烯能帶結構之方法有量子限制效應(quantum confinement) 、物理摻雜(physical doping) 與化學摻雜(chemical doping)等。
本論文將使用熱化學氣相沉積法(thermal chemical vapor deposition, TCVD) exfolication)從高定向熱裂解石墨(Highly Orientated Pyrolytic Graphite, HOPG)
上剝離出單層石墨,石墨烯被我們視為是單層的石墨,每個碳原子之間以 SP2 混成軌域鍵結並且以六角環狀的晶格排列而成,每一個碳碳σ 鍵之間夾角為 120°,
2
鍵長為 1.42Å ,而部分的電子填入位於平面上下的 π 軌域中形成 π 鍵。石墨烯的 邊緣具有三種不同的形式:扶椅型(armchair)、鋸齒型(zigzag)、混成型(hybrid),
這三種不同的邊緣的形式會導致其具有不同的電性以及磁性。
圖 1.1 石墨烯邊緣結構形式2。
自從石墨烯被發現以後,之所以會掀起一股研究石墨烯的風潮主要是因為石 墨烯具有一些相當特殊且優異的物性以及電性。第一,石墨烯是一種零帶隙(zero band gap)的半金屬物質,它的價帶和導帶恰好相交於一點,所以同時具有像是半
導體以及金屬的特性 3。第二,石墨烯在室溫底下展現出很明顯的雙極性
(ambipolar)通道性質,表示其可以利用電洞或電子傳導而且載子遷移率(carrier mobilities)更高達 10000 cm2/Vs,遠遠超過矽基材(1400cm2/Vs)如果是以機械剝離 (mechanical exfolication)的方式得到的石墨烯,在低溫的情況底下更可以達到將 近 200000(cm2/Vs) 4。第三,單層的石墨烯對於白光的吸收大約只有 2.3%,而且 反射率幾乎可以忽略不計(<0.1%)5。第四,即便石墨烯是目前為止世界上最薄的 材料,但是卻具有超高的機械強度,其楊氏模數(Young's modulus)高達 1 TPa6。 除此之外,石墨烯也具有非常優異的導熱性質(3000 ≈5000 W m−1 K−1)7與熱穩定 性以及很大的比表面積(2630 m 2/g )8。
3 (Hexagonal boron nitride, h-BN)存在著半導體特性,藉由本身成分組成的差異,
可用來調整其能隙大小,期望可運用在發光元件或是電晶體等。由於硼碳氮(BNC)
4
1-4 石墨烯之製備
目前製備石墨烯常見的方法有以下四種,以成本及品質的考量作為區分,以及能 否轉印至其他基板上作應用來分類
(一)機械剝離法(exfoliating graphite) (二) 超高真空退火(0001) 單晶碳化矽(SiC)
(三) 化學還原氧化石墨烯(reduced grapheme oxide, rGO)9
( 四 ) 在 過 渡 金 屬 基 板 上 使 用 熱 裂 解 化 學 氣 相 (thermal chemical vapor deposition,thermal-TCVD) 高溫成長
1-4-1 機械剝離法
機械剝離法 10 是第一個發現石墨烯所使用的方法,又叫做“Scotch tape method”,這個方法是利用膠帶(Scotch tape)重複撕黏的方式,從高定向石墨 (HOPG,Highly Oriented Pyrolytic Graphite)上分離出單層的石墨烯,這個方法能夠 得到很高品質的石墨烯,但是所得到的尺寸大小有限,在實際應用上受到很大的
5 好,所以生成石墨烯會走析出成長(Segragated growth)機制,生成的石墨烯通常 是多層的石墨烯;相反的,銅金屬在高溫下對碳原子的溶解度差,生成石墨烯的 機制為自限成長(Self-limiting)的機制,美國德州大學奧斯丁分校(University of
6 奈米帶。他們量測不同寬度的石墨烯奈米帶,在不同溫度下的電導(conductance, G) 和閘極偏壓(Vg) 之間的關係,發現在室溫下,此關係與未摻雜之石墨烯相似,
G 隨著 Vg 的改變會有一最小值 Gmin 的出現,對未摻雜的石墨烯而言,Gmin 對 應的 Vg 值,使費米能(Fermi energy) 處於狄拉克點,此時載子密度為零,但卻 依舊有最小導電率(conductivity),約為 4e2/h。對石墨烯奈米帶而言,寬度越窄的 奈米帶,在愈低溫的情況下,Gmin 在接近最小值附近時,下降得愈明顯,研究 人員因而把此現象歸結於能隙的產生。可是受限於電子束微影蝕刻的解析度,製 備的奈米帶之寬度無法小於 20 nm,且邊界不平整,如此一來,電子易被散射。
最近由 Hongjie Dai 教授的研究團隊14, 16,利用超音波化學法(sonochemical) ,
7
可大量生產高品質、且邊界較為平整的石墨烯奈米帶,其寬度可達 10–20 nm 。
1-5-2 摻雜
1-5-2-1 物理摻雜
利用改變雙層石墨烯17電晶體的上閘極(top gate) 與下閘極(bottom gate) 的 電壓,來調控外加垂直電場的大小,即為物理摻雜的一種方法。其原理為造成上 下電位移場(electricaldisplacement field) 的不同,使得費米能位移,並同時解除 其反轉對稱性(inversion symmetry)。
1-5-2-2 化學摻雜
化學摻雜法是利用摻雜原子以取代原本在晶格上的碳原子,進而影響碳原子 的 sp2 混成軌域,因而改變了能帶結構。目前硼和氮被視為理想的摻雜原子18, 因為他們的大小與碳原子接近。利用化學摻雜法獲得的石墨烯,雖然比未摻雜的 石墨烯有更高的開關比,但卻也發現其載子遷移率因此下降,而喪失了石墨烯先 天上的優勢。因此,打開足夠大的石墨烯能隙,但仍能不降低其載子遷移率,是 一個有待解決的課題。19
8