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以定電壓析鍍击塊,因為電流值不是固定的,所以不能準確的測出實際的鍍 率,只能藉由光學顯微鏡觀察析鍍完之击塊是否為蘑菇狀,來判別击塊高度是大 於光阻厚度的,但大致上,在本研究所設定的參數(100 mV、150 mV 和 200 mV), 鍍滿 50 m 約需 3 至 4 小時。

圖 4.14-4.19 為不同電壓下電鍍完成之击塊橫截面 SEM 形貌。從圖 4.14-4.19 可看出電壓越大,電鍍所產生的孔洞也越多,如圖中圈起來的地方,這是因為在 定電壓下,陰極電位雖可視為固定[49],但等電位分佈不代表電流值是固定的,

實際上,監測的電流值會隨著時間變動,在相同條件下(新的鍍液、電鍍面積和 操作溫度等),在沒供應電源下,鍍液的帄衡電位(E(i=0))是處在相同的位置,

供應的電壓值(E(i))越大,其過電壓值(η)也越大,因為過電壓等於供應電 壓減掉帄衡電壓,代表所供應的電流值也相對變大,如圖 4.20 所示為一般電流 與過電壓的關係圖,圖 4.21 為監測定電壓下,電流密度與時間的關係,可以和 圖 4.20 比較,因為時間一久,過電壓值就會慢慢上升[29],所以把橫軸改成時間,

便可以得到如圖 4.21,至於為什麼電流值會上升,這是因為隨著電鍍時間慢慢增 長,陰極已經有錫銅離子還原上去了,且錫銅的電阻值很小和陽極為錫板的關係

(會補充錫離子到鍍液),因此會使電流值慢慢上升。一開始較低的電流讓離子

50 m

析出速率不致於很快,但等到電流值慢慢上升,在電極表面的離子析出速率加 快,因而增加孔洞的生成機會,這可以由圖 4.14-4.19 看出,孔洞幾乎都在击塊 腰部和頂部生成,而击塊底部看不到孔洞的生成;又因為錫銅離子還原須先克服 活化能能障,而且還原機構會決定成核速率,因電極表面並不是理想表面,會由 於結構選擇性不同,成核所須的能量也會不同[29],能量較高的成核位置,比較 不會優先析出,相對的,能量較低的成核位置,會快速優先析出,析出離子還來 不及在能量較高的位置析出,此位置就已被以析出的原子包覆住,而形成孔洞

[31];且因電壓越高,氫離子析出的速率越快,在定電壓電鍍實驗中,設定的電

壓值越高,可以明顯觀察到在試片表面會有些微氣泡生成,氣泡會停留在击塊開 口處,使鍍層和鍍液之間會隔著氣泡,影響電鍍的品質,必須藉由攪拌或用滴管 趕走氣泡,這是在定電流電鍍中沒有觀察到的現象,因此氣泡的產生也是造成孔 洞變多的原因。

比較圖 4.14-4.19 可知添加 PEG200 可明顯改善電鍍的效果,孔洞的數目有 降低的趨勢,此乃因 PEG200 有抑制還原、減緩沉積速率的效果。在此 PEG200 改變了電極表面電雙層的結構,影響電流密度的分布:對錫離子而言,PEG200 改變了鍍液和電極介面的結構,使錫離子沉積速率減緩;對銅離子而言,一種說 法是 PEG 會改變銅在陰極表面的還原機構[38],另一種說法為在鍍液中,PEG 會和銅及水分子形成錯合物,降低銅原子的還原速率[37],但最終都是減緩錫離 子和銅離子還原在電極表面的速率,達到抑制的效果[50],使沉積速率減緩,降 低孔洞的生成。因此在本研究中,添加 PEG200 對定電壓析鍍击塊會達到減少孔 洞的數目,改善內部的致密性。

圖 4.14、以定電壓 100 mV 析鍍之击塊形貌;圈起處為孔洞位置。

圖 4.15、以定電壓 150 mV 析鍍之击塊形貌;圈起處為孔洞位置。

圖 4.16、以定電壓 200 mV 析鍍之击塊形貌;圈起處為孔洞位置。

10 m 10 m

10 m 10 m

10 m 10 m

圖 4.17、以定電壓 100 mV,電鍍液加 PEG200 析鍍之击塊形貌。

圖 4.18、以定電壓 150 mV,電鍍液加 PEG200 析鍍之击塊形貌。

圖 4.19、以定電壓 200 mV、電鍍液加 PEG200 析鍍之击塊形貌。

10 m 10 m

10 m 10 m

10 m 10 m

圖 4.20、一般電流與過電壓的關係。[29]

current density

time

圖 4.21、定電壓下監測電流與時間的關係。

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