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聚胺基酸電阻式記憶體之研究

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Academic year: 2021

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全文

(1)

Study of polypeptide resistive memory

(2)
(3)

、 、 ; , 。 NDL XPS XPS

(4)

Roger

(5)

: 互 不 互 二 (Poly-L-lysine, PLL) 二

(Poly-L-glutamic acid, PLGA)

二 分 分 (1 × 1012 particles/cm2) (3~5 nm) 凡 仍 乙 分 下 水 (SEM) 二 寸 X (XPS) 二 分 二分 切乙PLL- 不 手 PLL 不 手 不 手 乙 二 不 手 (RRAM)

(6)

二 水 引 水 PLL- 不 手 勻 不 手 水 火 不 引 二 不 手

(7)

Study of polypeptide resistive memory

Advisor: Dr. Ching-Chich Leu Chemical and Materials Engineering

National University of Kaohsiung Student: Wen-Ru Lai

Graduate Program in Chemical and Materials Engineering National University of Kaohsiung

ABSTRACT

With the development of next-generation non-volatile memory, resistive memory has gradually attracted much research attention. In particular, polymer-based memory have potential to play an important role in future electronics. This study utilizes highly biocompatible Poly-L-lysine (PLL) and Poly-L-glutamic acid (PLGA) as active layer materials in resistive memory, which shows significant resistive effect. Moreover, the amine groups of the two polypeptides have reducing ability, and can directly reduce high coverage density(1 × 1012 particles/cm2) and small size(3~5 nm) of gold nanoparticles(Au

NPs. The distribution of Au NPs within the active layer was well controlled. The Au NPs could act as the trap center for resistive switching property. Compared to the existed defects in materials, which is generally considered as the major charge trapping sites, the uniform Au NPs contributed better resistive switching behavior by suppressing internal charge transfer. In addition, the high work function of Au NPs leads to longer retention time.

This study could be divided into three parts. Firstly, we discussed the effects of different process variations. The morphology of polypeptides and Au NPs was observed by Scanning electron microscopy(SEM). Meanwhile, X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)

(8)

was applied to analyze the effect of the functional groups of the two polypeptide during reducing reaction. In the second part of this study, we introduce PLL and Au NPs to the interface between the substrate and the organic perovskite(Methylammonium lead iodide, CH3NH3PbI3) thin film as a modifier. We found that both PLL and Au NPs assisted the

growth of organic perovskite films, and reducing the defects of organic perovskite films. Finally, both the polypeptides-based and the perovskite-based resistive memory were fabricated, and the resistive switching characteristics of the memory were measured. We found that the polypeptides-based memory exhibited resistive switching behavior, which can be further improved with the addition of Au NPs. The Au NPs can not only enhance the ON/OFF ratio of memory, but also significantly extend the retention time. On the other hand, the PLL/PLGA has little effects on the perovskite-based memory. Although the interface modification by PLL/PLGA between the substrate and perovskite can improve the quality of the perovskite thin film, no obvious changed was observed in the resistive switching behavior. This study proposed the possible conduction mechanism of the resistive memory.

(9)

I ………...………..………..I ………...………..………...IV ………...………..………….V ……….1 1.1 ………1 1.2 不………2 ……….5 2.1 二 ……….5 2.1.1 二 ………..6 2.1.2 二 五 ………6 2.1.2.1 互 二(Poly-L-Lysine) ……….7 2.1.2.2 二(Poly-L-Glutamic acid) ……….9 2.1.3 二 ………..9 2.1.4 二 乙 ……….………...11 2.1.4.1 ……….………11 2.1.4.2 切)……….……….……...12 2.2 乙 ……….………..12 2.2.1 了 ….………...13 2.2.2 了 ….………...13 2.2.3 丙 了 ………14 2.2.4 二 ………16 2.3 火 ………...17

(10)

II 2.4 不 手 ………...18 2.5 ………...18 2.5.1 (RRAM) ……….21 2.5.2 不 ………23 2.5.3 ………27 火 )………...28 3.1 火尺 ………...28 3.2 火 ………...30 3.2.1 火 ………33 3.2.2 切乙 二 ………34 3.2.2.1 二 子 ……….34 3.2.2.2 二 切乙(monolayer) ………34 3.2.2.3 二 切乙(multilayer) ……….34 3.2.3 乙 ………34 3.2.3.1 二 乙 切……….34 3.2.3.2 了 分 ……….35 3.2.4 不 手 乙 ………35 3.2.5 切乙………35 3.2.6 切乙………36 3.3 ………...36 3.3.1 水 ………36 3.3.2 ………37

(11)

III 3.3.3 X 及 ………38 3.3.4 - ………...38 3.3.5 - 今 ………...39 3.4 ………...39 ………...42 4.1 二 ………...42 4.1.1 ………...42 4.1.2 二 ………...46 4.2 ………...48 4.2.1 分 下 …………...49 4.2.2 二 凡 分 下 ...52 4.2.3 分 下 …………...61 4.2.4 分 下 …………...64 4.2.5 二分 不 …...69 4.3 不 手 …...…...74 4.4 不 …...…...81 4.4.1 二 ....…...82 4.4.2 不 手 ....…...91 ....…...…...…...99 ...…...…...102

(12)

IV 2.1 二 太 凡………...6 2.2 互 二 二 pH ……….7 2.3 互 二 二 pH ……….7 2.4 ………..20 2.5 不 不 ……….25 2.6 不 不 …..26 3.1 ………41

4.1 XPS Si/ SiO2/ PLL/ HAuCl4- 20 °C Au 4f X 力 ……….51 4.2 凡 二分 N1s 力 …………...56 4.3 XPS Au4f 二 凡 力 ……….57 4.4 凡片 二分 N1s …...60 4.5 XPS 片 二 凡 力 …..60 4.6 XPS 二 凡 力 ……..63

4.7 XPS Si/ SiO2/ PLL 二 Au4f 力 ....…...………...65

4.8 XPS Si/ SiO2/ (PLL-PLGA) 二 Au4f 力 ...…...…...67

(13)

V 2.1 (a)互 二 (b) 互 二 …………..…...………..8 2.2 (a)世 二 (b) 二 ……….………..9 2.3 ………...………..10 2.4 二 -α-Helical β-sheet ………...………..………11 3.1 (a) 二 (b) 不 手 ………...………..………31 3.2 火 ……….32 3.3 小 (mask pattern)………..36 3.4 (a) (b) I-V …………...40

4.1 (a) SiO2 (b) ITO (c)

SiO2 (d) ITO

………...…..44

4.2 (a) (b) (c) SiO2 切乙

二 分 SEM Si/ SiO2/ Plasma

treatment/ (PLL-PLGA)1.5/ HAuCl4- 20 °C-12 hr/ Annealing- 50 °C-

1hr...………..44 4.3 (a)(b)Si/ SiO2 (c)(d)Glass/ ITO (e)(f)PET/ ITO

切乙 二 分 SEM

(a)(c)(e) (b)(d)(f) Substrate/ O2

Plasma treatment/ (PLL-PLGA)1.5/ HAuCl4- 20 °C-12 hr/ Annealing-

(14)

VI

4.4 Glass/ ITO 切乙 二 (a)(c)(e)(g)

(b)(d)(f)(h) SEM Glass/ ITO/

(PLL-PLGA)x(x= 凡) (a)(b) pure substrate (c)(d)x= 10 (e)(f)x=

20 (g)(h)x= 40 ………47

4.5 切 二 切)切乙 二 SEM

Si/ SiO2/ (PLL-PLGA)1.5/ HAuCl4- 20 °C-12 hr/ Annealing-

50 °C- 1hr. ………...………...48 4.6 Si/ SiO2/ PLL 切 二 Si/ SiO2/ PLL/ HAuCl4- 20 °C-

12 hr X XPS Au 4f ………..50

4.7 Si/ SiO2/ PLL 切 二 Si/ SiO2/ PLL/ HAuCl4- 20 °C-

12 hr Au0 X ..………50

4.8 Si/ SiO2/ PLL 切 二 Si/ SiO2/ PLL/ HAuCl4- 20 °C-

12 hr X Au0 Au3+ 之 ..51

4.9 (a) 切 互 二 (b)切乙 互 二 分 Si/

SiO2/ PLL/ HAuCl4- 20 °C- 12 hr/ Annealing- 50 °C- 1 hr SEM

………...……….….52

4.10 凡 二分 SEM Si/

SiO2/ (PLL-PLGA)x(x= 凡)/HAuCl4- 20 °C-12 hr/ Annealing- 50

°C- 1hr (a) x= 0.5 (b) x= 1.0 (c) x= 1.5 (d) x= 2.5 (e) x= 3.5

(f) x= 4.5 ………...………..55

(15)

