國 立 臺 灣 師 範 大 學 微 光 機 電 系 統 實 驗 室
光學顯微鏡使用說明書
中華民國九十三年六月 版本 1.0
★★注意事項★★
光學顯微鏡使用說明書 版本 1.0
1. 若發現機臺異常請立即通報機臺負責人(TEL:(02)23923105#835)
或是實驗室負責人(楊啟榮 教授 TEL:(02)23923105#733 或 0955-052-392)。
2. 使用後請將觀測平台調整歸位。
3. 顯微鏡的所有調整軸皆為精密機構,禁止快速轉動。
4. 關閉 CCD 開關 18。
儀器廠商資料
光學顯微鏡
型號 廠牌 代理商 維修人員
STM-6 OLYMPUS 元利儀器
(02)8751-2222
林川峰0920-977-635 高揚名0935-000-997 顯微鏡光源產生器
型號 廠牌 代理商 維修人員
MM6-LS22 OLYMPUS 元利儀器
(02)8751-2222
林川峰0920-977-635 高揚名0935-000-997 座標顯示器
型號 廠牌 代理商 維修人員
MM6C-PS OLYMPUS 元利儀器
(02)8751-2222
林川峰0920-977-635 高揚名0935-000-997 顯示器
型號 廠牌 代理商 維修人員
VM-C1942 SAMPO 傑訊 林淑萍
0928-115-497 CCD
型號 廠牌 代理商 維修人員
SSC-DC50A SONY 泛達
(03)572-8466
鍾昭德 0932-016-226
光學顯微鏡使用說明書 版本 1.0
儀器編號 儀器名稱
A 顯示器
B 座標顯示器主機
C 座標顯示器
D 顯微鏡光源產生器
E 光學顯微鏡
E
C
D
A
B
光學顯微鏡使用說明書 版本 1.0
儀器A 顯示器
編號 名稱 圖片
1 顯示器電源
儀器B 座標顯示器主機
編號 名稱 圖片
2 座標顯示器開關
儀器C 座標顯示器
光學顯微鏡使用說明書 版本 1.0
顯示位數
mm μm
若座標顯示器顯示0.1125,則代表 112.5μm 精度達到μm 等級,最小變動數值為 0.5μm
編號 名稱 圖片
3 X 方向移動量歸零鍵 4 Y 方向移動量歸零鍵 5 Z 方向移動量歸零鍵 6 無功能(勿使用)
儀器D 顯微鏡光源產生器
光學顯微鏡使用說明書 版本 1.0
編號 名稱 圖片
7 光源產生器開關
8 下光源調整旋鈕
9 上光源調整旋鈕
光學顯微鏡使用說明書 版本 1.0
儀器E 光學顯微鏡
編號 名稱 圖片
10 CCD
11 目鏡
12 對焦(粗調、細調)旋鈕
13 物鏡(倍率:5X、10X、50X、80X)
粗調 細調
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14 視訊切換桿
15 物件觀測平台
16 X 方向調整軸
17 Y 方向調整軸
18 CCD 開關
視訊至目鏡
視訊至CCD
光學顯微鏡使用說明書 版本 1.0
操作說明:
1. 開啟座標顯示器開關 2。
2. 開啟光源產生器開關 7,選擇所需光源並調整適當光源,光源強度最好 不要超過一半。(開的時候要先開開關,再調光源強度。關的時候要先 將光源強度調至最小,再關開關。)
3. 直接用目鏡 11 觀察或是使用顯示器 A 觀察。
4. 將要觀察之試片放在物件觀測平台 15 上,從最小倍率開始對焦,使用
對焦旋鈕 12 進行對焦,先粗調再微調,依序更換所需倍率;小倍率更
換大倍率時,只需微調即可聚焦。
5. 應用 X 方向調整軸 16、Y 方向調整軸 17 尋找欲觀察的影像。
6. 以目鏡基準線對準量測試片之邊緣,配合座標顯示器 C 可量測 XYZ 三 軸的尺寸。
7. 量測完畢,將 XYZ 三軸 12、16、17 歸至定位,並將物鏡調為最小倍率。
8. 關閉所有開關。
光學顯微鏡使用說明書 版本 1.0
座標顯示器使用說明
1. 假設量測圖中 X 方向 的寬度。
2. 在目鏡中,先將對準線 對準待測物的一端。
3. 按 X 方向移動量歸零 鍵3。
1. 將物件移動,使得待測 物定一端與對準線對 齊。
2. 紀錄座標顯示器 C 中 顯示的 X 方向數值,
此質及為待測物 Y 方 向的寬度。
1. 再移動待測物,使其另 依端再次對齊對準線。
2. 若此時座標顯示器 C 中 X 方向的數值顯示 為零時,代表所測的數 值準確。
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1. Y 軸方向的量測方法 與 X 軸方向的量測方 式相同。
1. 若是要量測如圖左的 物件之A 與 B 面高度 差。
1. 將焦距對準兩面中的 其中一面,此時另一面 將模糊不清。
2. 此時按 Z 方向移動量 歸零鍵5。
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1. 將焦距對準另一面。
2. 紀錄座標顯示器 C 中 顯示的Z 方向數值,此 質及為待測物 Z 方向 的高度。
1. 再次對焦於第一面。
2. 若此時座標顯示器 C 中 Z 方向的數值顯示 為零時,代表所測的數 值準確。
光學顯微鏡使用說明書 版本 1.0
擷取影像軟體使用說明
4. 用視訊切換桿 14 將影 像切換至顯示器。
5. 在 電 腦 中 執 行 PSC3000RRO。
6. 輸 入 帳 號 與 密 碼 (mems)。
1.選擇”標準量測”。
1.選擇”全彩(32bit)”。
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1.選擇”工程量測”。
1. 調整焦距、位置找尋到 欲拍的影像後。
2. 並將”選擇鏡頭倍率”
調整與至目前所用的 物鏡倍率。
3. 按滑鼠右鍵選擇”儲存 影像”。
1. 輸入影像名稱、選擇資 料夾。
2. 將影像格式選擇 JEPG 檔,以避免影像發生變 化。
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1. 按 ”►”鍵擷取其他影 像。
1. 若要更改比例尺,選 擇”環境設定”。
1. 如果要更改比例尺的 長 度 時,將”比例尺長 度”的數值改變。
2. 按”確定”進行更改。
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1. 更改完比例尺長度後 的結果。
1. 如果要更改比例尺的 間 隔 的 大 小 時 時,將”
比例尺間隔”的數值改 變。
2. 按”確定”進行更改。
1. 當使用完畢時,按螢幕 左下角的”離開”鍵。
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1.按”離開”鍵。
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恢復比例尺方法
1. 由於重灌後,比例尺將 消失,必須將回覆檔,
貼回主系統程式中。
2. 複製被份檔案(D 槽尺 度 規 校 正 資 料 中 的 Borland、Shengtek 兩 資料夾)。
1. 覆 蓋 並 取 代 C:\Program Files 中的 Borland、Shengtek 兩 資料夾。