依據表2.3 危害因子辨識表，結合表3.1 FMEA分析表，設計出SiH4氣 體安全管理調查表，如附錄二，並對光電產業與半導體產業進行問卷調查，
希望藉由問卷調查蒐集這些危害因子之失誤機率、失誤嚴重程度以及此危 害因子依據預防措施改善再發生失誤之機率。
本次問卷之目的在探討相關之管理機制是否能真正預防事故之發生，
問卷共分四個部份：
1. 基本資料
2. 氣體供應端FMEA分析表：表4.1 3. 機台端FMEA分析表：表4.2 4. 除害設備FMEA分析表：表4.3
藉此四部份之問卷以瞭解矽甲烷供應系統之安全性，及光電廠與半導 體廠之作業管理差異為何？再進一步依據預防措施進行改善以提升作業安 全。
表4.1 氣體供應端FMEA分析表
項次 失效因子 失效模式 失效影響
A01 鋼瓶作業 種類錯誤 遇不相容物，造成火災爆炸
A02 鋼瓶作業 翻覆 氣體外洩，有人員傷亡及火災 爆炸之危害
A03 鋼瓶作業 碰撞 氣體外洩，有人員傷亡及火災 爆炸之危害
A04 鋼瓶作業 拆錯使用中的氣瓶 氣體外洩，有人員傷亡及火災 爆炸之危害
項次 失效因子 失效模式 失效影響
A05 氮氣 purge 手動閥誤關
purge 不完全，管線內仍含有 SiH4，於拆換鋼瓶時有潛在造 成火災及人員傷亡之危害
A06 氮氣 purge 氣動閥故障
purge 不完全，管線內仍含有 SiH4，於拆換鋼瓶時有潛在造 成火災及人員傷亡之危害
A07 氮氣 purge 氮氣供應不足
purge 不完全，管線內仍含有 SiH4，於拆換鋼瓶時有潛在造 成火災及人員傷亡之危害
A08 氮氣 purge 調壓閥故障
purge 不完全，管線內仍含有 SiH4，於拆換鋼瓶時有潛在造 成火災及人員傷亡之危害
A09 氮氣 purge 管件漏
purge 不完全，管線內仍含有 SiH4，於拆換鋼瓶時有潛在造 成火災及人員傷亡之危害
A10 閥件 彈簧片老化 氣體外洩，有人員傷亡及火災 爆炸之危害
A11 閥件 閥件鬆脫 氣體外洩，有火災爆炸之危害
A12 鋼瓶連接器 損壞 氣體外洩,有人員傷亡及火災 爆炸之危害
A13 鋼瓶連接器 未鎖緊 氣體外洩,有人員傷亡及火災 爆炸之危害
A14 gasket(襯墊) 材料品質不良 氣體外洩，有人員傷亡及火災
項次 失效因子 失效模式 失效影響 爆炸之危害
A15 gasket(襯墊) 安裝不良 氣體外洩，有人員傷亡及火災 爆炸之危害
A16 gasket(襯墊) 未更換 氣體外洩，有人員傷亡及火災 爆炸之危害
A17 調壓閥 調整故障，開度過大 管線洩漏，有火災爆炸之危害 A18 調壓閥 設定錯誤 管線洩漏，有火災爆炸之危害
A19 Exhaust 無作動 無法將洩漏氣體排出，造成蓄 積，引起火災爆炸、人員傷害
A20 Exhaust 排氣量不足 無法將洩漏氣體排出，造成蓄 積，引起火災爆炸、人員傷害
A21 Sprinkler 無作動 無法將火燄撲滅造成火災爆 炸、人員傷害
表4.2 機台端FMEA分析表
項次 失效因子 失效模式 失效影響
B01 Pumping
Line dry pump Shut Down
Chamber 和 pumping 之管線壓 力過高，嚴重時，導致chamber 壓力增高，破裂造成火災爆炸 B02 Pumping
Line 管線阻塞 廢氣無法帶走，壓力上升，有 火災爆炸及人員傷害之危害
項次 失效因子 失效模式 失效影響
B03 Pumping Line
Bellow、check valve
燒毀 氣體外洩，有火災爆炸之危害
B04 Pumping
Line 閥件鬆脫 氣體外洩，有火災爆炸之危害
表4.3 除害設備FMEA分析表
項次 失效因子 失效模式 失效影響
C01 吸附桶 吸附桶飽和 排氣出口端燃燒
C02 local
scrubber 流量設定錯誤
Processing Gas 反應燃燒不完 全，會燒壞出口管線，有火災 及人員傷害之危害
C03 local scrubber
管線堵塞，pump 故 障
管線堵塞導致pump 瞬間跳掉 時，嚴重時會導致管線中氣體 逆流及local scrubber 回火
C04 local
scrubber exhaust line 阻塞
管線堵塞導致pump 瞬間跳掉 時，嚴重時會導致管線中氣體 逆流及local scrubber 回火
C05 local scrubber
冷卻風量不足，製程 廢氣流量過大
高溫使connector 之 O-ring 變 質或尾氣溫度過高，嚴重時可 能造成外洩及火災爆炸
C06 local
scrubber O2 測漏失效
因系統為負壓狀態，導致空氣 流入管線中與SiH4 燃燒，有 潛在造成回火之危害