VII

SiO2/ (PLL-PLGA)x(x= 凡)/HAuCl4- 20 °C-12 hr/ Annealing- 50

°C- 1hr (a) x= 0.5 (b) x= 1.0 (c) x= 1.5 (d) x= 2.5 (e) x= 3.5

(f) x= 4.5 ………...………..56

4.12 凡 二分 Au4f7

Si/ SiO2/ (PLL-PLGA)x(x= 凡)/HAuCl4- 20 °C-12 hr/ Annealing-

50 °C- 1hr (a) x= 0.5 (b) x= 1.0 (c) x= 1.5 (d) x= 2.5 (e) x= 3.5

(f) x= 4.5 ………...………..57

4.13 二 中 片 切乙 分

SEM Si/ SiO2/ (PLL-PLGA)1.5(x M

NaCl)/HAuCl4- 20 °C-12 hr/ Annealing- 50 °C- 1hr (a) x= 0 (b) x=

0.1 (c) x= 0.4 (d) x= 1.0 (e) x= 3.0 (f) x= 5.0……….…58

4.14 凡片 二分 N1s

Si/ SiO2/ (PLL-PLGA)x(x= 凡)/HAuCl4- 20 °C-12 hr/

Annealing- 50 °C- 1hr (a) x= 0.5 (b) x= 1.0 (c) x= 1.5 (d) x= 2.5 (e) x= 3.5 (f) x= 4.5 ………...……..…59

4.15 凡片 二分 Au4f7

Si/ SiO2/ (PLL-PLGA)x(x= 凡)/HAuCl4- 20 °C-12 hr/

Annealing- 50 °C- 1hr (a) x= 0.5 (b) x= 1.0 (c) x= 1.5 (d) x= 2.5

(e) x= 3.5 (f) x= 4.5 ………...…………59

4.16 (a)Si/ SiO2 (b)Glass/ ITO (c)PET/ ITO 切乙 10

二 分 SEM Substrate/

(16)

VIII

4.17 凡 二分 Au4f7

Si/ SiO2/ (PLL-PLGA)x(x= 凡)/HAuCl4- 20 °C-12 hr

(a) x= 0.5 (b) x= 1.0 (c) x= 1.5 (d) x= 3.5 (e) x= 4.5 …….62

4.18 Si/ SiO2/ PLL 二 Au4f7

Si/ SiO2/ PLL/ HAuCl4- 20 °C...64

4.19 Si/ SiO2/ (PLL-PLGA) 二 Au4f7

Si/ SiO2/ (PLL-PLGA)/ HAuCl4- 20 °C...66

4.20 (a)Si/ SiO2 (b)Glass/ ITO (c)PET/ ITO 切 10

二 二 分 SEM

Substrate/ (PLL-PLGA)10/ HAuCl4- 20 °C-1 hr/ Annealing- 50 °C-

1hr...68

4.21 (a) PLL (b) PLGA pH ……….70

4.22 (a)PLL (b)PLGA (c) (d)

(e) (f) 丙 (g) 丙 ………70

4.23 Si/ SiO2/ PLL 二 Au4f7

Si/ SiO2/ PLL/ HAuCl4- 20 °C...71

4.24 (a)Si/ SiO2 (b)Glass/ ITO (c)PET/ ITO 切 10

二 分 SEM

Substrate/ (PLL-PLGA)10/ HAuCl4- 20 °C-12 hr/ Annealing- 50

°C- 1hr 4.20 ………...71

4.25 (a) 丙 (b) 丙 ...72

(17)

IX

4.27 Glass/ ITO PLL 切乙 手 UV-vis ..75

4.28 Glass/ ITO PLL 切乙 手 XRD ….75

4.29 Glass/ ITO (a)(b) PLL (c)(d) PLL 切

乙 手 SEM (a)(c) (b)(d) ………...………..76 4.30 Glass/ ITO PLL 切乙 手 PL …....76 4.31 不 手(a) (b) 切乙 Glass/ ITO Si/ Au XRD ………77 4.32 Glass/ ITO/ PLL PLL 分 切乙 手 UV-vis ………78 4.33 Glass/ ITO/ PLL PLL 分 切乙 手 XRD ………...78

4.34 Glass/ ITO/ PLL (a)(b) 分 (c)(d) 分

切乙 手 SEM (a)(c)

(b)(d) ……….………..……79

4.35 Glass/ ITO/ PLL PLL 分 切乙

手 PL ………...………79

4.36 (50 mg/ml) PMMA 切乙 Glass/ ITO SEM

………...………..………81 4.37 Glass/ ITO/ (50 mg/ml) PMMA/ Ag I-V …………...82

(18)

X

今(0 → +5 V) 今(0 → -5 V)

引 元 ………...83

4.39 Glass/ ITO/ (PLL-PLGA)40/ Ag

) 今(+5 V) 10 +0.1 V

士 今 今(-5 V)

10 +0.1 V 士 今 ………...…….83

4.40 Glass/ ITO/ (PLL-PLGA)40/ Ag

) 今(+5 V) 今(-5 V)

引 。 今

/引 今………...……….84

4.41 log-log Glass/ ITO/ (PLL-PLGA)40/ Ag

I-V fitting ………85 4.42 方 (a) 今 人 方 人太 ; ( (b) 方太 文 分 介 分 人 今 ; 方 (c) ………...…85 4.43 Glass/ ITO/ (PLL-PLGA)40/ Au NPs/ Ag I-V

) 今(0 → +5 V) 今(0 → -5

V) 引 元 ………...…...89

(19)

XI ) 今(+5 V) 10 +0.1 V 士 今 今(-5 V) 10 +0.1 V 士 今 ………...…….89

4.45 log-log Glass/ ITO/ (PLL-PLGA)40/ Au NPs/ Ag

I-V fitting ………...90

4.46 Glass/ ITO/ Perovskite/ Ag I-V )

今(0 → +2 V) 今(0 → -5 V)

引 元 ………..…….91

4.47 log-log Glass/ ITO/ Perovskite/ Ag I-V

fitting ………..92

4.48 Glass/ ITO/ Perovskite/ Ag I-V )

今(+3 V) 今(-3 V) 引

。 今 /引

今……….………...………93 4.49 Glass/ ITO/ Perovskite/ PMMA/ Ag I-V …………93

4.50 Glass/ ITO/ Perovskite/ PMMA/ Al I-V )

今(0 → +5 V) 今(0 → -5 V)

引 元 ………...94

4.51 log-log Glass/ ITO/ Perovskite/ PMMA/ Al

I-V fitting ………...95

4.52 ln(I)-(V)1/2 Glass/ ITO/ Perovskite/ PMMA/ Al

(20)

XII

4.53 Glass/ ITO/ PLL-Au NPs/ Perovskite/ PMMA/ Al I-V

) 今(0 → +5 V)

(21)

1

1.1

少 久 上 …… 六 上 不 月 , 久 (Flash) 入 乙 內 內 2015

3D XPoint DRAM NAND

入 方- - 方 CMOS 乙 方 方 士 才 > 4 levels < 300 ps 元 凡 > 10 G 尤。 > 10 yr @ 200C 才 40 ns 7.2 ns 引

Frost & Sullivan

(22)

2 不 元 不 乙 乙 仍 方 不 不/ 不 大 尤。 天 仍 引 不 介 引 大 不 仍 尤。 五 尤。

1.2

) 乙 介 分 已 反 切 五 二(polypeptide) 分 已 乙 (1 × 1012 particles/cm2) (3~5nm) 二 二 反 子

(23)

