微 光 機 電 系 統 實 驗 室
旋轉塗佈機使用說明書
★★注意事項★★
1. 若發現機臺異常請立即通報機臺負責人（TEL：（02）23923105#835）
或是實驗室負責人（楊啟榮 教授 TEL：（02）23923105#733 或 0955-052-392）。
2. 開 Pump 時請確定運轉(視葉片是否順利轉動)。
3. 調整轉速前確定卡楯已開。
4. 務必將滴落在機台上的光阻用丙酮清除乾淨。
廠商資料
旋佈機
型號 廠牌 代理商 維修人員
K-359SD-1 KYOWARIKEN 鑫拓 (03)564-6465
楊景琦 0916-088-326 幫浦
型號 廠牌 代理商 維修人員
ULVAC DA-30S 鑫拓
(03)564-6465
楊景琦 0916-088-326
編號 名稱 圖片 1 轉動時間顯示器
2 轉動時間設定器
3 轉速顯示器
4 轉速調整鈕 5 轉速調整鈕卡楯
6 總開關
7 旋轉開關
8 真空開關
5
4
6 7
8
編號 名稱 圖片 10 大型晶片(4 吋晶片)轉盤
11 小型晶片(破片)轉盤 12 晶片對正工具
13 幫浦開關
14 藍膠帶
15 鋁箔紙
16 保鮮膜
10
11
12
操作說明
1. 開幫浦 13，開總關開 6。
2. 調整轉速(注意：真空開關 8 要關，否則無法調整)。
3. 利用轉動時間設定器 2，依次將每段轉動時間調長(以方便調整轉速)，
再用轉速調整鈕 4 調至所需轉速，最後將每段時間調整至所需秒數。(注 意：調整轉速，卡楯要扳上，調整後要扳下)。
4. 開真空開關 8。
5. 打開蓋子，依照試片大小更換適當之轉盤 10、11。
6. 將試片放置轉盤 10、11 上，用晶片對正工具 12 對準晶片及轉盤的邊緣。
7. 將 HMDS 或光阻倒置晶片中央。
8. 蓋上蓋子，按旋轉開關 7，中途若停止請按旋轉開關 7。
9. 塗佈完畢，打開蓋子，關閉真空開關 8，取出試片。
10. 如果要開啟蓋子並觀察塗佈情形時，要將上蓋感應器 9 押著，轉盤才能 夠轉動。
11. 關閉總開關 6，關掉幫浦 13。
12. 每天的最後使用者請更換鋁箔紙 15，若蓋子的保鮮膜 16 已經污損請加 以更換新的。
13. 當轉盤 10、11 上的藍膠帶污損時請加以更換，並將轉盤吸孔上的膠帶 戳破，否則晶片將無法吸附於轉盤之上。
