半導體廠光罩策略

1) PSC:outsourcing M/H 2) UMC:outsourcing M/H

Vendor

Vendor’

3) TSMC:In-house M/H 4) Chater:outsourcing M/H 5) China:outsourcing M/H

圖 28 光罩檢驗設備 4.3.2 光罩廠簡介

1) DNP --- 大日本印刷光罩廠 2) PSMC --- 翔準光罩廠

3) TCE --- 凸版光罩廠 4) TMC --- 台灣光罩廠 4.3.3 光罩長晶(Haze)

隨著 IC 製程朝奈米級邁進，光罩的保存越是重要。但由於使用雷射 波長(193nm)常在光罩表面長一些晶體造成微塵污染，若沒有常檢驗去除微 塵會造成良率損失;常檢驗會長晶格的光罩會有資源集中而忽略其他有潛

在風險的光罩，造成兩難的局面。所以在不影響良率前題下合理檢驗排程 是必需的。目前全世界各半導體廠均面臨此難題，圖 29 顯示雷射波長不 同時長晶程度亦不同。

圖 29 光罩長晶範例一

圖 30 顯示新光罩在檢驗完後，20 天後晶體慢慢由邊緣長出。

圖 30 光罩長晶範例二 4.3.4 光罩檢驗成本衡量

光罩檢驗總成本與檢驗頻率和檢驗耗材成二次曲線，相同檢驗頻率時 檢驗總成本與波長成正比。

長晶範例三

4.3.5 光罩檢驗重要因子分析

此因子經驗法則及長期統計分析而得到。

圖 32 光罩檢驗因子

4.3.6 光罩檢驗演算法

光罩 defect 檢驗機台昂貴無比，如何將寶貴資源運用在有潛在風險的 光罩上，適時加以檢驗做好風險管理與 wafer 製程良率把關工作。

光罩檢驗分成 a.光罩進料檢驗 b.光罩複驗檢驗。其中光罩複驗爭議最 大，一般認為再製品(wip)數量大的優先檢驗，其實 wip 只是其中一項風險 因子。如此一來，不僅造成相同光罩上下機台頻繁且影響量產時程，還冒 著光罩被污染的危險。

製程參數 : die no、process、photo shot、priority、product、time duration for lastinspection 、 exposure energy 、 wip .. are key factors for Reticle Inspection。

圖 33 光罩檢驗演算法

4.4 RFID 在光罩管理系統的運用

台灣有 IT 王國的美譽，面對 RFID 的龐大誘人商機 IT 業者當然不會 缺席，目前在上、中、下游皆有不錯的佈局。從上游的晶片（Chip）、標籤

（Tag），到中游的測試、封裝、無線技術（RF）及讀取器（Reader）以及 下游的系統整合及顧問服務等皆有不少業者投入。

至於驗測環節方面，工業技術研究院在經濟部支持下成立「亞太 RFID 應用驗測中心」，憑藉其累積的航空級嚴謹品質系統、驗測標準程序建置 及認證稽核經驗，於 2005 年獲選為 EPCglobal 全球四大應用驗測中心之 一，為亞洲唯一認證的驗測中心。而由於該中心在亞洲區域 RFID 產品應 用驗測與認證商機已搶占先期優勢，未來可望藉由參與 RFID 應用國際標 準制訂，加速台灣在全球 RFID 產品應用驗測之服務腳步領先全球。

看好台灣對於全球運籌和後勤管理的需求，國外大廠也紛紛運用其豐 富的資源及技術優勢，與台灣相關開發業者攜手共同創造更高產值。如 HP 於 2004 年 4 月成立亞太區第一個 RFID 卓越中心、Microsoft 在 2004 年 8 於於台灣斥資一億元新台幣成立 RFID 卓越中心，都是透過協助台灣 軟硬體合作夥伴導入 RFID 在各垂直產業的加值應用，開發相關解決方案。

