十八世紀時,人們認為熱是由無色無重的卡路里(Calories)來傳 遞,當系統產生溫差時,卡路里會從高溫端移動到低溫端達到傳熱效 果。現在已經知道這種理論是不正確的,熱是由材料中自由移動的熱 載子彼此間碰撞來傳遞能量,自然界中熱載子可分為光子、電子、聲 子。在固態材料中主要的熱載子為電子和聲子,其中金屬材料中是以 電子為主要熱載子;半導體或絕緣材料則是以聲子為主要的熱載子。
三種熱載子的特性如表 1-1 所示。針對熱電致冷器的應用,聲子為 主要的研究對象。
聲子是晶格振動(Lattice vibration)能量的基本單位,其能量與 振動頻率有關,可表示為u =hω ,其中
h
為普朗克常數(Plank’s Constant)除以2π
。如圖 1-10 所示,為晶格振動能量與距離間的關 係。當晶格間距離愈小,則晶格振動的能量愈大,而隨著距離的增加 會呈現一個類似 U 型的分佈,最後趨近平緩。整個振動系統的總能 量可表示為u= n(
+1/2)
hω。其中 n 為整數,代表聲子的數目,而hω/2代表零點能(Zero-point Energy)。由於晶格的振動所造成能量的傳 遞,因此將之視為像光子般的粒子。當晶格振動頻率增加時,溫度隨 之上升。
聲子是將晶格震動量子化[14],所以同時兼具粒子和波動的行 為,因此目前有兩種模式用來模擬低維度材料中聲子熱傳現象:一是 直接以波的性質(Wave Model)[15]來計算聲子的消散關係(Dispersion Relation),另一模式則是將聲子視為粒子(Particle Model)[2]。當材料 尺寸較大時,利用粒子模式所計算出得熱傳導係數和實驗值十分穩 合,然而由於粒子模式忽略聲子波的特性,當材料尺寸較小時,粒子 模式得到的結果和實驗質就有很大的差異[15]。一般來說,聲子的相 干長度(Coherence Length)大約在 10~20Å 的數量級,當材料尺寸大於 此數量級時,就可以利用粒子模式來處理聲子運動。
Majumdar[2]在 1993 年將聲子運動狀態類比為光子,並以波茲曼 傳輸方程式(Boltzmann Transport Equation, BTE)出發推導出聲子輻射 熱 傳 方 程 式 (Equation of Phonon Radiative Transport Equation, EPRT ),Majumdar 以此來模擬一維理想鑽石薄膜,發現當薄膜厚度 縮小到約為聲子平均自由徑時,聲子在薄膜間會發生穿透(Ballistic) 現象,而非傳統的擴散現象,並且在邊界處會產生不連續(Temperature Jump)現象,當薄膜厚度遠大於聲子平均自由徑時,利用聲子輻射熱 傳方程式的計算結果與傅立葉定律符合。
2003 年 Prasher [16]進 一 步 比 較 EPRT 和 輻 射 熱 傳 方 程 式 (Equation of Radiative Transfer, ERT)之間的差異,認為若系統中存在 有缺陷(Defects)當作散射源,聲子可類比光子定義出一等效的散射相 函數(Phase Function),推導出更具一般性的聲子輻射熱傳方程式 (Generalized Equation of Phonon Radiative Transport, GEPRT),此方程
式在等向性散射假設下可簡化為EPRT。2003 年 Zeng and Liu [17]將 EPRT 推廣至一維球座標及二維圓柱座標,發覺非平板薄膜系統的等 效熱傳導係數受內徑和薄膜厚度的影響。2005 年 Yang et al.[18]同樣 使用EPRT 來計算一維雙層球座標及圓柱座標。
基於薄膜的尺寸效應,將兩種相異半導體材料的薄膜,週期性的 堆疊在基材上,此結構稱為超晶格結構(Supperlattice, S.L.),1997 年 Chen and Neagu[19]利用波茲曼傳輸方程式分析超晶格內部熱傳情況 並與實驗做比較,發現在相異材料的界面上,由於材料的聲子群速 (Group Velocity)、比熱(Specific Heat)、不同材料密度等性質,造成界 面熱阻(Thermal Boundary Resistance, TBR)的存在;因此處理超晶格結 構時,除了薄膜厚度所造成的尺寸效應外,薄膜介面因材料不連續造 成的介面熱阻亦是廣泛討論的議題。