蝶式雷射模組銲後位移量測與補償技術

全文

(1)

(2) . . . .

(3) ! "# $ % ! % & $ ' % ! % % ( " # ) * ! # " . +. <. 3. ,. =. 4. -. >. 5. ./. ?. 6. @. .7. 0. A. B. 8. 1 9. 2 :. ;. C D E.

(4) . . . . A. . B. . . ! +. C. . , D. . -. .. E. . / F. 0. G. I.

(5). . u. . j . . k. b. ®. ¨ ¯. ©. f. °. u. g. ±. . m. ³. J. G. <. . . M. I.

(6). . ½. ¾. . <. . £. ¤ i. £. . ¤.

(7). . % &. . . . . 2 &. . '. t. ». *. >. . ?. . u. @. . v p. ¬. w . . 2. . . ¥. " . . . u. : . ¤ h(. . °. . U S . ¼2 ¿. =. g. %.

(8) . ). ~ . O. °. }. . N. (. f. £. $. b º. |. ¢. . 2. 2. . ° . . . t ². ' $ . I. « ¨. 2. . . § j. . . h. x. . . < . g t. {. . 9 . f s. '. , . . . &. + . qr. . @. . ;. e. . . . . . . P. . b. . 9 : O. %. . ? . . . 8. . . .

(9). g p . j. . ¸. l. i. . . k. 2. ¤ (. < . j. . £. i. %. . o.

(10). $. N. n. . 7 M. . . . µ¶ · µh. *. w. . ´. %. . . ¡. . 6 L. d. 2. #. + $. c. . " 5. (. b. . 4. K a. . 3. m. . . 2. hz. . @. . ¹. . . y . . ª. x. . ] X §. . a . . l. QR S T U VW X Y Z V[ \ ] ^ U _` i.

(11).

(12) 1. H. . h. . e. D. ¦. u. 7. . . s. & t. '.

(13) Abstract . We investigate the post-weld-shift(PWS) induced fiber alignment shift in. butterfly laser packaging. For high-speed laser modules in lightwave communication systems, the butterfly laser modules are widely used. When laser welding is applied to assemble a butterfly package, it is usually necessary to have mechanical elements such as substrates, fiber ferrule, and clip of house materials to facilitate fiber handing and retention within the package. However, during the process, rapid solidification of the welded region and associated material shrinkage often cause a post-weld-shift between welded components. The PWS significantly affects the package yield. A novel measurement and compensation technique employing a high-magnification camera with image capturing system (HMCICS) to probe the post-weld-shift (PWS) induced fiber alignment shifts in high-performance butterfly-type laser module packages is studied. The results show that the direction and magnitude of the fiber alignment shifts induced by the PWS in laser-welded butterfly-type laser module packaging can be quantitatively determined and then compensated. The increased coupling efficiency after this PWS compensation was from 3% to 10%. This HMCICS technique has provided an important tool for quantitative measurement and compensation to the effect of the PWS on the fiber alignment shifts in laser module packages. Therefore, the reliable butterfly-type laser modules with a high yield and a high performance used in lightwave transmission systems can be developed.. II.

(14) { Ä. : . À. Ü. ÷ :. . '(. G . R Á. ß 0. 0. qo. ¼I. S T. U. ù. 1. Ã. o. Â. [ 1. $. x. E. ¼H. ² =. , °. <. V. -. M. .

