Thermoforming of high aspect ratio microstructure process in the study of the manufacture 黃致維、吳政憲
E-mail: 9419562@mail.dyu.edu.tw
ABSTRACT
This paper makes one and carries on research To different plastic shaping, it is injecting molding . hot embossing and
thermoforming three make technology to high aspect ratio of the micro-structure to probe into, as to present development, plastic processing regards injecting molding as the main process technology . hot embossing is secondly , as for the thermoforming in the general industry ,the structure comparatively low in precision that all process and belong to the larger and size, this text will utilize the reactive ion etching (RIE) etching, and obtains the microstructure mold core by electroform. The material respect of the experiment injecting molding .and hot embossing to adopt and press one gram of strenglh (PMMA ) to carry on research, choose shaping better PET and LDPE film to carry on the experiment in thermoforming utilize experiment of Taguchi's L9, to analysis contribution find out the best parameter to plan, enable the size of finished product of shaping to reach.
Keywords : micro-structure. injecting molding , hot embossing and thermoforming reactive ion etching(RIE) Table of Contents
第一章 問題描述 1.1 緣起...1 1.2 真空熱成型製程簡介...2 1.3 射出成 型製程簡介...4 1.4 熱壓成型製程簡介...5 1.5 本文目
標...6 第二章 國內外有關問題之研究情形...15 2.1 真空熱成型相關文 獻...15 2.2 微結構模仁製作相關文獻...17 2.3 微射出成型相關文
獻...18 三章 研究方法與進行步驟 3.1 研究設備...20 3.1.1 真空產生設 備...20 3.1.2 射出成型機...21 3.1.3 模溫機...21 3.1.4 熱壓成型機...22 3.1.5 表面粗度儀與α-step...22 3.1.6 掃描式電子顯微 鏡...22 3.1.7 雷射位移計...22 3.2 實驗材料介紹...23 3.2.1 聚酯薄膜(PET)...23 3.2.2 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)...24 3.2.3 低密度聚乙 烯(LDPE) ...24 3.3 實驗流程...25 3.3.1 微結構之幾何形狀設
計...25 3.3.2 真空成型及射出成型之模具設計...26 3.3.3 微結構之模仁製 作...27 3.3.3.1 微影製程之幾何形狀設計...28 3.3.3.2 等向性蝕刻微結構之製
作...30 3.3.3.3 非等向性蝕刻微結構之製作...31 3.4 實驗規劃...33 3.4.1 穩健設計法...33 3.4.2 成型品之量測...37 四章 實驗結果與討論 4.1 模仁製作 結果與討論...63 4.1.1 微影製程之微結構...63 4.1.2 微電鑄實驗結果與討 論...64 4.2 田口實驗結果與討論...65 4.2.1 微射出成型之田口實驗結果與討 論...65 4.2.2 微熱壓成型之田口實驗結果與討論...66 4.2.3 真空熱成型之田口實驗結果與討 論...70 4.3 驗證實驗...74 4.3.1 射出成型之驗證實驗...74 4.3.2 熱壓成型之驗證實驗...75 4.3.3 真空成型之驗證實驗...75 第五章 結論與未來展望 5.1 製程成型之比較...101 5.2 未來展望...102 參考文
獻...106 REFERENCES
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