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F.Reinitzer 在觀察安息酸膽固醇( Cholesterol Benzozte )的溶解行為 時,發現 在加熱到 145℃ 會從固體變成一種混濁液狀物,繼續加熱到 179℃ 才開始

膠製程之可塗佈區域。框膠主要功用是為黏合 TFT 及 CF 基板,並將液晶

(a)一般塗佈位置 (b)重疊(overlap)塗佈位置

圖 1.2 原塗佈位置與重疊(overlap)塗佈位置之比較示意圖 說明:棕色為框膠塗佈位置,黑色為 BM(black matrix) 註:以上僅示意,非照比例繪製

(a) 大尺寸,例如 17”面板之編排方式

920 mm

730 mm

(b)小尺寸編排方式

1-3 文獻探討

平面顯示器的製造,在 4.5 代線(玻璃基板大小 730x920mm)以上的面 板製程中,液晶滴入製程(one drop filling; ODF)技術,已逐漸取代過去以毛 細孔方式將液晶注入的顯示器面板封裝方法。早期 LCD 液晶灌注的方法是

圖 1.4 框膠外緣受大氣壓力衝擊,呈現黏著不良現象

圖 1.5 LCD 面板之傳統製程與 ODF 製程比較

一般而言,ODF 製程用的框膠材料需具備耐久性(黏度變化小)、材料

出效果比光學檢查佳。其檢查方式為探針接觸,因此不同品種基板的探測

圖 1.6 框膠製程用自動光學檢查架構示意圖

圖 1.7 透射頭及反射頭結構示意圖

圖 1.8 已組合基板之框膠影像(BM 為金屬材質)

圖 1.9 框膠於黑色樹脂 BM 之影像

隨著設備高速化、高精度化的發展,軸承異常意味著生產稼動的損失,

依據統計的資料,軸承損壞佔設備故障比例的 30~50%[17],因此如何檢測 及採取適當措施,便成為設備保養維修的重大議題。檢測軸承異常的方法 有以下幾種:振動分析、噪音分析、溫度檢測、油品分析。其中振動分析 是目前普遍使用的方法,其主要是因為設備設計誤差及軸承機構異常,便 會產生振動,因此振動是可以直接預期設備運行狀態是否正常,作為設備 保養維修的計畫實施依據。軸承主要故障的型式,可分為以下幾種:

a.疲勞:疲勞失效是因為滾體或滾道表面產生剝落或是脫皮。主要是疲勞應 力、安裝不當或是潤滑不良造成。

b.磨損:由於磨料存在、異物進入軸承內或是潤滑不良等,使得軸承滾體、 響著雷射變位計(gap laser sensor)對於塗佈高度回饋的制御量,針對此高準 位振幅的發生原因及製程穩定性的影響,是我們研究的重點,而降低其振 動幅度是我們改善製程不穩定的目標。

1-4 研究流程與方法

採用面板廠及製造廠常使用的六標準差(6 sigma)DMAIC 的概念[4],依 照 Define、Measure、Analyze、Improve、Control 流程:

1.Define 定義:

定義或是找出問題點,可依據目前最大缺陷項目或是客戶要求,工廠 內的後續製程或是檢查站,都可假想為我們的客戶,針對目前客戶已反應 的最大不良缺陷問題(VOC,Voice of customers),訂定改善目標項目。

2.Measure 量測、衡量:

利用離線顯微鏡設備觀察壓著硬化後之框膠外觀及量測其幅寬,確認 缺陷的位置,並利用塗佈設備(圖 1.10)之鏡頭,來觀察已知不良位置之框膠 塗佈穩定狀況,並可利用塗佈設備上之斷面積雷射機具來進行塗佈量監 控,紀錄觀察所得之數值及框膠塗佈狀況。

圖 1.10 框膠塗佈機圖示

圖 1.11 魚骨圖

3.Analyze 分析:

一般在解析問題時,可利用魚骨圖,先把影響製程的因子,依據人員、

機器、環境、材料、方法(流程、配方)等五大項,逐一將因子於各大項中加

註分支,如示意圖 1.11。依據已確認或是記錄的不穩現象與缺陷發生位置,

找出缺陷發生與五大因素的相關性,利用相關量測儀器佐證,如震動計等,

逐一剔除非相關因子。針對塗佈缺陷,目前規劃的試驗項目:變更無塵室 環境因素(例如溫度)、塗佈設備相關運作結構、塗佈用針頭、製程參數設定 等,依以上測試來驗證彼此與缺陷發生之相關性。

4.Improve 改善、Control 控制:

依據規劃試驗項目結果,找到影響缺陷的根因,進行不良因素根除或 是可穩定且持續的控制在可接受之不良率內。

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