(15). r. . Û. Ö. /. . . i. j. . Ù. Í. $. Ö. . . c . h. III. ¼õ. . . ?. Á. M Z. . Î. Ú. ]. A. k. #. Û. . o. 4. Ï #. . ß. _. d. e. Y. M. l. E. Á. . Á u. . ¼&. ¼. ¼7. \. D u L Ã. m. t n. n. ¼ Q h. b. ¼b. m. E. P. Â a. f u. ¼. . . a. . . ¼. 4. B. `. . C. Ò. Þ. ¼ 6. õ h. . o. 7 Ã. . ¼. O. Æ Â. . ¼5 B. Å . Ë Ã. Ì [ ^. ô. $%. N ß. Ê. Â. ¼î. ^. 4. ó ). ÷. ¼%. Á. . ¼ò. ö. " 3. @. Æ. þ. 2 . " Á. j. i. Ø. Å. . 1 ?. X Y. ñ. ! 0. . Þ. . . > ?. L. Í. Ì. ×. ð. . . Ã. . Ö. ý. à. . ¼. M. Á. ü. . W. Á. ¼. . 2. . Õ. Æ û. Ã. p. L Á. q. Ã. Ã. K. Å. . !. . . h. . .. Ë . p. ú. K. ±. Ê. Ô. ï. ¦. Ö. =. Á. Â. ¥. ¼. J ¼Ö. h p. ?. ä. ¦. . ¼, Ã. x. g. ¥. É. Ó. î. . . È. ®. í. . Ã. ¼. j. ì. Â. Ç. Ã. ë. . Æ. i ã. $. x. Å. . æ. Ã. . :. â. ù. h². ². . Â. *+ ;. Ò. å. Ä. ¼. ). 89: F.

(16). Ä. ê. x. . Á. á. é ø. . ¼. à. è 1. . Ñ ß. ç Æ. Ã. Å Þ. æ Å. Â. Ð Ý. å. Ä. x. Ð ¸. ö. Á. . . ¼q.

(17) s. t . u. ·V·i. ] j. ·Vwi. v. j. ·V. . ·. ú. . . . . . . . . . . ·. . . . . . . . . . . . x. . . . . . . . . . . . y. . 2. . s. z. t.

(18). wV·

(19). wVw

(20). . . s. xV· . t. . . |. . . . . §. . . . . |. . §. . . . >. w . w . w . . . . . . . §. . . §. . ·~. . . . ~ .

(21). . . I. g.

(22). . {. ·. V·V·û. Vw. }. . .

(23). V·Vw ;. . . . V·. L. I. 0. t. . {. wVx /. . . wV 2. s. L. . . . wx. . . >. w. £. ¤. §. ¨. . . IV.

(24) xVw. . . xVwV·2. . . xVwVw. . xV. . . xVx. . b. . £. ¤. . . xVxVw. . xVxV. xVy . . . §. . k.

(25). . }. . |. x . . xx x|. ¤ £. |. j £. . L. i. xVxV·. . . }. L . . . . & ¤. . ' §. . . x| yw. ¨ 2. . . { I. . §. ¨. yy. . y. s. . t. yV· §. M. |. }. . . . . . . . . y y. . yVw k. . M. |. }. . . . Ý. ·. . V.

(26) · ·T. . §. · · !. &. v. :. · wQ _ · wQ _ · wQ¢ _.

(27). ¡ C.

(28). . w ·£ Z ¤ ¥

(29) w w

(30). . ®. w W xw . . . . . . . w. . . . . . . . . . . . w x

(31). w y ¸. ¹. º. w . . . %. ¿ . +. À. . . u. ½ Á. ¾ . ª. · . . ··. . . . . . . . . . · ·. . . . . . . . . . ·y. ·. ?. . u. ª. w . . ,. 1. ·. I. ©. w ~. w . {. ¨ ¬. « ¨. û. ¨ ¨. .

(32) *. §. ¨. § @. (° ] X ± S ² U ] ¢ ³ X ´ X Y ] X ± µ [ µ T U X ´ ). ·. }. 2. ·. | ». . w |

(33). w G. . ¦. . ¶. w x . §. . . ·V·y ·. . § @. ¯. r. . §. @ ¦. '. . . ¦. &. . w · W · £ Z ¤ ¥

(34) wVw£ Z ¤ ¥

(35). ~ y. . . . w . . . . . . w. . · wQZ _. '. . ã. ¼ . ª. · ã. ww.

(36). . . §. . ·yV· w. wx. VI.