3 元 凡 分 火 元 ( 元 ) 已 不 元 寸 引 乙 元 & 方 力 五 二 (biocompatible) (biodegradeable) 不 已 元 火 入 尺 乙 反 力 乙 了 ) 升 ) 乙 力 二 乙 不 反 子 不 二 分 不 手 不 手 勻 乙 乙 不 手 乙 = 才 已乙 乙 元 不 手 乙 切) )切乙 文 下

(24)

4

引 反 不 手

(25)

5

2.1

互 二(Poly-L-Lysine, PLL) 世

二(Poly-L-Glutamic acid, PLGA) 二 勻

二 二 二(amino acid) (NH2) 丙二 (COOH) 二 (residue R) 20 二 (1) 二

二(Alanine) 化 二(Valine) 二(Leucine) 二(Isoleucine)

二(Proline) 二(Methionine) 二(Phenylalanine)

二(Tryptophan)

(2) 二 pH

二(Glycine) 二(Serine) 支 二(Threonine) 二

(Cystein) 二(Tyrosine) 且 二(Asparagine) 工且 二

(Glutamine)

(3) 二 二 丙 (-COOH) (pH=7) 元

二(Asparatic acid) 二(Glutamic acid)

(4) 二 (pH=7)元 二(Histidine)

(26)

6

2.1.1

二 (ampholyte) 丙 (H+) COO- 太 凡 pK1 NH3+ 太 凡 pK2 二 R 太 凡 2.1[1] 2.1 二 太 凡 [1]

2.1.2

二 二 互 二 二

(27)

7 二 世 二 二 元 互 二 二 二 引 2.2 [2] 互 二 二 pH 2.3 [3] 互 二 二 pH 2.2 互 二 二 pH [2] 2.3 互 二 二 pH [3]

2.1.2.1

(Poly-L-Lysine)

互 二 互 二 內 2.1[4] negative close to neutral 11 negative positive 7 to 9 neutral positive 2 PLGA Net charge PLL Net charge Approximate pH 0.22 ± 0.06 0.12 ± 0.09 0.05 ± 0.03 0.62 ± 0.15 PLL pH 10.5 0.49 ± 0.19 0.27 ± 0.04 0.17 ± 0.18 0.07 ± 0.13 PLL pH 7.3 0.36 ± 0.05 0.23 ± 0.02 0.29 ± 0.05 0.11 ± 0.08 PLGA pH 7.3 0.11 ± 0.04 0.03 ± 0.03 0.05 ± 0.07 0.82 ± 0.06 PLGA pH 4.2 coil β turn β sheet α helix

(28)

8 互 二 入 二 互 二 丙 丙 互 二 介 。 DNA [5] : 分 方太 分 已 乙 [6] 互 二方 二 pKa 9.4[7] pH 二 pH 7 9 [2] pH 11 互 二 pH 下 pH=3.6 二 元 pH=7.4 元 pH pKa 不 (random coil) [7] pH=10.5 α 公 (α-helix)[3] 互 二 方 方太 水 太 才 不 已 2.1 (a)互 二 [4] (b) 互 二

(29)

9

2.1.2.2

(Poly-L-Glutamic acid)

二 二內 2.2[8] 二方二 二 入 二 元 二 介 八 二 丙二 尺 尺 [9] 二分 介 引 也 乙 [2] 二 二 丙 pKa 4.9[7] 太 pH [2] pH 3.6 α-helix [3] pH 7.4 10.5 pH pKa random coil [7] 2.2 (a)世 二 [8] (b) 二

2.1.3

二 二 (peptide)

(a)

(b)

H

N

O

HO

O

(30)

10

2.3 二 介 (polypeptide)

二(Poly amino acids) ) 天

二 。

α-Helical β-sheet 2.4 [10] β-turn Random Coil α-Helical

R 公 N-H C=O 三 公 3.6 二 0.54nm 公 0.15 nm[10] β-sheet N-H C=O Random Coil 。 引 二 二 二 NH3+--OOC [11] β-sheet/turn 反 元 2.3

(31)

11 2.4 二 -β-sheet α-Helical [10]

2.1.4

2.1.4.1

火 二 反 切乙 之 反 中 切 乙 才 火 入 互 下 介 不 不 尤。 尤。

(32)

12 火 太 切 ) 互 太 入 火 pH 中 片 太 切 [7]

2.1.4.2

切)

切)切 二 切 之 一 。 切 凡 火 反 不 太 下 天 元 下 切 天 切 太 天 介 元 下 切 一 元 下 [12] 切 凡 乙 2002 K. Char [13] 切 切 切 勻 切 AFM 切

2.2

乙 ) ) )反 (bulk)

(33)

13 ) 不分 已 不 二 分 分 ) ) )(Green Chemistry) ) 乙 入 PLL PLGA 二 乙 引

2.2.1

互 二 二 方 八 。 分 已 尤。已 介 了

2.2.2

元 不 天 已 已 二 五 pH 乙 二 丙 分 分

(34)

14 2004 Xuping Sun [14] [polyethylenimine, PEI] 二 乙 、 分 , 乙 25 nm 2008 Yongwen Zhang [15] [polyamidoamine, HPAMAM-NH2] 分 已 尤。已 分 人 、 分 久 介 天 方 。 人 4~15 nm 6

尤。 2013 Maryam Farahnak Zarabi [16]

二 二 分 下

二(Aspartic acid) 二(Glutamic acid) 二(Tryptophan)

分 已 已 二 反 凡 子 二 尤。 大 二 分 2016 火 互 [17] 互 二(PLL)切 PLL 大 分 3~5 nm 8.9*1011 particles/cm2 PLL 分

2.2.3 丙 了

(35)

15 二 丙 分 分 丙 又 丙 尤。 分 分 方太 大 反 分 已 分 丙 了 分 2002 Tom C. Wang. [18]

二 片[poly(allylamine hydrochloride), PAH] 二

[poly(acrylic acid), PAA] [polystyrene, PS]

二人 人太 (Ag+) PAA

丙 pH 下 丙 凡 下

COO--Ag+ 凡 85 °C 今2 atm 大

天 人 人 2~4 nm 2007

Jianping Xie [19] 二 分

丙 二 二 二

2014 Zhihui Ni [20] 二[poly(acrylic acid), PAA]

二人 丙 (-COO-) PAA

人太 大 二(Tannic acid) 分 已

分 天 pH 子

人 乙 人 8~12 nm 2017

Liang Li [21] 介

(36)

16

介 丙 H+ Ag+ 太

PAA-Ag+大 [Sodium borohydride, NaBH4]

分 人太 分 人 乙 人

2.2.4

) 互 比 五 比 乙 比 二 太 1978 G. Milazzo [22] 太 分 Au(I)/Au(0) [AuCl2]- + e- → Au + 2Cl- Eo (V)= 1.154 Au(III)/Au(0) [AuCl4]- + 3e- → Au + 4Cl- Eo (V)= 1.002 Au(III)/Au(I) [AuCl4]- + 2e- → [AuCl2]- + 2Cl- Eo (V)= 0.926

分 分 介 心 分

分 [AuCl4]- 分 Au [AuCl2]-

[AuCl2]- [AuCl4]- 分 Au 太

[AuCl2]- 二 元 下

2007 Xiaohui Ji [23] 二 pH

太 [AuClX(OH)4-X]- (X = 0 ~ 4) 力 太 OH

太 介 二 下 分 不

(37)

17

二 二 [24] Density Functional Theory (DFT)

二 二 大 水 介 大 分

2.3

二 PLL PLGA 火 引 2010 [75] 互 二 分 2012 上[52] PLL PLGA 二 分 2015 [53] PLL PLGA 切乙 分 5 nm ~1012 particles/cm2 2017 互 [17] 久 PLL PLGA 分 切 乙 1.5 二 20 pH 5.6 二 12 50 分 5 nm ~1012 particles/cm2 乙 凡 尤。 仍 仍 PLL PLGA 分 分 介元 : 火 分 不

(38)

