• 沒有找到結果。

To measure the transmission properties of nano‐apertures, two instruments  are implemented. A transmission‐mode near‐field scanning optical microscope  (NSOM) is used to obtain the near‐field intensity distribution from apertures. A  far‐field  optical  system  is  also  set  up  to  measure  the  transmission  through  apertures. Comparison of the intensity distribution and the transmission among  different apertures can not only demonstrate the characteristics of the proposed  design  and  theory  but  also  provide  more  information  to  analyze  mechanisms  behind the phenomena. 

4.2.1 Near-field Scanning Optical Microscope

To  resolve  an  image  of  an  object,  optical  components  are  necessary  to  collect the field of each image point which carries spatial frequency information. 

However,  because  the  propagating  light  diffracts  into  the  far  field  and  the  aperture  of  the  component  is  not  infinitely  large  enough  to  collect  all  the  diffraction  light,  the  resolving  capability  of  an  optical  component  is  limited. 

Evanescent or non‐propagating waves that exist only near the object carry more  high‐frequency  information  of  the  object  but  have  intensities  that  decay  exponentially  with  distance  from  the  object.  Therefore,  the  spatial  resolution  beyond the diffraction limit can be obtained if a detector is placed close to the  object  to  detect  and  make  use  of  evanescent  waves  with  high‐frequency  information. This theory gives birth to near‐field scanning optical microscopes  (b)  collection,  (c)  illumination  collection,  (d)  reflection,  and  (e)  reflection collection 

NSOM can be classified into two types, apertured or apertureless type. An  apertured  NSOM  utilizes  a  tapered  and  metal‐coated  fiber  probe  with  an  aperture  having  a  diameter  less  than  a  wavelength  on  the  tip.  The  fiber  tip 

(a)  (b) 

functions  as  a  near‐field  light  source  to  illuminate  the  sample  or  a  near‐field  detector  to  collect  and  transfer  evanescent  fields  into  detectable  signals  in  far  field. Since the aperture has a finite size, the signal actually is the convolution of  the field of the object and the aperture. An apertureless NSOM uses a metallic  tip  to  scatter  high‐frequency  evanescent  fields  to  be  converted  into  low‐frequency  propagating  fields  that  can  be  detected  by  a  far‐field  detector. 

The  far‐field  signals  are  modulated  by  perturbations  in  near  field.  For  an  apertured  NSOM,  there  are  five  primary  operation  modes,  illumination,  collection, illumination collection, reflection, and reflection collection, as shown  in  Fig.  .  The  first  two  are  transmission  modes  while  the  remaining  three  are  reflection modes. Therefore, the choice of operation modes depends on sample  characteristics,  e.g.  opaque  or  transparent,  and  total  amount  of  light  on  the  sample. 

The essential factor to ensure the success of NSOM is the scanning system  that drives a fiber tip to fly over sample surfaces at a height of a few nanometers  above  the  surface.  Two  basic  functions  are  required:  capability  of  precise  positioning on the sample surface and accurate servo control for maintaining a  constant  gap  between  the  tip  and  the  sample  surface.  A  common  way  to  maintain the gap is the shear force feedback method. A fiber probe is attached  to one arm of a quartz crystal tuning fork and the other arm of the tuning fork is  attached to a piezo‐ceramics oscillator which can oscillate the tuning fork at its  resonant frequency. Because of the piezoelectric effect of the tuning fork, i.e. an  electrical  field  generated  under  pressure  and  conversely  dimensions  changed  when  an  electrical  field  is  applied,  the  oscillation  induces  an  AC signal  which  can be monitored. When the fiber tip is approaching to the sample surface, the  shear force between the tip and the surface damps the oscillation and causes a  change  in  the  induced  signal  amplitude.  The  dependence  of  the  amplitude  change on the distance then is used as a feedback servo signal to maintain the 

gap. Full‐range moving and positioning of the scanning head consisting of the  fiber  probe,  the  tuning  fork,  and  the  piezo  oscillator  are  accomplished  by  employing a 3‐axis piezoelectric tube. 

