第五章 研究結果
5.5 改善建議
uble check。
身塑膠套環辨識。
項
2.UV IR Detector 3.設有 sprinker A13 接器 緊
害 鋼瓶連 未鎖 氣體外洩,有人員傷
亡及火災爆炸之危
1.測漏
2.UV IR Detector 3.設有 sprinker A14 gasket( 材 料 品 氣體外洩，有人員傷 1.進料檢驗程序
項
A15 gasket(
襯墊)
double check 1.測漏
2.確實穿戴 PPE(
具)
3.落實二人更換鋼瓶作業 程序
A16 gasket(
襯墊) 未更換 氣體外洩，有人員傷 人防護 2.設置 gas detector 3.設有 2.設置 gas detecto 3.設有自動灑水系統 4.auto-switch check 態 3.設置 gas detector 4.設有
5.interlock 機台無法運作
A20 Exhaust 排 氣 量 3.設置 gas detector 4.設有自動灑水系統
dry pump Chamber 和 pumping 1.定期 check pump 之背壓 連鎖作動系統
Shut Down
之管線壓力過高，嚴 重時，導致 chamber
2.chamber 系統設有高壓警 報及
項 2.chamber 系統設有高壓警 報及連鎖作動系統
3.pump 過高壓連鎖系統 4.定期保養及清潔管路 1.定期 check pum
B03 Pumping
3.chamber 系統設有高壓警 報及連鎖作動系統
Processing Gas 反應 燃燒不完全，會燒壞 流及 local scrubber 回 火
exhaust line 阻塞
管線堵塞導致 pump 瞬間跳掉時，嚴重時 會導致管線中氣體逆 流及 local scrubber 回 火
1.定期 check 管路系統之靜 壓值
2.定期進行 exhaust Line 之 PM
3.連鎖關閉裝置
項 次
失效 因子
失效
模式 失效影響 改善建議
4.設置緊急 purge N2
C05 足，製程
高溫使 connector 之
造成外洩及火災爆炸
1.定期 check 管路系統之靜
3.連鎖關閉裝置 local
scrubber
冷卻風 量不 廢氣流 量過大
O-ring 變質或尾氣溫 度過高，嚴重時可能
壓值
2.設有溫度偵測器
C local O2 測漏 導致空氣流入管線中
1.定期進行 O2 Detector 校
3.管線採用防火材質 06 scrubber 失效
因系統為負壓狀態，
與 SiH4 燃燒，有潛在 造成回火之危害
正
2.設有溫度偵測器 4.定期氦氣測漏
第六章 結論與建議
烷供 個系 和控 1.
遵循並做為廠務各系統與製程機台安全之安全設計查
低於
10-4/hr，顯示TFT-LCD產業在矽 甲烷供應系統之安全性更趨完善。
2. 運用 FMEA 及 FTA 危害分析方法，可分析出鋼瓶作業種類錯誤、鋼瓶 作業翻覆、鋼瓶作業碰撞、鋼瓶作業拆錯使用中的氣瓶、氮氣 purge 手 動閥誤關、閥件彈簧片老化、閥件鬆脫、鋼瓶連接器未鎖緊、gasket 材 料品質不良、gasket 安裝不良、gasket 未更換、調壓閥調整故障開度過 大、dry pump Shut Down、Pumping Line 管線阻塞、Bellow、check valve 燒毀、Pumping Line 閥件鬆脫、吸附桶飽和、local scrubber 管線堵塞 pump 故障等 18 項危害尚有安全疑慮，顯示 FMEA & FTA 可供分析工作環境 內能造成傷害的不安全的機器設備及其影響，同時也能將不安全個人因 素及環境因素納入分析考慮的範圍。
本文之研究運用FMEA技術，並結合FTA分析法，可得TFT-LCD廠矽甲 應系統之潛在失效因子、失效模式，及其失效機率與嚴重度，和對整 統失效的影響，再決定整個系統哪裡需要改善，提出防範措施以消除 制。綜合研究調查結果，可歸納下列結論與建議：
台灣半導體工業發展已 30 多年，SEMI、NFPA、FM【19】【20】【21】
等規範一直被其
核，以提供安全保護措施。相對其對於矽甲烷供應系統之設備元件安全 具有高度之防範措施與安全管理機制。透過FMEA分析，研究結果得知 半導體廠矽甲烷供應系統主觀之事故發生機率為 6.60×10-4/hr，
SEMATECH Silane Safety Improvement Project S71 final Report【2】中所 調查統計之矽甲烷事故發生機率 1.37×10-3/hr。而TFT-LCD產業於製程設 計、建造、與操作，延伸半導體工業之技術與經驗，且同步將SEMI、
NFPA、FM等規範納入廠內安全規範，本研究結果得出TFT-LCD廠矽甲 烷供應系統主觀之事故發生機率為 5.68×
