結論

本實驗主要是探討四種不同表面金屬薄膜濺鍍於 PMMA 板在各項 性能的比較，其金屬薄膜不僅提供一層具導電層表面，更扮演著良好 的中間層於 PMMA 板與抗防腐蝕物質之間，使未來進行化學電鍍增 厚時可以有效的進行導電膜沉積，並探討不同金屬薄膜與附著力的關 係，使未來進行氣體流道切削時有一個參考依據，其結論部分如下所 述：

1. 觀察 AFM 粗糙度分析與其鍍膜附著力影響，機械粗化增加其表 面活性使鍍膜披覆於表面，其 Cu 薄膜排列結構比起其他金屬薄 膜 更加緻密。

2. 依照目前所測之電阻值，其中以濺鍍 Cu 薄膜之試片阻抗值為最 小，其平均阻抗值為 2.558Ω，Ti 薄膜試片阻抗最大，其平均值 為51.243Ω，Cr 和 Zr 薄膜試片阻抗依序為 18.204Ω、46.409Ω，

其電阻值均大於理論值，可能是機械粗化造成其表面起伏度較大

因而間接影響其電性性能。

3. 由 SEM 圖分析四種金屬鍍膜，Ti 之薄膜晶界面積比起其餘三種較 多，呈現不規則片狀分佈，鍍膜以堆疊方式相互沉積，因此造成 其電阻率較大。

4. Cu 金屬薄膜不論在正向附著力測試或是側向附著力測試其附著 力性能上均較優，Zr 金屬薄膜附著力最低。

5. 依造目前綜合之結果，以 Cu 金屬薄膜濺鍍於 PMMA 板之電性與 附著力較適用雙極板製備流程。

本研究在雙極板製備上提供一個新的製備方式，在未來研究之考量 所建議部分如下所述：

1. 本研究為了使鍍膜金屬有更佳的附著力批覆於 PMMA 板，因此在 濺鍍金屬薄膜時，將PMMA 施以機械粗化前處理，因機械粗化表 面之不規律，使得第一層金屬層批覆於PMMA 上電阻皆過大，未 來可進一步在第二層上改善。

2. 薄膜附著於 PMMA 板上，因此薄膜與 PMMA 板之間的附著性將 直接影響到雙極板的各種性能，附著性不佳的薄膜無法在雙極板 上使用。在燃料電池運作中氣體與水氣為側向流動，且流道切割 為一種側向力，因此鍍膜側向力的考量遠大於正向附著力影響，

本文所討論的鍍膜僅為 Ti、Cr、Zr 與 Cu 金屬，未來可以比較不 同金屬材料或金屬化合物在PMMA 板之側向附著力。

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