18 不

2.4

不 不 手 MAPbX3 X Cl I Br 凡 寸 介 , 22% - 今 , 不 手 介 [25] 不 手 乙 )切 不 手 已 乙 元 [26] 不 手 )切乙 不 手 互 文 乙 手 [27] [28][29] 了 不 手 乙 引 PLL 二 PLL

2.5

(39)

19 入 不 仍 Volatile memory Non-volatile memory 才 凡 今 日 入 (Ferroelectric Random Access Memory, FRAM) (Magnetoresistive Random Access

Memory, MRAM) (Phase-Change Random Access Memory,

PCRAM) (Resistance Random Access Memory, RRAM)

2.4 [30] 今 之

(40)

20

2.4 [30]

SRAM

DRAM

Flash

PCRAM

RRAM

MRAM

Cell area

>100 F2 6-8 F2 4-5 F2 8-16 F2 >5 F2 37 F2

Write time

<10 ns 10-60 ns 25 us 48 ns <10 ns <10 ns

Read time

<10 ns 10-60 ns 200 us 40-150 ns ~10 ns 12.5 ns

Endurance

>1015 >1015 104 108 105 >1015

(41)

21

2.5.1

(RRAM)

(Resistance Random Access Memory, RRAM)

CMOS 2017 RRAM RRAM , ; 2002 Ma [31] : 2-amino-4,5-imidazoledicarbonitrile (AIDCN) Al/AIDCN/Al NPs/AIDCN/Al Al NPs 2008 D. I. Son [32] (CdSe/ZnS) poly N-vinylcarbozale (PVK)。 5V 10 2010 S. J. Kim [33] 1.26*1011 cm-2

(42)

22 10nm Poly(vinylphenol) (PVP) 103 2012 A. Sleiman [34] Poly(methyl methacrylate) (PMMA)

Poly ethyleneimine (PEI) Poly acrylic acid (PAA)

PMMA 105 2016 Xu Li [35] (Cu2S) PVK 。 Poly(3,4-ethylenedioxythiphene): Poly(styrenesulfonate) (PEDOT:PSS) 104 2017 M. Lin [36] polychloro-para-evlyene (Parylene-C) 106 105 104 。 : : ; 。 2005 R. J. Tseng [37] 5 nm (Polyaniline)。 、 I-V 102~103 3 2010 D. I. Son [38] (Au NPs) PVK 。 、 105 105 2013 Z. Jin [39] poly(3-hexylthiophene) (P3HT)

(43)

23

polyimide (PI) 102~103

104 N. Gogurla [40]

。 polyethylene terephthalate (PET) I-V

105 102 : Si RRAM

2.5.2

: : 2002 Ma ; 2.4 2011 B. Cho [41] WPD-BT-FEO TEM ( 2013 W. Bai [42] I-V Poole-Frankel ) Space-charge-limited-current (SCLC) 2016 Y. Cai [43] SCLC 1 2

(44)

24 C-AFM 2017 W. G. Lim [44] Glass/ITO/PMMA/MICA/PMMA/Al PMMA MICA 。 ; 。 2.5 2005 R. J. Tseng [37] 5 nm (Polyaniline)。 、 30 nm 20 nm 2011

X. Liu [45] Tris(8-hydroxyquinolinato)aluminum (Alq3)

10 nm Alq3 HOMO 0.7 eV 2015 G. Casula [46] N 1400 XPS : :

(45)

25

2.5

Year Author Structure Conducting mechanism Features Ref

2010 D. I. Son et al. PET/ITO/PMMA/Graphene/PMMA/Al HRS: Ohmic & SCLC

LRS: Ohmic conduction PMMA insulator [47] 2011 B. Cho et al. p-Si/WPF-BT-FEO/Ag Filament formation TEM cross-section C-AFM [41] 2013 W. Bai et al. W/Parylene-C/Parylene-C/Al HRS: Poole-Frenkel emission

LRS: SCLC P-F emission [42]

2015 D. Y. Yun et al. PET/ITO/CZTS NPs in PMMA/Al (CZTS: Cu

2ZnSnS4)

HRS: Thermionic emission & Ohmic & SCLC

LRS: SCLC TE model fitting [48] 2015 Y. Busby et al. Glass/ITO/(PSS+Ag)/Ag Filament formation SIMS [49] 2016 T. Wei et al. Glass/ITO/POMA/Al HRS: SCLC (Ohmic law & Child’s law)

LRS: Ohmic conduction (Filament formation)

Thermally generated free

carriers & trap [50] 2016 Y. Cai et al. W/Parylene/Al HRS: SCLC

LRS: Ohmic conduction (Filament formation)

Comparison with

C-AFM [43] 2017 W. G. Lim et al. Glass/ITO/PMMA/MICA/PMMA/Al FN tunneling & Chatge trapping Energy band diagram [44] 2018 D. Chaudhary et al. Glass/ITO/(P3HT+CNT)/Al HRS: SCLC (Ohmic behavior & Child’s law)

LRS: Ohmic conduction (Filament formation)

Filament formation

(46)

26

2.6

Year Author Structure Characteristics of active layer Electrical properties Conducting mechanism Ref.

2005 Tseng R. J.

et al.

Al/polyaniline + Au NPs/Al Thickness: 30 nm Particle size: ~5 nm

ON/OFF ratio: 103 Retention: 3 days

Electric-field-induced charge transfer between polyaniline and

Au NPs

[37]

2010 D. I. Son et al. PET/ITO/PVK + Au NPs/Al Thickness: 100 nm Particle size: ~7 nm

ON/OFF ratio: 105 Endurance: 105 cycles

Retention: 106 sec HRS: TE emission & SCLC [38]

2011 X. Liu et al. Au/Alq3/Au NPs/Alq3/Al Particle size: ~10 nm Thickness: 100 nm ON/OFF ratio: 10 4

Retention: 104 sec

Charge trapped by Au NPs (Simmons and Verderer)

HRS: SCLC [45] 2013 Z. Jin et al. Al/PI/Au NPs/P3HT/Al Particle size: 15 nm

ON/OFF ratio: 102~3 Endurance: 100 cycles

Retention: 104 sec

HRS: TE emission & SCLC

LRS: Ohmic [39]

2015 G. Casula et al. Glass/ITO/N1400/Au or Al NPs/N1400/Ag Thickness: 240 nm Particle size: 9 nm

ON/OFF ratio: 103 Endurance: 103 cycles

(47)

27

2.5.3

/ (1) I-V , / 103 (2) ’ - - - ’ 。 103-107 (3) 10 (4) 、 , 100 ns

(48)

28

3.1

1. : : P-type : ( ) : <100> : 650-700 µm 5-10 Ω-cm 2. (silica wafer) :

(National Nano Device Laboratories, NDL) :

RCA 800

7 nm SiO2

3. ITO (ITO on glass) ITO 260 nm ITO 7

0.7 mm

4. ITO (ITO on PET) ITO 60

PET 125 um 5. (Di-ionic water) 18.2 MΩ-cm 6. (Hrydrogen Peroxide) H2O2 34.02 30 % ECHO-PUNMA 7. (Sulfuric acid) H2SO4 98.08 96 % J.T.Barker

8. (Ammonium Water) NH4OH 17.03

95 % Panreac

9. (Poly-L-Lysine, PLL) 、 C6H14N2O2

Mn ~ 60000( )

(49)

29

262 Poly(g-Z-L-Lysine) 、

229 Poly-L-Lysine

10. (Poly-L-Glutamic acid, PLGA) 、 C5H9NO4

Mn ~ 52000( )

Poly(g-benzyl-L-glutamate) 、 237

219

Poly(g-benzyl-L-glutamate) 、 237

Poly(L-glutamate)

11. (Hydrogen tetrachloroaurate(III) hydrate) HAuCl4

H2O 393.83 49 % Alfa Aesar

12. (Sodium Hydroxide) NaOH 40

95 %

13. (Sodium Chloride) NaCl 58.44

99.5% Panreac

14. (Poly(methyl methacrylate), PMMA) 、

C5H8O2 Aldrich

15. (Chlorobenzene) C6H5Cl 99

% Alfa Aesar

16. (Methylammonium Iodide) CH3NH3I

158.97 Aldrich

(50)

