鍍膜側向附著力分析

側向附著力試驗中，利用不易變形的鋁箔膠帶測試不同金屬薄膜附 著於 PMMA 的情形，其接觸面積為 10*15mm²，鋁箔膠帶與 PMMA 試片接觸時需保持平行，最後分別利用上下夾具固定在進行側向拉力 試驗。

圖 4-31 鍍膜側向附著力操作實體圖，圖 4- 32 為 PMMA 板濺鍍金

屬薄膜試驗後圖片，圖 4-26，圖 4-27 、圖 4-28、圖 4-29 ，依序為 PMMA 表面濺鍍 Ti 薄膜、濺鍍 Cr 薄膜、Zr 薄膜與 Cu 銅膜試驗圖，

圖 4-30 為鍍膜金屬正向附著力比較。表 4-7 為各項金屬鍍膜最大 側向拉力值。

Ti 薄膜和 Cu 薄膜側向附著力大小相近，分別為 64.542N 和 63.042N，Cr 薄膜和 Zr 薄膜側向附著力較差，Cr 薄膜側向附著力為 57.650 N，而 Zr 側向附著力為 55.462 N。

表4-7 各項金屬鍍膜側向拉力值

圖 4-1 表面濺鍍 Ti 薄膜 AFM 粗糙度分析

圖 4-2 表面濺鍍 Ti 薄膜 AFM 立體影像

圖 4-3 表面濺鍍 Cr 薄膜 AFM 粗糙度分析

圖 4-4 表面濺鍍 Cr 薄膜 AFM 立體影像

圖 4-5 表面濺鍍 Zr 薄膜 AFM 粗糙度分析

圖 4-6 表面濺鍍 Zr 薄膜 AFM 立體影像

圖 4-7 表面濺鍍 Cu 薄膜 AFM 粗糙度分析

圖 4-8 表面濺鍍 Cu 薄膜 AFM 立體影像

圖4-9 PMMA 濺鍍 Ti 薄膜 SEM 平面觀察圖

圖4-10 PMMA 濺鍍 Cr 薄膜 SEM 平面觀察圖

圖4-11 PMMA 濺鍍 Zr 薄膜 SEM 平面觀察圖

圖 4-12 PMMA 濺鍍 Cu 薄膜 SEM 平面觀察圖

圖 4-13 試片電性量測擷取點示意圖

E D

C B

A 1

2 3

4 5

54‐60 48‐54 42‐48 單位: Ω

圖 4-14 PMMA 表面濺鍍 Ti 薄膜電性分佈圖

圖 4-15 PMMA 表面濺鍍 Cr 薄膜電性分佈圖

E D

C B

A 1

2 3

4 5

50.00 ‐60.00  40.00 ‐50.00  30.00 ‐40.00  單位: Ω

圖 4-16 PMMA 表面濺鍍 Zr 薄膜電性分佈圖

E D

C B

A 1

2 3

4 5

2.70 ‐3.00  2.40 ‐2.70  2.10 ‐2.40  單位 : Ω

圖 4-17 PMMA 表面濺鍍 Cu 薄膜電性分佈圖

0

Displacement (mm)

Ti薄膜正向附著力試驗Test 1

Test 1

Displacement (mm)

Ti薄膜正向附著力試驗Test 2

Test 2

Displacement (mm)

Ti薄膜正向附著力試驗Test 3

Test .3 46.662

(C)

圖 4-18 PMMA 濺鍍 Ti 薄膜正向附著力試驗

0

Displacement (mm)

Cr薄膜正向附著力試驗Test 1

Test 1

Displacement (mm)

Cr薄膜正向附著力試驗Test 2

Test 2

Cr薄膜正向附著力試驗Test 3

Test 3 44.500

(C)

圖 4-19 PMMA 濺鍍 Cr 薄膜正向附著力試驗

0

Zr薄膜正向附著力試驗Test 1

Test 1

Zr薄膜正向附著力試驗Test 2

Test 2

Displacement  (mm)

Zr薄膜正向附著力試驗Test 3

Test 3 38.500

(C)

圖 4-20 PMMA 濺鍍 Zr 薄膜正向附著力試驗

05

Displacement  (mm)

Cu薄膜正向附著力試驗Test 1

Test 1

Displacement (mm)

Cu薄膜正向附著力試驗Test 2

Test 2

Displacement (mm)

Cu薄膜正向附著力試驗Test 3

Test 3 51.050

(C)

圖 4-21 PMMA 濺鍍 Cu 薄膜正向附著力試驗

35.000  40.000  45.000  50.000  55.000  60.000 

Ti Cr Zr Cu

Load(N)

鍍膜金屬

鍍膜金屬正向附著力比較圖

48.237

43.500

38.725

57.550

圖 4-22 PMMA 鍍膜不同金屬薄膜正向附著力比較圖

圖 4-23 正向拉力測試示意圖

圖4-24 鍍膜正向附著力操作實體圖

0

Displacement  (mm)

Ti 薄膜側向附著力試驗 test 1

Displacement (mm)

Ti 薄膜側向附著力試驗 test 2

Displacement (mm)

Ti 薄膜側向附著力試驗 test 3

Test 3 64.375

(C)

圖 4-26 PMMA 濺鍍 Ti 薄膜側向附著力試驗

05

Displacement (mm)

Cr 薄膜側向附著力試驗 test 1

Displacement (mm)

Cr 薄膜側向附著力試驗 test 2

05

Displacement (mm)

Zr 薄膜側向附著力試驗 test 1

Displacement (mm)

Zr 薄膜側向附著力試驗 test 2

05

Displacement  (mm)

Cu 薄膜側向附著力試驗 test 1

Displacement (mm)

Cu 薄膜側向附著力試驗 test 2

Displacement (mm)

Cu 薄膜側向附著力試驗 test 3

Test 3 63.775

(c)

圖4-29 PMMA 濺鍍 Cu 薄膜側向附著力試驗

50.000  52.000  54.000  56.000  58.000  60.000  62.000  64.000  66.000 

Ti Cr Zr Cu

Load (N)

鍍膜金屬

鍍膜金屬側向附著力比較圖

64.542

57.650

55.462

63.042

圖 4-30 PMMA 濺鍍不同金屬薄膜側向附著力比較圖

圖 4-31 鍍膜側向附著力操作實體圖

圖 4-32 濺鍍金屬薄膜試驗後圖片

在文檔中 不同表面濺鍍對於複合雙極板之導電性及機械強度研究 (頁 67-90)