(37) xÂ. Ã . y !. Å ;. !

(38). | É. ¾. Æ. Ì. Ê. !. ·w Ô · ! ·x Ø ·y ¥ · Ô ·| ¥ ·~ x · . . . e. |. ¨ }.

(39). . Û . Þ. Þ. ?. . w. Ü. ¥. Ý. ß.

(40). . ·. ·. ¾. . . x . . . x y. n. . Ú. ú. . ã. . È. Þ. . Ñ. Û. t .

(41). 2. . t. !. w~ w. ª. . . t.

(42). t. . w| w|. . . . . . %. . w ?. . È. . . . . á. ¦. . Í. Ñ. !. ×. Ñ. Ñ.

(43). à. . . g. . Ó. Ã. Ç. Ç. Ü. Ì. . Ò. 9. Ù. Ù. . Ö. Ø.

(44). Ï S Z X Y ~·~VÐ [ V·.

(45). . Õ.

(46). Ï S Z X Y ·~y. %. Æ. Í. Ë . g. È. È. Î. ·· . x w. Ç. Ç. . . wy. Æ. ~. ·. Ä. y. Ì. ¢ g. x x ¢. x âc âcp ¥. Ü. ¥. ¦. §. ¨. Qã_y . x xâc âcp ¥. Ü. ¥. ¦. §. ¨. Qä_y·. VII.

(47) x y . !. è. ¼âæ ç ë x . §. . x · 3 x w °. . x x. ¢. ú. . í. ç. . x ··. . . . !. I. ±. Y. e. . ï. âå¼âyw . ê 7. . . . . Ì . g. e. . f. g. yx. ð. } ×. ñ. {. d. ò. ó. }. . £.

(48). . . ÷. . . x·. xw . . . ö . ÷. Ñ . ª. . ã. xw x. Ñ. xy. Ñ. xy ®. ¯. ¶ . ò. d. x~. x~ ò . . x. ã. . Ñ . å¼¼æ . ã. . . ã. . . ª. ù. . ª. ÷. . ¤. d. . ö . . . Õ. ö . . . ·y0 ª. . . g.

(49). î. è. x ·wâc âcp d. x ·x. ¤. ø. . . !. Ì. . . ç. è. ¯. . . x · e. x ·. ¶. X¼âé. £. . . æ. ö. . . . û. ® . ì. . . ö. õ. x ~

(50). . . . ÷. ú. x |. âé. ¤. . H. b. ö . x ô. x

(51). . õ. £. 300 b ô õ Æ ". x 2. x yô. . G. Ç. . I. . . . ¨. !. . . y·. . . £ £. VIII. ¤ ¤. e. . ü. . ¢ Ì. g. ý ¢. y ü. ý. yx.

(52) x ·y x ·2. Ú. . 2. Ú. Û . Ù. Ø. x ·|å¼ ® x ·~å¼ ®. ¯ ¯. . . Ù. Ø . . Ì Ì. þ. þ. d g. ò . yy. . g. . . y . . IX. t. y| 2. . Ó. y~.

(53) . . . . . . . . 67. 8. 9. : O. 9. ;. E. ! :. ;. 9 j. > :. k. " <=. <=.

(54) 8 D. t. . # > N. <=.

(55) ". l. v. wx. PO.

(56) 8. 9. ;. %. O >. $. u. $. &. ?@A.

(57) M ;. :. e . .

(58) . '(. ). B. *+,. @C. . B. de. f. % m nbT U V W

(59) 8. <=. D. 4. 5 >. z J. 6{ K. . L. |. :. } 2. Z. 1. F. h ;. ~. /. [\.

(60) g 9. . E. P QRST U V W XY4 c. y. -. . . G. ] $. 0. 1. H. 2 I. . 3. 4. J. 5 K. 2.5 Gb/s. %. J. K. o. p. q. . a _bb _bT U V W. __Sa. Research Stage. 40Gb/s in prototype stage but not yet cost effective (Butterfly). 8. 9. :. ;. <= 1. >. M. N. 2. . __S. r. s. . >. 10Gb/s currently for metro and long haul (Butterfly). K. L8. i@C. 2.5Gb/s is commonplace (To - Can DIP Butterfly). ^_R_ J.