30

99 % Aldrich

18. (Dimethyl Sulfoxide, DMSO) C2H6OS

78.13 99 % J.T.barker 19. γ- (γ-Butyrolactone, GBL) C4H6O2 86.09 99 % Aldrich

3.2

3.1 3.2 ITO ) 3.1(a) ITO 、 PLL PMMA , 3.1(b)

(51)

31

3.1 (a) (b)

(52)

32

(53)

33

3.2.1

[68] (1) SiO2 ( (2) ITO P-type

(National Nano Device Laboratories, NDL) (

RCA 800 7 nm SiO2 一 文 SPM(Sulfuric-Peroxide Mixture) SPM 10 SPM H2SO4 H2O2=3 1 比 SPM 5 SiO2 分內 SiO- 文 [67] SPM 比 NH3OH H2O2 H2O=1 1 5 85 10 5 260 nm ITO ITO 水 。 ) 比 : ) 人 人 人 50 W 3 。 文

(54)

34

3.2.2

3.2.2.1

才 大 NaCl NaCl 已 0.1 M 大 已 0.1 mg/ml

3.2.2.2

(monolayer)

才 SiO2 10 1000 rpm 文 20 介

3.2.2.3

(multilayer)

PLL PLGA PLL-PLGA 文 PLL 1.5 尺 介

3.2.3

3.2.3.1

比 0.1 M 止 1 mM (HAuCl4) 水 文 介 人

(55)

35 0.5 24 力 5 比

3.2.3.2 十

又 止 十 (hot plate) 50 文 十 人

3.2.4

介 190 mg MAI 554 mg PbI2 0.7 ml GBL 0.3 ml DMSO 大 十 60 人 500 rpm 1 2000 rpm 15 5000 rpm 20 5000 rpm 5 丙 互 介 介 十 十 人 40 1 70 1 100 3 介

3.2.5

PMMA PMMA 已 (Chlorobenzene) 3000 rpm 40

(56)

36 十 120 文 30

3.2.6

3.4 1Å/sec 300 nm 500 nm 比 3.3 (mask pattern)

3.3

3.3.1

(Scanning Electron Microscopy,

SEM)

工 人

X (Energy Dispersive Spectrometry

(57)

37 HITACHI (Japan) S-4800 3~ 15 kV EDX BRUKER SEM 公 1 比 比 ) 10-6 Pa 3~ 5 nm 30 SEM 化 人

3.3.2

(Electron Spectroscopy

for Chemical Analysis, ESCA)

X 內 士

X

分 尺 內 …

Au4f7

PHI 5000 Versa Probe 1 cm * 1 cm

(58)

38

3.3.3

X

(High precision X-ray

Diffractometer)

) 十 了 。

X

XRD

五 ; (Bragg’s law) 比

Locked coupled Detector scan

Bruker D8

Billerica, Massachusetts, USA 22kW Cu (λ = 0.154060 nm) 仍 0.2 mm~ 2.0 mm 40kV 40mA 2 cm * 2 cm

3.3.4

-

(UV-Visible Spectrometer)

/ 下 UV-Vis UV 。 PerkinElmer Lambda 25/35/45 UV

(59)

39

Waltham, Massachusetts, USA 下 200~ 1100 nm 0.5 1 2 4 nm 升

3.3.6

-

(I-V

)

AgilentE5270B - ICS 比 I-V 人 人 又 I-V 。 ITO (GND) (VDD) 子 又 又 0.1 A 0 V 3.4 。 (Vset) 一 尤 (Vreset) 入

3.4

人 勻 入 3.1 Glass/ ITO/

(60)

40 Al 人 五 人 ITO 1.5 介 20 pH=5.6 1 mM 12 50 1 3.4 (a) 。 (b) 。 I-V [25]

(61)

41

3.1

Si/ SiO2 Si 5 nm SiO2

Glass/ ITO 7 ITO

PET/ ITO PET 60 ITO

Plasma treatment- X W-Y min 比 入 比 O2 plasma treatment X Y (PLL-PLGA)X PLL-PLGA 入 x 人 (PLL-PLGA)X (Y M NaCl) PLL-PLGA NaCl 入 X 人 Y NaCl 已 HAuCl4- 20 - X hr pH=5.6 已 1 mM 20 HAuCl4 X Perovskite 介 已 3.2.4 Annealing- X - Y hr 十 十 X Y Au NPs HAuCl4 元 十 中 元 PMMA PMMA Al 300 nm Ag 500 nm

(62)

42

4.1

比 才 。 / 。 。 。 。 介 介 SiO2 ITO 文 元

4.1.1

SiO2 ITO 比 SiO2 比 子 (SPM) 文 ITO 。 水 水 ITO 。 ITO 。 內

(63)

43 文 日 元 4.1 SiO2 ITO 比 化 / 。 止 水 SiO2 分內 SiO - ITO 。 OH 。 才 六 子 元 子天大 SiO2 元 4.2 SiO2 比 元 比 之 比 比 又 比 不

Si/ SiO2 Glass/ ITO PET/ ITO 50W

3 元 4.3

Si/ SiO2

Glass/ ITO 化 1 × 1012 particles/cm2

PET/ ITO 元 六 6 × 1011

(64)

44

4.1 (a) SiO2 (b) ITO

(c) 子 SiO2 (d) ITO

4.2 (a) (b) (c) SiO2

元 SEM Si/ SiO2/ Plasma

(65)

45

4.3 (a)(b)Si/ SiO2 (c)(d)Glass/ ITO (e)(f)PET/ ITO

元 SEM

(a)(c)(e) (b)(d)(f) Substrate/ O2 Plasma

treatment/ (PLL-PLGA)1.5/ HAuCl4- 20 °C-12 hr/ Annealing- 50 °C-

(66)

46

4.1.2

內 。 內 內

α-Helical β-sheet β-turn

Random Coil , 。

[53] PLL pKa 9.4 pH 9.4 PLL

α-Helical PLGA pKa 4.9

pH 4.9 PLGA α-Helical 才 pH 文 pH 4.9 ~ 9.4 比 30 nm[54] 介 才 三 人 SEM ITO 4.4 (a) (c) 10 介 ITO 人一 40 4.4 (g) ITO 工 又 4.4 (b) (d) (f) (h) SEM 40 介 140 nm 20 65 nm 10 介 SEM 五 ITO

(67)

47

4.4 Glass/ ITO (a)(c)(e)(g)

(b)(d)(f)(h) 工 SEM Glass/ ITO/

(PLL-PLGA)x(x= 人) (a)(b) pure substrate (c)(d)x= 10 (e)(f)x= 20

(68)

48

4.2

且 尺 少 才 三 少 止 -NH2 -NH3+ -COOH -COO- [14]-[16] , [52][17] UV-vis 500 nm ~ 600 nm 太 元 十 SEM 4.5 太 元 介 元 日 介 人 元 4.5 介 SEM

Si/ SiO2/ (PLL-PLGA)1.5/ HAuCl4- 20 °C-12 hr/ Annealing-

(69)

49

4.2.1

子 元 五 UV X 十 元 大 元 大 元 XPS SEM X 元 。 日 太 PLL Si/ SiO2 文12 XPS X 元 五 4.64.1 XPS Au 4f Au0 今 50.4 % X ; Au0 文一 Au3+ 今 止 切 X 中 元 Au0 一 , 4.7 E. Ozkaraoglu [55] 尤 84.4 84 X 元 X 又 X 元 中 X XPS Au0 Au3+ 人 X 4.8 Au0 996.9

(70)

50

X 又 PLL

4.6 Si/ SiO2/ PLL Si/ SiO2/ PLL/ HAuCl4- 20

°C- 12 hr X 及方 XPS Au 4f

4.7 Si/ SiO2/ PLL Si/ SiO2/ PLL/ HAuCl4- 20

(71)

51

4.8 Si/ SiO2/ PLL Si/ SiO2/ PLL/ HAuCl4- 20

°C- 12 hr X 及方 Au0 Au3+

4.1 XPS Si/ SiO2/ PLL/ HAuCl4- 20 °C Au 4f

X

(

Au(lll) Au(l) Au(0)

