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4-2 以法拉第杯量測金字塔結構之場發射電流

4-2-1 金字塔結構 1、3、10 場增益效應探討

此實驗乃是希望能以法拉第杯量測出覆銥單晶鎢針之金字塔結 構的場發射電流 ,在以往 FIM 量電流的實驗,為了方便,大多採取 從 MCP 直接量取電流,但是電子束在撞擊 MCP 內部的通道時 ,有 可能產生二次電子,加上 MCP 由於它的面積太大,所以打在上面的 電子有可能來自針以外的地方,導致我們量到的電流值可能比實際值 略大。為了改善這樣的情況,我們設計了一個法拉第杯,希望能藉法 拉第杯避免二次電子的產生。

Fig.4-2-1 是覆銥鎢針(以下簡稱 A 針)在加熱退火 1067K 後所得到的 類型一金字塔結構,可以發現原本第二層應是 3 顆,只是左邊的位置掉 了 1 顆 ,而下一層明顯是 10 顆的結構

Fig.4-2-1 (111)類型一金字塔結構

Fig.4-2-2 是 A 針三顆原子的場發射影像,在剛開始成像時我們可以 看到金字塔的形狀似乎介於橢圓與三角形之間,當電壓慢慢提高,形狀 則越來越接近倒三角形,這樣的形狀與金字塔稜線方向相同。

在 Fig.4-2-3,我們小心將 A 針上層的 3 顆原子蒸掉,使得 10 顆原子

Fig.4-2-2 不同電壓下,類型一金字塔(三顆)的 FEM 圖

Fig.4-2-3 類型一金字塔 10 顆示意圖

出現在金字塔最上層,但其實這也並非完整的 10 顆,不難發現其實在第 三排的地方似乎缺失了兩顆原子。

在 Fig.4-2-4 我們也嘗試觀察 10 顆結構的場發射影像與 3顆場發射影 像的不同,但幾乎無法察覺其不同之處,推測可能在場發射三顆時,由 於下面 10 顆原子也同時場發射,導致兩者的形狀變化不大。

我們在 3 顆與 10 顆結構,個別量了其場發射的電流,而 Fig.4-2-5 便是使用法拉第杯所量之電流得到的 Fowler-Nordheim plot

Fig.4-2-4 不同電壓下,類型一金字塔(10 顆)FEM 圖

從 Fig.4-2-5 的 F-N plot,我們可清楚的注意到,3 顆的斜率略大於 10 顆的斜率,根據 Fowler-Nordheim equation,斜率越大代表場增益效 應越強,所以由此我們可以確切得知 3 顆的場增益效應確實比 10 顆來的

接下來我們換了一根新的覆銥單晶鎢針(以下簡稱 B 針),並成功將它 長至 1 顆與 3 顆:

Fig.4-2-6 是我們在加熱至 1000K 時所形成的單原子,為了確定他在 場發射影像的情形,在出現了單原子後,立即轉至 FEM。

Fig.4-2-7 為單顆原子的場發射影像,我們可以發現,在低電壓時場

Fig.4-2-6 (111)面的 1 顆原子

Fig.4-2-7 1 顆原子的 FEM 圖

發射影像是比較接近圓形,而到三角形則是在達到高壓時才慢慢顯示出 來。

Fig4-2-8 為加熱退火 973K 所長成的 3 原子結構,接下來一樣將它轉 至場發射影像進行確認。

Fig.4-2-9 為三顆原子的場發射影像,我們可以很明顯的看出 3 顆原 子結構造成的場發射影像不如單顆原子影像來的圓,與 A 針 3 顆原子的

Fig4-2-8 (111)面的 3 顆原子

Fig.4-2-9 三顆原子的 FEM 圖

情況相同,在低壓時似乎都介於橢圓與三角形之間,而隨著場發射電壓

根據 Fig.4-2-10,我們可以看出 1 顆原子結構其斜率比 3 顆時還大,

這說明 1 顆原子的場增益效應將會比 3 顆原子結構的場增益效應還大。

根據 Fowler-Nordheim equation,F-N plot 裡的斜率代表:

………..(15)

………(11)

從此式我們可以了解,當被施加電壓的物品其場增益係數越高,也就代 表它越容易獲得高電場,也就是場增益效應。

所以利用以上的公式與實驗數據所得到的 P-N plot 斜率,我們可以 算出 1 顆、3 顆與 10 顆它們場增益係數的比例。

從這樣的結果,我們可以看出 3 顆對 10 顆的場增益效應變化,其程 度遠不如 1 顆對 3 顆,也就是說單顆原子的結構對於場增益效應的幫助 是相當可觀的。

4-2-2 針型對場增益效應的影響

在前一節,我們量測到了金字塔對於場增益效應的影響,在收斂結 構頂端的原子數越少,所產生的場增益效應越明顯。

前一節的 A 針在長成類型一金字塔結構前,曾長成類型二金字塔結 構,Fig.4-2-11 的影像是 15 顆的結構。

接下來轉成場發射影像,如 Fig.4-2-12。

可以看到這張 15 顆的場發射影像,它的形狀並非圓形或三角形,看 起來似乎是三顆球聚在一起,我們認為這有可能是稜線在發亮,再把這 場發射的成像電壓與前一節的場發射電壓相比,可以看出明顯低很多,

我們可以看出在 900V 時,(111)周遭的面已經幾乎亮起來了。

接下來我們利用法拉第杯量測 A 針 15 顆的電流,並得到 F-N plot,

Fig.4-2-11 (111)15 顆結構

Fig.4-2-12 15 顆結構的 FEM 圖

如 Fig.4-2-13。

但從 Fig.4-2-12 的場發射影像我們可以知道此時 A 針的成像電壓很 低,也就是說此時的針形比起形成類型 1 金字塔那時的的針形還來得更 尖,這也就造成 15 顆的場增益效應比其他情況來得明顯, 故從這裡我 們可以看出比起金字塔結構所產生的場增益,針形對場增益的影響更大

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