國 立 交 通 大 學
電子工程學系電子研究所
博 士 論 文
前瞻矽元件製作技術開發
與感測器應用之研究
Studies of Exploratory Silicon Device
Fabrication and Sensor Application
研 究 生 :陳豪育
指導教授 :簡昭欣 博士
前瞻矽元件製作技術開發與感測器應用之研究
Studies of Exploratory Silicon Device Fabrication
and Sensor Application
研究生:陳豪育 Student: Hou-Yu Chen
指導教授:簡昭欣 博士 Adviser:Dr. Chao-Hsin Chien
國立交通大學
電子工程學系 電子研究所
博士論文
A Dissertation
Submitted to Department of Electronics Engineering and Institute of Electronics
Collage of Electrical and Computer Engineering National Chiao Tung University
in Partially Fulfillment of the Requirements For the Degree of
Doctor of Philosophy in
Electrical Engineering March 2011
HsinChu, Taiwan, Republic of China