Area Sum Position (eV) Area Position (eV) Area Position (eV) Area 16.7 86.34 130.5 (6.7%) 85.10 0.1 (0.1%) 84.00 1779.6 (93.2%) 1910.2 8.3 86.40 331.5 (17.3%) 85.40 92.6 (4.8%) 84.40 1490.8 (77.9%) 1914.9 4.2 86.56 529.9 (26.1%) 85.45 202.6 (10.0%) 84.41 1298.4 (63.9%) 2030.9 2.5 86.70 691.1 (33.7%) 85.50 342.7 (16.6%) 84.42 1019.7 (49.7%) 2053.5 1.7 86.79 528.5 (26.5%) 85.48 396.5 (19.8%) 84.43 1071.6 (53.7%) 1996.6 0.8 86.77 639.9 (31.6%) 85.77 363.5 (18.8%) 84.66 1020.4 (50.4%) 2023.8

(72)

52

4.2.2

介 元 大 介 元 。 元 日 , [17] 4.9 才 才 才 元 4.9 (a) 才 (b) 才 元

Si/ SiO2/ PLL/ HAuCl4- 20 °C- 12 hr/ Annealing- 50 °C- 1 hr SEM [17] 介 人一 人 0.5 1.0 15 2.5 3.5 4.5 元 4.10 9 × 1011 particles/cm2 SEM XPS 止 4.11 N1s 人一 一 4.2 又 人 4.12 Au0 Au+ Au3+

(73)

53 4.3 Au0 人 一 一 今 0.5 3617.9 一 4.5 5346.1 人 一 止 止 元 人 元 日 人 。 比 。 已 火尺 火尺 五 二 少 比 一 [57] 介 一 元 人 4.13 火尺已 1M 化 1012 particles/cm2 火尺已 文一 人 一 1 元 士 2 火尺 不 0.1M 已 。 火尺 SEM 4.13(a) (b) 又 火尺 介 五 0.1 M NaCl 已 0.1 mg/ml 元

(74)

54 XPS N1s 4.14 人一 一 4.4 4.2 今 一 火尺 Au 止 4.154.5 4.3 今 一 火 尺 元 火尺 又 火尺 ITO

人 元 Si/ SiO2 Glass/ ITO

PET/ ITO 10 12 50 °C 十 SEM 4.16 10 ITO 元 六 1 × 1012 particles/cm2 文 。

(75)

55

4.10 人 元 SEM

Si/ SiO2/ (PLL-PLGA)x(x= 人)/HAuCl4- 20 °C-12 hr/ Annealing- 50

°C- 1hr (a) x= 0.5 (b) x= 1.0 (c) x= 1.5 (d) x= 2.5 (e) x= 3.5 (f) x= 4.5

(76)

56

4.11 人 元 N1s

Si/ SiO2/ (PLL-PLGA)x(x= 人)/HAuCl4- 20 °C-12 hr/ Annealing- 50

°C- 1hr (a) x= 0.5 (b) x= 1.0 (c) x= 1.5 (d) x= 2.5 (e) x= 3.5 (f) x= 4.5 4.2 人 元 N1s 人 NH3 + NH 2 Area Sum 4.5 135.2 (9.7%) 1251.6 (90.3%) 1386.8 3.5 143.2 (11.9%) 1055.5 (88.1%) 1198.7 2.5 767.2 (84.9%) 767.2 (84.9%) 903.3 1.5 578.6 (77.8%) 578.6 (77.8%) 743.3 1.0 527.4 (81.6%) 527.4 (81.6%) 646.2 0.5 209.1 (60.1%) 209.1 (60.1%) 348.0

(77)

57

4.12 人 元 Au4f7

Si/ SiO2/ (PLL-PLGA)x(x= 人)/HAuCl4- 20 °C-12 hr/ Annealing-

50 °C- 1hr (a) x= 0.5 (b) x= 1.0 (c) x= 1.5 (d) x= 2.5 (e) x= 3.5 (f) x= 4.5

4.3 XPS Au4f 人

Au (III) Au (I) Au (0) Area

Sum Position (eV) Area Position (eV) Area Position (eV) Area 4.5 86.82 (22.6%) 85.82 1645.6 (3.9%) 277.5 84.72 (73.5%) 7269.2 5346.1 3.5 86.86 (36.0%) 85.86 2317.5 (3.2%) 208.5 84.80 (60.8%) 6438.0 3912.0 2.5 86.84 (32.3%) 85.84 1481.5 (0.5%) 22.6 84.78 (67.2%) 4582.9 3078.8 1.5 86.78 (33.6%) 85.85 1190.8 (0.7%) 24.9 84.72 (65.7%) 3546.1 2330.4 1.0 86.80 (26.0%) 85.84 944.4 (7.0%) 253.5 84.83 (67.0%) 3634.1 2436.2 0.5 86.66 (38.1%) 85.46 1375.9 (7.7%) 279.5 84.55 (54.2%) 3617.9 1962.5

(78)

58

4.13 已 火尺 元

SEM Si/ SiO2/ (PLL-PLGA)1.5(x M

NaCl)/HAuCl4- 20 °C-12 hr/ Annealing- 50 °C- 1hr (a) x= 0 (b) x= 0.1

(79)

59

4.14 人火尺 元 N1s

Si/ SiO2/ (PLL-PLGA)x(x= 人)/HAuCl4- 20 °C-12 hr/

Annealing- 50 °C- 1hr (a) x= 0.5 (b) x= 1.0 (c) x= 1.5 (d) x= 2.5 (e) x= 3.5 (f) x= 4.5

4.15 人火尺 元 Au4f7

Si/ SiO2/ (PLL-PLGA)x(x= 人)/HAuCl4- 20 °C-12 hr/

Annealing- 50 °C- 1hr (a) x= 0.5 (b) x= 1.0 (c) x= 1.5 (d) x= 2.5 (e) x= 3.5 (f) x= 4.5

(80)

60 4.4 XPS N1s 火尺 人 人 NH3 + NH 2 Area Sum 4.5 118.8 (4.1%) 2762.8 (95.9%) 2881.6 3.5 127.3 (4.5%) 2697.2 (95.5%) 2824.5 2.5 69.1 (4.4%) 1511.3 (95.6%) 1580.4 1.5 41.8 (3.1%) 1300.1 (96.9%) 1341.9 1.0 66.1 (5.9%) 1060.4 (94.1%) 1126.5 0.5 64.4 (9.6%) 607.1 (90.4%) 671.5 4.5 XPS Au4f 火尺 人 人 Au (III) Au (I) Au (0) Area Sum Position (eV) Area Position (eV) Area Position (eV) Area 4.5 86.50 11410.2 (55.3%) 85.52 0.1 (0%) 84.39 9217.7 (44.7%) 20628.0 3.5 86.71 12468.7 (64.0%) 85.67 0.1 (0%) 84.51 7006.1 (36.0%) 19474.9 2.5 87.19 5473.4 (50.3%) 86.17 839.6 (7.7%) 85.05 4566.7 (42.0%) 10879.7 1.5 86.72 3738.4 (46.8%) 85.69 1312.9 (16.5%) 84.62 2927.0 (36.7%) 7978.3 1.0 86.89 1155.7 (26.6%) 86.00 91.4 (2.1%) 84.84 3097.9 (71.3%) 4345.0 0.5 86.56 1978.4 (40.4%) 85.38 147.1 (3.0%) 84.40 2775.8 (56.6%) 4901.3

(81)

61

4.16 (a)Si/ SiO2 (b)Glass/ ITO (c)PET/ ITO 10

元 SEM Substrate/

(PLL-PLGA)10/ HAuCl4- 20 °C-12 hr/ Annealing- 50 °C- 1hr

4.2.3 十

XPS SEM 元 五 比 元 , [17] 十 元 50 °C 人 50 °C 十 五 XPS XPS X 五 人

(82)