The  extremely  low  transmission  through  the  aperture  of  the  fiber  probe  results in a low signal‐to‐noise ratio. Thus, the illuminating light on the sample  is modulated by a chopper at a fixed frequency and the optical signal detected  by a photomultiplier tube (PMT) is amplified by a lock‐in amplifier at the same  frequency  to  filter  out  background  noise.  Moreover,  compared  to  the  image  obtained at once from conventional far‐field microscopes, the data from NSOM  is built point by point. It means that only local image information is taken in a  small  step  and  the  measured  signal  is  an  integral  of  the  collected  signal  for  a  finite  time  period.  Therefore, we  can  only  obtain  a  relative  near‐field  intensity  distribution rather than an image of an absolute illumination distribution from  NSOM.  Furthermore,  the  topography  also  induces  a  significant  influence  on  optical  images  because  the  probe  cannot  completely  follow  the  contour  of  sample surfaces and a nonlinear effect of the boundary conditions occurs as the  topography  changes.  It  implies  that  the  near‐field  intensity  distribution  from  NSOM  is  not  exactly  the  same  as  the  real  distribution  of  the  sample. 

Consequently,  optical  and  topographic  images  must  be  correlated  to  prevent  misconstruing the data. 

The  NSOM  used  in  our  measurement  belongs  to  Nano‐Photonics  Laboratory  at  Research  Center  for  Applied  Science,  Academia  Sinica.  The  measurement is conducted in collection mode. The membrane perforated with  apertures is installed on a 3‐axis stage and illuminated by a focused beam with  a  wavelength  of  633  nm.  The  fiber  tip  scans  over  the  surface  of  the  sample  to  obtain the near‐field intensity distribution through the subwavelength aperture  in the metal film. 

633-nm Laser

Collimating Lens

Detector Objective

Lens C-aperture

Substrate

Metal Film

4.2.2 Far-field Transmission Measurement System

A measurement system is designed and carried out to measure the far‐field  power throughput. The system configuration is illustrated in Fig. 4‐4. A linearly  polarized laser beam with a wavelength of 633 nm is focused on apertures by an  objective lens. The substrate that supports the apertures is attached to a holder  on  a  3‐axis  stage  so  that  the  apertures  can  be  finely  positioned  to  the  focused  beam. A collimating lens behind the aperture is utilized to collect and collimate  the  transmitted  light.  In  the  optical  path  lies  a  CCD  camera  to  capture  optical  images  through  apertures,  or  an  optical  power  sensor  to  measure  the  transmitted  power.  In  the  case  of  oblique  illumination  measurement,  the  laser  diode and the objective lens are installed on a rotation stage that can rotate with  respect to the aperture. 

 

 

 

 

 

 

Fig. 4‐4 Configuration of far‐field measurement system 

To align the aperture to the focal point of the incident beam, a microscope  is  necessary  to  zoom  in  the  illuminated  area  of  the  substrate.  With  the  aid  of  alignment keys around the aperture on the substrate, the position of the focused 

spot  can  be  ensured  to  be  on  the  aperture  area.  However,  the  aperture  is  too  small  to  be  seen  under  a  microscope  so  that  we  are  not  sure  whether  the  aperture is exactly in the optical axis and the focal plane of the incident beam. 

The  real‐time  images  captured  by  the  CCD  camera  provide  sufficient  information  to  finely  tune  the  position.  With  respect  to  the  center  of  the  aperture, the misalignment of the incident beam causes a symmetric change in  the  image  pattern.  It  means  that  there  are  two  mirror  images  in  opposite  positions  relative  to  the  center  of  the  aperture.  Consequently,  by  moving  the  aperture back and forth until two mirror images occur, the middle position of  two mirror images will be the target central position. 

A laser beam at the focal plane is supposed to have a Gaussian distribution. 

However,  within  the  effective  area  around  the  aperture,  the  incident  field  is  assumed to be a plane wave because the focused spot size is much larger than  the  dimensions  of  the  aperture.  In  addition,  the  ratio  of  the  measured  transmitted  power  to  the  total  incident  power  represents  the  overall  power  transmission.  To  coincide  with  the  power  throughput  used  in  the  simulation,  the central peak of the Gaussian beam is assumed as the incident amplitude at  the  aperture.  The  transmitted  power  is  measured  and  then  the  power  throughput is calculated and compared to the simulation results accordingly.