理成本 T2 每年為 5,335,099 元；故回收水處理成本 T3 每年需花費6,223,965 元；故每年全廠總用水成本 Z＝ T1＋T2＋T3 為 26,341,955 元，全廠用水成本結構如圖22。

圖20 方案一「個案工廠現況」全廠用水成本結構

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圖21 方案二「製程切割研磨廢水回收系統擴充」全廠用水成本結構

圖22 方案三「製程低濃度氟酸廢排水回收工程」全廠用水成本結構

由圖20-22 中，三個方案之全廠用水費用皆以超純水製造成本佔最多，其次 為自來水取水費用，而超純水製造排放水回收成本0%最少；故個案工廠要降低 全廠用水成本及提升製程水回收率可以再從超純水製造系統著手。由水量來看，

超純水製造系統製程用水總量（P1）每月約 59954 m3，約可製造出超純水（P2）

32891 m3/月，再生逆洗廢水排放（d3）約 2635 m3/月，純水系統造水率 P2/P1 為 54.9%，經統計一般純水系統造水率約在 65%~85%間，低於 70%則偏低，高 於85%則較偏高［54］，為其原因有二：第一、純水製造系統設計過大或製程產 能利用率偏低，但兩者皆是無法掌握與預估的；第二、超純水製造過程排放水回 收過多；個案工廠超純水製造系統採薄膜濃縮水回流設計，若薄膜產水效率設定

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過低時，濃縮水流量將增大，這雖然可增加純水系統回收水量（C1），使製程回 收率提高。此兩點原因均導致製程迴流量增加，進而影響超純水製造系統造水率 降低，易造成純水系統之耗能。故如何在節能及水回收率間考量，是值得再探討 的課題。

以每年全廠總用水成本進行比較時，方案二預估投資「製程切割研磨廢水回 收系統擴充」 每年全廠用水成本（含設備折舊）為 26,020,650 元，方案三「製 程低濃度氟酸廢排水回收工程」每年全廠用水成本（含設備折舊）為26,341,955 元。與方案一「個案工廠現況」每年全廠用水成本為 26,510,713 元相比較，似 乎是符合經濟效益。但以淨現值法（Net Present Worth，NPW）分析，在考慮貨 幣時間價值後，似乎並不是如此。

方案一、二為互斥方案部分，方案二：PW（4%）＝-211,553,854＞方案一：

PW（4%）＝-215,025,630；也就是說，當全部十年的全廠總用水成本換算至第 一年後成本，方案二「製程切割研磨廢水回收系統擴充」投資金額為 2,500,000 萬，系統處理效率80%，對個案工廠現況用水成本是有經濟效益的。固定其他條 件，以投資金額來看，工程投資金額甚至可達到5,971,776 元；但在系統處理效 率部分，若系統處理效率低於49.1%時，方案二將不值得運轉下去；故方案二如 正式投資運轉後，系統處理效率49.1%可以當成操作参數條件下限參考。

方案一、三為互斥方案部分，方案一：PW（4%）＝-215,025,630＞方案三：

PW（4%）＝-215,769,778。故當全部十年的全廠總用水成本換算至第一年後成 本，方案三「製程低濃度氟酸廢排水回收工程」是對個案工廠現況用水成本是無 經濟效益的。但考慮水回收率相關法規要求壓力之情況下，方案三需被執行。在 固定其他條件下，以投資金額來看，工程投資金額若由10,500,000 降至 9,755,844 元，此方案即可符合經濟效益，此金額也可提供個案工廠進行工程議價時參考；

系統處理效率部分，由於是前處理加上 RO 系統，若系統處理效率可以提高至 71.7%以上時，也可符合經濟效益。

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五、 結論與建議