62 50 °C 十 XPS XPS 4.12 Au0 人 4.17 4.17 人 元 Au4f7

Si/ SiO2/ (PLL-PLGA)x(x= 人)/HAuCl4- 20 °C-12 hr

(a) x= 0.5 (b) x= 1.0 (c) x= 1.5 (d) x= 3.5 (e) x= 4.5 Au3+ 4.3 4.6 十 今 50 % 50 °C 十 73.5 % Au+ Au3+ 止 1978 G. Milazzo 入 [22] Au3+ 元 五 元 Au0 Au+ Au+ Au3+

(83)

63 元 Au0 十 XPS Au+ Au3+ Au+ 十 10 % 切 十 50 °C 十 元 4.2.1 X X 十 Au0 4.3 4.6 Au0 止 E. Ozkaraoglu [55] 止 50 °C 十 4.6 XPS 人 人 Au (III) Au (I) Au (0) Area Sum Position (eV) Area Position (eV) Area Position (eV) Area 4.5 86.89 4488.9 (61.8%) 85.80 589.9 (8.1%) 84.69 2187.3 (30.1%) 7266.1 3.5 86.90 3526.1 (58.1%) 85.60 990.1 (16.3%) 84.58 1553.9 (25.6%) 6070.1 1.5 87.15 1881.7 (50.0%) 86.00 801.3 (21.2%) 84.94 1083.9 (28.8%) 3766.9 1.0 87.00 653.8 (29.9%) 85.98 461.2 (21.0%) 84.87 1074.6 (49.1%) 2189.6 0.5 87.34 730.2 (30.7%) 86.60 628.7 (26.4%) 84.86 1020.9 (42.9%) 2378.9

(84)

64

4.2.4 元

元 五 五 子 五 元 日 五 五 十 才 止 4.184.7 一 24 今 一 才 24 文元 文 中

4.18 Si/ SiO2/ PLL Au4f7

(85)

65 4.7 XPS Si/ SiO2/ PLL Au4f ( ) Au (III) Au (I) Au (0) Area Sum Position (eV) Area Position (eV) Area Position (eV) Area 24 86.79 (47.8%) 86.10 5142.0 (7.0%) 756.0 84.82 (45.2%) 10763.4 4865.4 12 86.91 (30.9%) 86.01 1856.2 (11.5%) 84.99 692.9 (57.6%) 6011.7 3462.6 6 86.66 (19.1%) 85.79 645.1 (18.5%) 84.61 623.6 (62.4%) 3374.6 2105.9 1 86.40 (14.9%) 85.50 333.2 (4.2%) 92.8 84.56 (80.9%) 2232.0 1806.0 0.5 86.82 (11.0%) 85.85 179.6 (14.5%) 84.71 235.7 (74.5%) 1631.0 1215.7 , 元 [56] 3-(片 (3-Aminopropyl-trimethoxysilane, APTMS) (片 元 XPS 止 Au0 元 元 中

APTMS SiO2 Si-O-Si 內

五 元 五 PLL

少 (-NH3+) (Si-O-)

PLL random coil

(86)

66 方 五 元 五 五 24 PLL 元 Au0 元 PLL/ PLGA 元 XPS 止 4.19 4.8 PLL 今 一 一 4.7 4.8 PLL/ PLGA PLL 元

4.19 Si/ SiO2/ (PLL-PLGA) Au4f7

(87)

67

4.8 XPS Si/ SiO2/ (PLL-PLGA)

Au4f ( ) Au (III) Au (I) Au (0) Area Sum Position (eV) Area Position (eV) Area Position (eV) Area 24 87.00 (29.5%) 86.20 1742.4 (5.7%) 84.93 337.0 (64.8%) 5905.5 3826.1 12 86.95 (15.8%) 86.21 535.6 (13.5%) 84.69 456.4 (70.7%) 3380.9 2388.9 6 86.80 (5.6%) 86.10 153.3 (14.8%) 84.85 405.7 (79.6%) 2742.7 2183.7 1 86.80 (13.4%) 85.90 123.8 (5.4%) 84.73 50.3 (81.2%) 925.9 751.8 0.5 86.80 (10.4%) 85.81 82.5 (6.4%) 84.60 51.0 (83.2%) 794.2 660.7 PLL PLGA PLL -NH2 -NH3+ -NH2 元 中 中 -NH3+ 士 元 PLL/ PLGA -COOH -COO- -COO- 中 。 士 中 PLL/ PLGA 元 一 , 12 1 × 1012 particles/cm2 五 比

(88)

68

。 Si/ SiO2 Glass/ ITO

PET/ ITO 10 1 50 °C 十 SEM 4.20 ITO 化 8 × 1011 particles/cm2 3 nm SiO2 化 6 × 1011 particles/cm2 5 nm 化 12 5 nm 文 不 1 。 五 五

4.20 (a)Si/ SiO2 (b)Glass/ ITO (c)PET/ ITO 10

元 SEM

(89)

69

4.2.5

文 才 子 [17] 五 元 PLL PLGA 元 五 。 元 。 2007 Xiaohui Ji [23] pH [AuClX(OH)4-X]- (X = 0 ~ 4) 中 OH 中 五。 不 pH pH 日 。 尤 人 (4.1) 人

COOH(aq) ↔ H+(aq) + COO-(aq)

Ka = [H+][COO-]/[COOH]

-logKa = -{log[H+] + log[COO-] - log[COOH]} pKa = pH - log[COO-] +log[COOH]

(pH - pKa) = log{[COO-]/[COOH]} (4.1)

[ ] 已 Ka 人 (4.1) pH pKa 50 % pH pKa 水 pH pKa 水 pH 下 五 , [53] 4.21 PLGA pH 6

(90)

70 random coil 元 pH 6~9.4 4.21 (a) PLL (b) PLGA pH [53] 4.22 (a)PLL (b)PLGA (c) 。 (d) (e) (f) (g) 。 PLL 少 pH -NH3+ 4.22 (c) 元 [AuClX(OH)4-X]- (X = 0 ~ 4) 中 [24] 互 元

(91)

71 五 -NH2 4.22 (d) N 元 PLL 元 XPS 0.5 元 中 -NH2 元 -NH3+ 文 中 士 -NH2 元 五 (-NH2•+)[15][59] 一 今比 4.23 一 Au3+ 人一 4.23 一 止 久 Au3+ 一 人 五 比 止 ) 中 元 五 元 -NH2 (-NH2•+) 一 中 文 中 4.24

(92)

72

4.23 Si/ SiO2/ PLL Au4f7 止

Si/ SiO2/ PLL/ HAuCl4- 20 °C

4.24 (a)Si/ SiO2 (b)Glass/ ITO (c)PET/ ITO 10

元 SEM

Substrate/ (PLL-PLGA)10/ HAuCl4- 20 °C-1 hr/ Annealing- 50 °C-

(93)

73 PLGA 少 pH -COO- 4.22 (f) 中 PLL-PLGA 元 XPS PLL 尺 元 元 五 元 元 大 -COOH 4.22 (g) 元 -COOH O 內 [60] 內元 一 元 內 4.25 4.25 (a) 。 (b) 少 4.22 (e) 元 [14] PLGA 少

(94)

74 元 , [52] PLGA 止 4.26 UV-vis 又 元 比 元 元 [73] 元 少 少 中 元 才 中 4.26 PLGA 五 UV-vis [52]

4.3

元 (Methylammonium lead iodide, MAPbI3) 介

(95)

75 。 介 寸 大 丙(Ethyl acetate) 大[26] 丙 大 比 介 元 、 文 比 日 。 才 -NH2 -NH3+ -NH2 (I) 內 -NH3+ (I-) 介 介 日

) Glass/ ITO Glass/ ITO/ PLL

介 UV-vis PL SEM XRD 4.27~ 4.30 PLL UV-vis PL XRD 一 UV-vis 一 今 一 SEM 介 工 150 nm 止 介 止 XRD 一 。 介 月 PL 介

(96)

76 [27] PL PLL 又 一 介

4.27 Glass/ ITO PLL UV-vis

(97)

77

4.29 Glass/ ITO (a)(b) PLL (c)(d) PLL

介 SEM (a)(c) (b)(d) 工

(98)

78 元 介 [58] 介 。 又 尤 Glass/ ITO Si/ Au 。 XRD 4.31 4.31 (a) (b)

