未來展望

半導體或高科技廠房所使用多樣的特殊氣體及化學品，若有洩漏或溢散等 危害點，皆會安裝氣體偵測系統以防患於未然，但於機台的附屬設備管路區 並無設置即時監測系統，本文以改良式氣體偵測系統(區域式+隔離控制閥)建 置於 CVD 管路區，並於驗證過程中發現廠區相關的異常，藉由 FORD 8D 手 法尋求解決之道，藉此文章之發表，期能引起相關人員，如設備、廠務、工 安、廠商等之興趣與注意；其成效不僅可應用於本廠區，亦可推廣至其他廠 區，甚至亦可應用於 TFT LCD，或是太陽能光電等產業。

參考文獻

[1] Semiconductor Introduction, Campbell，1996

[2] 彭 國 庭 ， 氣 體 監 控 系 統 設 計 之 最 適 化 :以 晶 圓 廠 為 例 ， 2006 [3] 郭紘綸，離子植入機極早期火警偵測系統有效性評估，2008

[4]環保署毒性化學物質管理法規之毒性化學物質管理法及毒性化學物質偵測 及警報設備設置及操作要點

[5]勞委會公告之勞工作業環境空氣中有害物質容許濃度標準 [6]各偵測器的 technical handbook

附 錄

一、物品資料

物品名稱: 氟化氫 (Hydrogen fluoride) 物品代碼(序號): 69

其他名稱: －

建議用途及限制使用:

烷化，異構化，縮合，脫水，聚合等之催化劑。無機及有機反應 之氟化劑；氟及氟化鋁之生產。液態火箭推進劑之添加料；鈾之 精製。

二、危害辨識資料

物品危害分類:

金屬腐蝕物第 1 級、急毒性物質（吸入）第 3 級、腐蝕／刺激 皮膚物質第 1 級、嚴重損傷／刺激眼睛物質第 1 級、特定標的 器官系統毒性物質（重複暴露）第 1 級

標示內容:

象徵符號:

警示語: 危險

危害警告訊息: 可能腐蝕金屬、吸入有毒、造成嚴重皮膚灼傷和眼睛損傷、造成 嚴重眼睛損傷、長期或重複暴露會對器官造成傷害

危害防範措施:

若與眼睛接觸，立刻以大量的水洗滌後洽詢醫療／如遇意外或覺 得不適，立即洽詢醫療／穿戴適當的防護衣物、手套、戴眼罩／

護面罩／緊蓋容器、置於通風良好的地方 其他危害: －

三、成分辨識資料

中文名稱: 氟化氫

英文名稱: Hydrogen fluoride

同義名稱: 氫氟酸、Fluorohydric acid、Anhydrous hydrofluoric acid、HF、

Anhydrous hydrogen fluoride 化學文摘社登記號碼: 7664-39-3

3.將受傷處浸於冰的 0.2% Hyamine 1622 水溶液(1：500)或冰 的 0.13% Zephiran，若無法直接浸泡，可使用繃帶，每兩分鐘 更換一次。 4.若敏感組織(唇或口)被燒傷，可敷 2.5%的葡萄糖 酸鈣膠，立即就醫。

眼睛接觸:

1.立即撐開眼皮，用緩和流動的溫水沖洗污染的眼睛 20 分鐘。 2.

小心勿使洗液沾染未受污染的眼睛。 3.若無法立即就醫，可滴 1 或 2 滴 0.5%的 Pontocaine"鹽酸溶液(Winthrop Labora-tories)。

" 4.立即就醫，眼睛灼傷不可用皮膚處理的方式處理。

滅火時可能遭遇之特殊

濃度(TWA): 手部防護: 1.防滲手套，材質建議以 Saranex、Barricade、Chemrel、

Responder 為佳。

眼睛防護: 1.化學安全護目鏡、寬緣硬質工作帽附有全面式護面罩。

辛醇/水分配係數(log

470ug/m3/4H(懷孕 1-22 天雌鼠，吸入)造成胚胎死亡率提高。

IARC 將其列為 Group 3：無法判斷為人體致癌性

十二、生態資料

其他適用法規:

十六、其他資料

參考文獻:

1.CHEMINFO 資料庫，CCINFO 光碟，2005-3

2.RTECS 資料庫，TOMES PLUS 光碟，Vol.65，2005 3.HSDB 資料庫，TOMES PLUS 光碟，Vol.65，2005 4.危害化學物質中文資料庫，環保署

5.ChemWatch 資料庫，2005-1 製表者單位:

名稱: 國立台北科技大學

地址: 10608 台北市忠孝東路三段 1 號 電話: 02-27712171

製表人:

職稱: 華國緩

姓名: 組長

製表日期:

備註:

上述資料中符號＂－＂代表目前查無相關資料，而符號＂/＂代 表此欄位對該物質並不適用。生物指標中的註記＂Ns＂代表非 專一性指標，符號＂Sc＂代表需注意易受感族群，符號＂B＂代 表請注意背景值，符號＂Nq＂代表未有確定建議值，符號＇Sq＂

代表半定量性建議值。