3.2.1 電性檢測
本實驗之電性檢測分為電壓與電流檢測、電漿消耗功率計算，對於兩者之量測 方法與計算 做說明 ， 此外，本實 驗皆使 用 示 波 器(DPO 2014 Digital Phosphor Oscilloscope, Tektronix, Inc.)進行波形之記錄。
1. 電壓與電流檢測
本實驗將 MGU 與一已知大小之電阻(300 Ω)串聯，並藉由量測該電阻的電壓 波形，以歐姆定律推得電流波形。進行量測時，使用高壓探棒(HPV-18HF, Pintek Electronics Co., Ltd)量測電源供應器所輸出之電壓波形、以電壓探棒(Tek P6139A, Tektronix, Inc.)量測串聯電阻之分壓波形。最後，將串聯電阻之分壓除以串聯電阻 值即可得到電流波形。
2. 電漿消耗功率計算105, 106
因介電質放電系統為絲狀放電模式，其電流尖峰之時間尺度約為數 ns，此時 間尺度會因示波器與探棒的頻寬而受限，故無法完整的記錄絲狀放電電流、低估電 漿消耗功率，而使用利薩如圖形(Lissajou’s figure)進行電漿消耗功率之計算。
電漿平均消耗功率(P)之定義為單位週期(T)之能量損耗，在一週期內之能量損
又儲存在串聯電容上之電量微分後為流經系統之電流： Pintek Electronics Co., Ltd)量測電源供應器所輸出之電壓波形、以電壓探棒(Tek P6139A, Tektronix, Inc.)量測串聯電容之分壓波形，量測之電源供應器輸出電壓與 串聯電容之分壓的差值即為跨於電漿上之電壓，並以串聯電容之分壓乘以串聯電 容大小得到儲存於電容的電量後，將上述兩者進行積分，計算得 MGU 的消耗功 率。
3.2.2 電漿放光光譜
電漿放光光譜為其重要特性之一，當電子與氣體原子或分子進行非彈性碰撞 時，可使原子或分子中之電子由低能階躍遷至高能階，位於高能階之電子回到較低 能階狀態時則可能以放光的形式作為其能量釋放的途徑，因為不同的原子與分子 都有其各自的能階分布，而會有其特徵光譜，故可由電漿放光光譜得到電漿氣氛的 特性資訊。欲進行電漿放光光譜的分析，則需要進行電漿放光收取，並將收取得到 的光，通過光柵進行分光，並記錄下不同波長下的光強度。
因微電漿之尺度很小，故於本實驗中將其視為點光源，以進行微電漿放光收取。
根據光學原理，一置於凸透鏡焦距上之點光源，通過此凸透鏡後會呈平行光，而此 平行光再通過另一凸透鏡時，則會聚焦在其焦距上，故本實驗中將微電漿放在凸透 鏡A 之焦距處，將凸透鏡 A 與凸透鏡 B 以光學模組進行串接，使兩者之光軸位於 同一中心軸上，並將光纖置於凸透鏡 B 另一側之焦距處，使微電漿放光可被光纖 收取。
光纖之另一頭則接上光譜儀(Ocean USB 4000, Ocean Optics, Inc.)並連接電腦，
以得到180 nm 至 890 nm 的分光光譜資訊。