2004 年全球 RFID 市場規模高達 17 億美元，若同時比較 2003 年的 14 億美元，成長率達 23.5％，以此為基礎，VDC 公司預估 2006 年全球 RFID 市場規模將突破 33 億美元，成長率將超過 30％，不過，市場動力主要還 是來自於 RFID 硬體，尤其是 Transponder 技術研發的部分，若以供應鏈的 角度觀察，RFID 產業的主要結構分別是晶片設計、製造、組裝、讀取器 和軟體系統整合。

RFID 在整合後端相關資訊系統後，能夠快速地取得運算後的資訊支 援管理者制定策略，因此，RFID 將成為企業偵測市場變化、蒐集資訊，

並加速決策的關鍵技術，而且隨著 RFID 應用愈普遍、技術愈純熟，市場 應用未來的發展在各個產業都是相當被看好的，預期將為資訊服務業者帶

來另一波商機。

台灣位居亞洲 IT 產業要角，在 RFID 公領域先導應用起跑的同時，行 政院也表示將投入新台幣 22 億元建構基礎環境，預估 2013 年台灣的 RFID 產值將可達新台幣 700 億元，並造就一家以上的國際級應用系統公司，和 兩項以上全球市占率前五大的 RFID 產品或服務，讓台灣成為世界 RFID 產業重鎮。

為了協助國內業者搶搭這一波 RFID 起飛列車，並積極對外拓展貿易 商機，外貿協會與電電公會將於 2007 年 10 月 9 日至 13 日舉辦「第一屆 台灣國際 RFID 應用展」，巧扮起國際 RFID 技術及創新應用交流平台的推 手；而為了吸引更多國際買主對台灣 RFID 技術能力的了解，主辦單位更 精心安排其與已有 32 年歷史的「台北國際秋季電子展」同期展出，預計 為期五天的期間內，將吸引近 7 萬名國內外買主共聚ㄧ堂。

行政院產業科技策略會議（SRB）2005 年即將 RFID 列為重要策略發 展技術之一，8 月 25 日行政院國家資訊通信發展推動小組召開會議，通過

「無線射頻辨識系統 RFID 推動方案」，政府規畫至 2009 年之前，每年將 投入 4 至 7 億元，總計投入 22 億元建構基礎環境，在政府積極推動下，

預估 2013 年 RFID 產值可達 700 億元，並造就一家以上的國際級應用系統 公司，並將讓 2 項以上的 RFID 產品或服務，在全球市占率入列前 5 大，

讓台灣成為世界 RFID 產業重鎮。

經濟部預估，2006 年底我國 RFID 產值約可達 8.14 億元。而依據國際 研究機構 ABI Research 的資料，預估 2013 年全球 RFID 標籤（Tag）產值 約可達 338 億美元，讀取器（Reader）約有 114 億美元，總計硬體產值約 可達 452 億美元，商機十分龐大。

宏碁公司（2353）結合永豐餘（1907）、正崴精密（2392）等國內 30 餘家無線射頻辨識系統（RFID）廠商，進行一年多的 RFID 先導計畫，昨

（21）日宣布順利完成由經濟部技術處示範性資訊應用開發計畫所補助的

「EPC 供應鏈資料交換網路服務平台計畫」，協助國內企業以快速且低成 本的方式進行 RFID 先導計畫。

宏碁指出，93 年向經濟部技術處提出「EPC 供應鏈資料交換網路服務 平台計畫」，希望藉此協助企業可以小規模的資源，進行完整、跨企業的 RFID 先導計畫。

經濟部技術處處長黃重球表示，台灣為全球製造業之重鎮，然目前國 內針對 RFID 產業之布局仍偏重於硬體設備的設計與製造。為掌握國際標 準與關鍵技術，對於 RFID 產業之發展、軟體服務產業競爭力，發揮了深 度的育成效果。

宏碁這項計畫合作廠商，除永豐餘工紙與正崴精密導入先導計畫，合 作夥伴還包括碩網資訊、萬達國際、帝商科技及基智科技。建置內容含 RFID 讀取器的布建工程、EPC 相關資料擷取及匯入、RFID 相關應用系統乃至 平台資料的介接等。 導入後，不僅可以節省人工作業的時間，也可提升 出貨與進貨作業的正確率，讓貨物在運送的過程中更為透明化，供應鏈上 下游可以即時掌握貨品的動向。