1959 年,Little [20] 首先利用聲 異理論模式(Acoustic Mismatch Model, AMM),來處理固體與固體 間界面熱阻的問題,此一模式假設邊界為一平滑界面,聲子行經此ㄧ 界面時不發生散射效應,只考慮穿透及反射效應,界面熱阻主要由材 料的吸收造成,其穿透率及反射率遵循幾何光學。1989 年,Swartz and Poh[21] 進 一 步 提 出 散 異 理 論 模 式 ( Diffuse Mismatch Model, DMM),此一模式與聲異理論模式的假設完全相反,它假設所有的聲 子在邊界上均受到無方向性的散射,且散射後的狀態與散射前的狀態 無關。1998 年,Phelan [22]針對 AMM 與 DMM 做了更詳細的比較,
結果指出AMM 只有在極低溫的情況下才有較佳的模擬結果。隨著溫 度上升,聲子物質波波長的縮短至與界面粗糙度相當時,便不能忽略 散射效應,因而AMM 不再適用,使用 DMM 所求得的界面熱阻會比 使用AMM 更接近實驗結果。Little 和 Swartz 建立的模式由於界面兩 側溫度相同,因此假設聲子在界面碰撞前和碰撞後的頻率相等,即是
彈性散射(Elastic Scattering),然而實際上聲子在界面發生碰撞前後,
聲子頻率會有所不同,因此 Chen[23]在 1998 年提出非彈性散射 (Inelastic Scattering),並將之應用於波茲曼傳輸方程式,處理超晶格 結構的熱傳現象,和實驗結果相近。
由於低維度材料能有效攔阻聲子運動,因此有許多文獻探討在聲 子低維度系統中運動狀態,其中2000 年 Khitun et al.[24]利用熱輻射 的散射理論,討論當量子點存在超晶格中聲子傳輸的現象,當鍺量子 點(Ge Quantum Dot)散佈在矽薄膜中,聲子的傳遞受到量子點的散射 影響,使得熱傳能力降低;2003 年 Liu et al.[25]利用實驗觀察當顆粒 尺寸小於聲子平均自由路徑的量子點,在矽/鍺超晶格中,發現若超 晶格的成長溫度越低,此時量子點尺寸越大時,熱傳係數越低,顯示 微結構造成的散射會劇烈影響聲子的傳遞行為;2004 年 Song and Chen[26]以實驗量測多孔性薄膜的熱導係數,發現當空隙面積相同 時,孔徑越小則熱導係數越小,這是因為空隙增加使得邊界散射。
奈米線使聲子受到邊界兩個維度的運動限制,相較於薄膜多了一 個方向的邊界限制,因此有許多文獻探討奈米線中聲子的運動情形,
2004 年 Dames and Chen[27]提出影響奈米線熱傳的三種熱阻-包括 線材內部熱阻材料、材料間的界面熱阻與線材外壁熱阻等,都會降低 奈米線的熱傳能力,文中並與實驗值做比較,發現當直徑大於40nm 時,此模式計算結果與實驗值相當符合;2004 年 Mingo[28]利用波茲 曼傳輸方程式、全散射(Fully Dispersion Transmission)等模式,得到三 五族半導體材料製成的奈米線的最大有效係數(Power Factor),並提 出當薄膜厚度與
m
1 成某一比例時,熱傳導係數將急速下降,此比例
與不同的材料性質相關,這也更精確的指出尺寸效應的影響範圍;
2004 年 Dames et al.[29]利用聲子輻射的能量關係式,推算出矽/鍺奈 米線的平均自由路徑,其結果較為接近實驗結果;2004 年 Yang and Chen[30]提出鍺奈米線(Ge Nanowire)中包含週期性排列的矽奈米線 的複雜幾何結構,在不考慮線段長度下,探討在此二維物理模型中熱 能 的 傳 遞 , 發 現 在 此 幾 何 形 狀 下 熱 傳 導 係 數 與 一 維 鍺 薄 膜(Ge Membrane)比較,並不會有較理想的降低,這是因為矽的聲子熱傳性 質較佳,因此矽的增加會使得熱導係數上升,雖然界面熱阻增加但與 一維鍺薄膜熱傳比較,界面的影響有限;2004 年 Majumdar[31]提出 熱傳的能力與材料的分子大小、重量,裝置的幾何結構、不同材料的 成分比例都有關係,並明確指出當材料分子量大時,聲子的傳遞能力 較低,所以熱傳係數較低,而且奈米結構的變化使得聲子發生散射,
更增加界面熱阻,使得熱導係數降低。
在超晶格結構中熱阻來自每一層材料內部、不同材料的界面和材 料外側邊界,在不同的薄膜結構中,當每一層材料的厚度小於平均自 由路徑時,邊界熱阻成為最重要的熱阻,因以探討尺寸效應、增加材 料界面或增加邊界熱阻成為熱電致冷器的重要研究方向。