(61). <=. 100 -160 -160 Gb/s. 10 Gb/s. . ^ _R_à_bT U V W P. . 40 Gb/s. . 4.

(62) . . .

(63) 8. 9. :. ;. <=. >. . . v. [ ¡ ¢ £ ¢ ¤ ¢ ¥ ¦ ` §. «¬. . . . . X¹. º. ¨. ©. . Y . . . . . . . [ ª ¢ ¦ £ ¢ ¤ ¢ ¥ ¦ `. [U ª ¦ ¡® £ ¢ ¤ ¢ ¥ ¦ à. . . ¯. °. ±. »^ _RQ[¢ `¼. Y:. ². ³. ½. a. . y. ´. µ. x. ¶. M. N. 4. Z. ·. p. +Ä. ÅÆ. ^ _RQ[¢ ` § Ç. È. É. ¨. ©. . .

(64) . ;. . <ÊË. °. ±. Y¯. Ì

(65) Í. Î. : Ï. ². . . X¾/. . 0. v. ¿. Ð»^ _RQ[U `¼. . À ½. Á. Â. Ã. . . ^ _RQ[U `§. ¨ 2. ©. . . . . ¸.

(66) ¬. . . . nbT U V W¯ X67.

(67) Ñ ×. /.

(68) ;. I. ¯. Y¬ <=. >. Ò . Í . 7 ¯. ÅXK Ø. ÙÚ. ÓÔ Û. Õ. XÜ. v. Ö QRST U V W . ÝÞ. _n»^ _RQ[ `¼. ½. X³. ßv. a. . . ^ _RQ[ `¬ C. . ¬. 67. Ð

(69) Ò. /. 0. . ; Í. L¬. ; ô. <= 2. ÷. = ø. @â þ. >. ý. D. 5 E. ( >. O. ]. ò. f. ùv. B. ".

(70). & E . f. l. $. %. l .

(71) ¬. a. 3. I. O. mLde. 1. >. >. 2 ó. 3. ;.

(72) 4. <=. 5 >. ï. 0. 4. 5. ¾. é. Ã. üP. Ã 3. 9.

(73) @. û f. . 8.

(74) ú. . ». % ö. P«@ë 4. é. $ õ. f. à.

(75) 67 l. >. f <è. è. 5. L".

(76) @ë. <=. æ

(77) ç. <Pî. 67. ;. ç. ° %. @#. %. ãäå. ê. <=. . $. í. .. $ ;. . h. ì.

(78) H. ". . i¯. F. í. Ã. G. .

(79) g. ).

(80) ¬ ì. f. . '

(81) (. l. . . <w@â @ë. %. C. ; O. D. þ.

(82). á. $ . m¬ de. de. ê. @C. ý þ. O. B. aðñ. B B. >. <=. ½. ùB.

(83) 4. >. É ;. ^ _RQ[ `¼ :. <= È. . B. +ý ùÊ.

(84) . LD. PD. Lenses. Thermistor. Fiber. . TEC. . Substrate. ^ _RQ[ `¬. . ;. Optical Isolator. <=. >. . Qb. . 5. . » Ý. . <. Ø ;. 4. 5. L.

(85) 1. Y¬. ¯. . ! '. Ø #.

(86) 7. #. . K. ". ÌØ. E¼. 8. 0.

(87) . æ; ;. ¾Á. < <. Á. 4. O. mL¬ . A. Y a%&. Ê.

(88) :;. v ½. ( Ø. Ø 9. @. . Ì

(89) Y. »$ __ ¼.

(90) @â 1. >.

(91) #. 9 ?. <=. ÌL°. aðL 6. ;. Ìäå

(92) Ñ. . . äå . +Â. Ø. .