此外，透過經濟部技術處的協調整合，本計畫在執行過程中及計畫之 成果皆可與其他示範性計畫產生綜效，如永豐餘集團及凌昂資訊等計畫。

宏碁電子化服務事業群副總經理張善政表示，這個計畫的終點，只是 另一個起點。宏碁累積過去的經驗，以及 RFID 相關設備之技術穩定且價 格下滑的大環境下，RFID 的應用將會大幅成長，並由電子製造業、農業、

醫療帶領，持續擴散至其他產業。而藉由本案的推動將更有助於國內產業 見賢思齊，進而帶動整體產業的應用風潮。由 RFID 成功運用的例子，試 著以 RFID 的技術運用在高科技製造廠(特別以半導體廠為例) 。

4.4.1 RFID 技術簡介

半導體廠有很多精密又昂貴的設備，為了不影響機台正常運作降低不明風 險，RFID 技術以 135MHZ 頻率作為應用的標的如圖 34。圖 35 顯示無線 電頻率之頻譜。

圖 34 RFID 頻率

傳輸距離 應用範圍波長

135KHz以下 約10公分左右

因為大多數的國家都予以開放，較不涉及法規和執照申請的問題，所 以使用層面最廣。主要使用在寵物晶片（台灣地區採用的是

128KHz/64KHz的電波訊號）、門禁管制和防盜追蹤等。

13.56MHz 傳輸距離為1公尺以 下。

近距離的非接觸式IC卡，大多用於：會員卡、識別證、飛機機票和建 築物出入管理等。

860M~930MH z（即UHF）

最遠可達近5公尺的傳 輸距離，通訊品質 佳。

適合用在供應鏈品項（Items）管理，但各國頻率與法規各異，跨區 漫遊應用可能出現問題。

常見頻率的基本用途與區別

RFID tag 分成主動 tag 與被動 tag 二種。

圖 36 RFID tag

低頻 RFID 晶片(被動)工作在 130kHz 左右的頻率上，當前的主要應用 在門禁控制、動物 ID、電子鎖車架、機器控制的授權檢查等。該技術讀取 速度非常慢並不是問題，因為只需要在單方向上傳輸非常短的資訊，相應 的 ISO 標準為 11484/85 和 14223。13.56MHz 系統將在很多工業領域中越 來越重要，這種系統歸為被動類，具有高度的可小型化特點，在最近幾年 不斷地得到改進。用來獲取貨物和產品資訊，並符合 ISO 標準 14443、

18000-3,1 的系統相對較慢，在某些情況下一次讀作業需要幾秒鐘的時間，

不同的數據量所需的具體時間不同。根據不同的種類，ISO 15693 標準類 型的系統可以對付最大速度為 0.5m/s 的運動目標，能獲得高達 26.48kbps 的數據傳輸速度，能實現每秒 30 個對象的識別。

然而，在未來大規模的物流應用中，工作在 13.56MHz 的傳統方法，

甚至在 ISO 15693 中定義的最近的方法都不在能滿足需要。在這種應用中 出現了相位抖動調變(PJM)技術。PJM 的 RFID 標籤適合被標記物體在傳輸

帶上的任何地方以高速通過閱讀器，並必須以非常高數據速率地逐個讀 取，例如識別包裝嚴實的藥品、機場行李追蹤或在遠達 1.2 公尺的距離登 錄文檔。

表 7 主要 RFID 技術比較

4.4.2 光罩檢驗盒跟催運用

以往為了取代無聊的基本資料輸入動作，使用了 Barcode 充當資料輸 入的媒介亦達到了預期效果。但隨著製程演進高科科技產品對微塵容許度

以往為了取代無聊的基本資料輸入動作，使用了 Barcode 充當資料輸 入的媒介亦達到了預期效果。但隨著製程演進高科科技產品對微塵容許度