Glass/ ITO Si/ Au XRD

PLL 元

介 UV-vis PL SEM XRD

4.32~ 4.35 UV-vis PL XRD

(99)

79 工 150 nm 又 PLL 介 五 互 4.32 Glass/ ITO/ PLL PLL 元 UV-vis 4.33 Glass/ ITO/ PLL PLL 元 XRD

(100)

80

4.34 Glass/ ITO/ PLL (a)(b) 元 (c)(d)

元 介 SEM (a)(c)

(b)(d) 工

4.35 Glass/ ITO/ PLL PLL 元

(101)

81

4.4

Si/ SiO2 Glass/ ITO PET/

ITO 元 Si/ SiO2 元 支 元 比小 比 介 。 - 。 (0 → +V) (0 → -V) 尤 尤 文 不 尤 人 。 分 。 入 。 - 。 又 。 又 。 0.1 V 也 10 104 乙 比 103-107 10 元 ;

(102)

82

4.4.1

4.1.2 介 比 30 nm [54] 10 nm 比[61] 又 日 40 介 ((PLL-PLGA)40) 150 nm 介 。 丙(PMMA) 已 50 mg/ml 介 3000 rpm 40 SEM 介 工 4.36 150 nm PMMA 介 I-V

4.36 (50 mg/ml) PMMA Glass/ ITO SEM 工

[62] PMMA

。 。[63]

(103)

83 4.37 。 。 比 。 W. J. Joo [63] 日 PMMA 尺 π-

PLL-PLGA Glass/ ITO/ (PLL-PLGA)40/ Ag

I-V 4.38 。 尤 1.4 V -3.0 V 0.1 V 尤 3.5 × 103 4.39 3200 104 尤 比 元 。 4.40 5 。

(104)

84

4.38 Glass/ ITO/ (PLL-PLGA)40/ Ag I-V

(0 → +5 V) (0 → -5 V)

4.39 Glass/ ITO/ (PLL-PLGA)40/ Ag

(+5 V) 10 +0.1 V

也 (-5 V)

(105)

85

4.40 Glass/ ITO/ (PLL-PLGA)40/ Ag 。

(+5 V) (-5 V)

尤 /

又 Glass/ ITO/ (PLL-PLGA)40/ Ag

。 I-V log fitting 4.41 ) (Space-charge-limited-current, SCLC) I ∝ Vα (< 0.8 V) 1.23 (I ∝ V) 十 [50] 一 (> 0.8 V) 止 2.48 止 Child (I ∝ V2) fitting 1 W. J.

(106)

86

4.41 log-log 入 Glass/ ITO/ (PLL-PLGA)40/ Ag

I-V fitting

4.42 (a)

(b) 元 五 元

(107)

87 Joo [63] N S 內 PLL-PLGA 2017 J. Choi [64] 4.42 1.59 ×10-8 Ω·m 150 nm 8-10 nm[67] R = ρ × L / A (4.2) R ρ L 比 A 30.4 Ω 10 nm 47.4 Ω 8 nm 0.1 V 18.9 Ω Y. Liu [65] 300 Ω 元 I. R. Gallegos [66] 人 B. Cho [41] WPF-BT-FEO ( 五(Ag → Ag+ + e-) 元 (Ag+ + e- → Ag)

(108)

88 比 [68] Schottky F-N 尤 P-F SCLC

Glass/ ITO/ (PLL-PLGA)40/ Ag

SCLC [70] 日 ,, 。 尺 ,, 元 比 [38] 人 一 40 Glass/ ITO 十

Glass/ ITO/ (PLL-PLGA)40- Au NPs/ Ag

Glass/ ITO/ (PLL-PLGA)40- Au NPs/ Ag I-V

4.43 。 尤

4.7 V -4.4 V 一

(109)

89 0.1 V 尤 3.6 × 105 尤 4.44 乙 104 。 一

I-V log fitting 4.45

SCLC 止 (< 1.0 V) 1.75 (> 1.0 V) 3.03 太 G. Casula [46] 。 比 人

(110)

90

4.43 Glass/ ITO/ (PLL-PLGA)40/ Au NPs/ Ag I-V

(0 → +5 V) (0 →

-5 V) 尤

4.44 Glass/ ITO/ (PLL-PLGA)40- Au NPs/ Ag

(+5 V) 10

+0.1 V 也 (-5 V)

(111)

91

4.45 log-log 入 Glass/ ITO/ (PLL-PLGA)40/ Au NPs/ Ag

I-V fitting

4.4.2

/ / 又 介 。 介 日 六 XRD 。 ,, XRD 比 。 。 。

Glass/ ITO/ Perovskite/ Ag 又 。

Glass/ ITO/ Perovskite/ Ag I-V

(112)

92 尤 101 log-log 4.47 太 SCLC (I ∝ Vα) (I ∝ V) (4.2) 30.37 Ω 47.44 Ω 0.1 V 19.03

4.46 Glass/ ITO/ Perovskite/ Ag I-V

(0 → +2 V) (0 → -5 V)

(113)

93

4.47 log-log 入 Glass/ ITO/ Perovskite/ Ag

I-V fitting 。 六 200 4.48 尤 Y. Liu 2016 [25] 介 尤 101 (PMMA) 尤 PMMA 介

大(DMSO) PMMA PMMA

Glass/ ITO/ Perovskite/ PMMA/ Ag I-V

4.49 六

(114)

94

, 比

Glass/ ITO/ Perovskite/ PMMA/ Al

4.48 Glass/ ITO/ Perovskite/ Ag I-V

(+3 V) (-3 V) 尤

/尤

(115)

95

I-V Glass/ ITO/ Perovskite/ PMMA/ Al

4.50 0.5 V 。

0.1 V 尤 1.6 × 104

Glass/ ITO/ Perovskite/ Ag 元

I-V log fitting

4.51 SCLC Y. Liu [25] 切 介 PMMA H. Cai [71] 介 Schottky fitting 4.52 Schottky

4.50 Glass/ ITO/ Perovskite/ PMMA/ Al I-V

(0 → +5 V) (0 → -5 V)

(116)

96

4.51 log-log 入 Glass/ ITO/ Perovskite/ PMMA/ Al

I-V fitting

4.52 ln(I)-(V)1/2 入 Glass/ ITO/ Perovskite/ PMMA/ Al

(117)

97 P. Y. Lai [74] 介 切 日 Schottky SCLC 介 PMMA 4.51 [41][72] [26][70] PMMA [63] 分 介 )

Glass/ ITO/ PLL- Au NPs/ Perovskite/ PMMA/ Al

4.3 PLL 元

4.53

0.3 0.1 V 尤 1.6 × 104 。

Glass/ ITO/ Perovskite/ PMMA/ Al

PLL 元 PLL ITO 介 五 介 一 。 PLL 五 一 , 五 止。 。

(118)

98

4.53 Glass/ ITO/ PLL-Au NPs/ Perovskite/ PMMA/ Al I-V

(0 → +5 V)

(119)

99

1. Si/ SiO2 Glass/ ITO PET/ ITO

SEM 3~5 nm 化 1 × 1012 particles/cm2 太 元 2. SEM PLL PLGA 工 人 尤 40 介 140 nm 止 人 介 3. 人一 止 XPS 一 一 元 4. 0.1 M NaCl 大 火尺 互 XPS 一 5. XPS PLL 止 Au ; 一 元 中 一 文

(120)

100 6. XPS (PLL-PLGA)1.0 止 一 PLL 元 PLGA PLGA 中 。 7. 50 °C 十 止 十 50 % 十 50 % 今 止 50 °C 十 8. 元 1 少 元 比 反 比元 2 PLL 少 (-NH3+) 中 (-NH2) 元 五 3 PLGA 少 (-COO-) 中 。 元 五 (-COOH) O 元 內 元 9. PLL 元 介 SEM UV-Vis XRD PL 一 介 介

(121)

101 10. PLL PLGA 元 比 。 。 11. 比 I-V 103 尤 3200 元 尤 一 105 104 RRAM 。 12. 介 比 六 。 300 尤 101 介 104 尤 止 比 。 13. PLL 元 介 比 六 一 介 。 。

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參考文獻

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