SE-014
破片光阻旋轉塗佈機 一、目 的：
定義破片光阻旋轉塗佈機操作規範，以確保操作品質。
二、範 圍：
適用於破片光阻旋轉塗佈機。
三、權 責：
1. 組織權責：工程師負責制定及修改規範。
2. 執行人員資格：經過破片光阻旋轉塗佈機考核通過之人員。
四、名詞定義：
無。
五、 相關文件：
無。
六、標準作業程序：
1. 使 用 前 先 將 Pump 打 開 (按 壓 [Power]鍵)， 選 取 適 當 之 吸 頭 (chuck)， 確 認 wafer 可 確 實 被 吸 住 (觀 察 真 空 值 可 達 紅 色 刻 度 以 下 )， 設 定
step1(low)與 step2(high)轉 速 值 (RPM)與 時 間 (秒 )， 按 壓 右 側 紅 色 啟 動 鈕 ， 並 於 使 用 後 將 Pump 關 閉 (按 壓 [Power]鍵)(如 圖 一 )。
2. Hot Plate 請 於 使 用 前 才 加 熱 ， 1 小 時 以 上 不 使 用 請 關 閉 ， 以 延 長 加 熱 板 壽 命 ， 並 且 勿 超 過 使 用 溫 度 上 限 200 度 ， 不 使 用 時 需 將 插 頭 拔 離 。 3.使 用 旋 塗 機 時 為 避 免 污 染 與 有 機 液 體 流 入 腔 體 內 造 成 無 法 吸 附 試 片，需
於 旋 塗 機 內 鋪 上 無 塵 擦 拭 紙 並 於 使 用 後 清 理 乾 淨 。
5.使 用 後 請 收 拾 乾 淨 ， 使 用 器 具 收 歸 原 位 ， 使 排 風 櫥 之 門 關 閉 。 6.使 用 中 請 儘 量 將 排 風 櫥 之 門 拉 下 至 不 影 響 操 作 為 原 則，以 減 少 溶 劑 揮 發 到 無 麈 室 。
7.超 音 波 震 盪 機 使 用 時 須 隔 水 震 盪，液 位 視 盛 裝 震 盪 物 容 器 而 定，以 容 器 可 以 穩 定 不 翻
覆 為 原 則 。
時間設定
[Power]鍵 紅 色 旋 轉 啟 動 鈕
真 空 值 紅 色 刻 度
轉速設
(圖 一 )
Hot Plate 專用插座
超音波震盪機專用插座
(圖 二 )
注意事項：
1.使用前須以擦試紙包覆塗佈區，避免光阻或旋塗液弄髒環境。使用後務必須以 擦試紙清理乾淨，並將弄髒區域(包含蓋子、腔體與工作檯面)擦拭乾淨。
2.Hot plate 使用前插頭必須於安擦於正確之插座上(依插座上之張貼說明)，避 免跳電。使用後若
接續無人使用則需關閉烤盤電源，以策安全(如 圖 二 )。
3.此機台之水槽排放是接酸鹼廢液管，嚴禁將有機廢液(如:Acetone , IPA , 與 光阻顯影液)直接
倒入排放使用，需倒入至廢液回收桶(使用後必須立刻將桶蓋旋緊，避免有機 異味飄散)，若發現
違反規定者 ,立即取消使用資格，與進出無塵室之磁卡，並且不再予與重新認 證機台之使用。
4.旋塗機更換吸盤(chuck)時,施力須保持垂直拉拔，避免不當施力造成支撐桿彎 曲變形。另為減少拉拔次數，使用後毋須將吸盤(chuck)時拔離，留待下位使 用者視使用條件決定更換與否。
5.實驗室提供之顯影液(AD-10)適用於 AZ 光阻系列，其為強鹼性、強腐蝕性溶劑 並含 2.38%TMAH(氫氧化四甲基銨)，故使用時需配戴好安全防護器具(耐酸鹼 手套、護目鏡、有機濾毒罐空氣呼吸器等)，保護自身安全。
6.[Power]鍵不吸真空時務必解除，避免 pump 不間斷運轉造成損壞!!(如圖一)。
7.使用前後務必填寫使用記錄本，並將工作檯面整理乾淨，未通過考核嚴禁使用。