3. Hazop 分析必須藉助腦力激盪，其主要優點為可以刺激創造性，並且產 生新的點子，這種創造性尚有賴於一個具有各種不同背景的小組成員彼
主觀意識太強的困擾。如能和定 量
度。同時也可化解設計小組成員之間因立場或觀點不同而產生的歧見，
析結果，人為不安全因素是導致事故災害發生的重要原因。可 提供系統危害分析人員或工安人員
由於 TFT-LCD
常是較易即時掌
，是各公司應加考慮的事項。建議建立產業工 安事故資
此相互的經驗交流。分析時以集會討論方式進行，時間需求較長。分析 結果往往可能造成工程設計複雜化，過分考慮安全因素。或是發生人員 之配置不當，思考方式不當或欠周延，
之危害分析方法FTA 並行，可提高危害分析之整體效果，增加可信
可參考研究。
4. 過去製程危害分析較偏重在機器設備，較少討論不安全個人因素，經由 FMEA 分
參考，進而防範事故的發生
5. 廠危害辨識與分析之過程繁複，無法掌握事故真正原因，
往往是未能達成再發防止的主因。事故發生的單位，通
握事故原因及證據的單位。如何創造並鼓勵員工主動報告及接受調查，
以能防止再發並持續改進
料庫，以供後續研究者應用。
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20. NFPA318：Standard for the Protecti
Fabrication,2003。
SiH4物質安全資料表
名稱：矽 一、物
物品
品與廠商資料 甲烷 物品編號：SFS0424024 製造商
三福氣體股份有限 台北巿
（02）
或供應商名稱、地址及電話：
公司
中山北路二段21號5樓 25214161
緊急聯 FAX：
絡電話/傳真電話：
二、成分辨識資料 純物質：
Silane 中英文名稱：矽甲烷
同義名稱：四氫化矽，Monosilane，Silicane，Silicon hydride，Silicontetrahydride 化學文摘社登記號碼(CAS No.)：7803-62-5
危害物質成分(成分百分比)：>99%
三、危害辨識資料 附錄一
健康危害效應：
吸入高濃度的矽甲烷會引起頭痛、頭昏、昏睡、刺激上呼吸道。
矽甲烷會刺激黏膜和呼吸系統。高度曝露在矽甲烷會引起肺炎 和肺水腫。
吸 入：
皮膚接觸
觸到微粒的二氧化矽會感到刺激。
眼睛接觸：矽甲烷會刺激眼睛，矽甲烷會分解產生二氧化矽。眼睛接 觸到微粒的二氧化矽會感到刺激。
：矽甲烷會刺激皮膚，矽甲烷會分解產生二氧化矽。皮膚接
環境影響：-- 最重
要危 害效 應
-- 物理性及化學性危害：
特殊危害：自燃性。
主要症狀：--
物品危害分類：2.1 、2.3
四、急救措施
不同暴露途徑之急救方法：
吸入：施救前先做好自身的防 備，人員採"支援互助 立即請人幫忙打電話
餵食，檢查呼吸維持 受過訓練之人員施
氧氣，
醫並告
護措施以確保自己的安全。如穿戴適當防護裝 小組"方式進行救援。將患者移至新鮮空氣處，
求救，若意識不清將患者置於復甦姿勢，不可 呼吸道暢通，若呼吸停止由
以人工呼吸，若心跳停止立即施以心肺復甦術(CPR)，或給予100%
對患者保溫，令其舒適，並不時監控其呼吸與脈搏，立即送 知醫療人員曾接觸此物質。
皮膚接觸：皮膚 至 涼 呼 覆
眼睛接觸：使用溫水緩慢沖洗15 除去或用水沖出
除，沖洗完畢用乾淨紗布覆蓋，並以紙膠布固定，
接觸:脫掉受污染衣服，用大量水清洗患部，繼續用水沖洗 少15 分鐘，若患者被灼傷，則以冷水沖灼傷局部，保持其 爽，若患者之顏面、頸部、頭部或胸部被灼傷，則需假設其 吸道已灼傷，必須由合格醫師緊急救助，結束時用乾淨衣物 蓋受傷部位，立即送醫。
分鐘，並不時撐開眼皮沖洗，隱形眼鏡必先 來，用濕潤棉棒將眼睛任何可移除之異物移
立即送醫。
食入：--
最重要症狀及危害效應：-- 對急救人員之防護：--
對醫師之提示：矽甲烷與空氣反應會產生二氧化矽，因此皮膚及眼睛必須加 洗，以完全去除二氧化矽之殘留，如果需要供給氧氣，
觀察是否有肺水腫初始症狀。灼傷部分則照一般狀況處理。
強清
五、滅火措施
適用滅火劑：關閉瓶閥，使用水霧以降低燃燒產物的形成。不可使用海龍滅 火器，儘量於遠距離以水霧冷卻火災區鋼瓶。
滅火時可能遭遇之特殊危害：自燃性氣體！此產品為無色，會與空氣反應的 氣體。此氣體在與空氣接觸時會自燃，釋放出 稠密的二氧化矽濃煙。若矽甲烷以高壓或高流 速洩漏，可能發生延遲性的爆炸。矽甲烷洩漏 時若沒有發生自燃，便要小心有極大危險將發 生，亦不可靠近洩漏區。大部份的鋼瓶皆被設 由瓶閥之破裂片釋放高壓氣體。如果破裂 效，可能導致爆炸。
計可 片失
特殊滅火程序：疏散所有人員。唯一安全滅火方法是停止氣體流，故如果沒
特殊滅火程序：疏散所有人員。唯一安全滅火方法是停止氣體流，故如果沒