(93) . Ñ. à×. . ù. <. Å6,. . ¶ «<. . @C. 7. ÅÕ. w}. ;. <=. >.

(94) . .

(95) . é. aJ. K. L@. . 4. . @Ï. ;. . <= ). . Ê¾*

(96) =. By.

(97) FGY. . >. >. ". . *6+v .. Ø. «;. / B. Ð

(98) C. 0

(99) D. 0. 1. 2 1. 3 ü. m@â. EF[HI W J ¦ K L ® ì. 4. +. EM.

(100) ( J ¦ ¥ N ª ¦ O ¥ P¦ Q W I ¡ I )R ; V. <= \ F. > 1.

(101) . =. >. . ». cd*e /. @U.

(102) . 3. c1 . 4. W. a/. X 0. EFmL0 È . » 5. S l. EF

(103) f h. 0. ÐV. É. Y. ?K. 0 ). . EFimj. Z . ]. c*eÎ. P¹ . 3. . . k. EFS Ê[. ^. _. k.

(104) [. ¹. `. EFg. üê. =. [ >. ¾T Ð a. . b. P*. Ð. 3. ;. <. a. . $ _R_lm . ; o. p. æt. 0. <. q3. 1 . Å. N. ".

(105) Ñ. #. . . Ü. . s C. . r k. . s C. . X³. u. r. s. k. . n . . r.

(106) F *. Ø. æM. C. . lö. . . . d lö. . ¾ lö. . . 5 ¬ . ; O. . . Ø. v. <= . . . w >.

(107) . Yx

(108) . {. f. yz av|w . . . lm. }. ~. ¬. av 5. w.

(109) 8. 9. ;. <= . . :. ;. ¬. >. <. .

(110) ;. Ø. <=. È >. É. +1 +;.

(111) . . < +.

(112) . . '. . ¶. . . av. w. . EF

(113)

(114) . . +|. c . yz. ». +. EF

(115) *e. ^. _. *eÎ. a. . 6. . . . 3

(116) . EFg. õ. Ev. «Y w. YT.

(117) . .

(118). . . . . . .

(119). . ;. <. cE

(120) . . ^. . . Ø . ¯ ^. [_` ;. A 4. ll [Q` ;. 4. . ¢.

(121) { °. . . ;. <. L. [S` v. . Â. ÊP. . ³. c 4. . . Ñ. #. .

(122) -. ô. ¶. . _.

(123) :/. B . Ü ,. 4. ³. *¤. a¥. . 3Ø. ¬ i. cE¯3. PL. 5. Ø. . <

(124) @c. 0. Ø. s. E 4.

(125) #. ¡ll Ø. L. ¦ Ø. §. @.

(126) ^. A. ^ å. q¨ å. a. ª «. [n` v. ;. mÖ4. q3r. æc

(127). ô.

(128) a.

(129) . . å. Ý £ ó. 4. . c*. <

(130) _. [©` l(. 5. ^. æa. P. . Y 4. Ø. <v. . ×. å. 3s å. . ° ¨. /. ®. ¤ ±. 0. ¯. . ãØ. ô. ;. <

(131) @c. æ. ÊXt.

(132). a ² Ý´. ². lm µ t. ;. :. ÝE ¶. <@

(133) \. £ ¿. E ·. . i³ !. . Ø. a ). . *6a. L8 T. 9 . : -. ; ¶. <= õ. > . . .

(134) ;. ¶. ; . 7. ¸. <+@â ;. ?3. <+@â. #.

(135) . ?3

(136) õ. ö. . Ì @.

(137) L Ø.

(138) -. Qb¼ PO J. K. ¶. /. ¼. 0. ÊØ. 1. 2 ÷. B. [ ø. æ. k. ¹. º. õ.

(139) Ø ö. A ¼.

(140) @. æ.

(141) ÷. ø. . ».

(142) . . . @U. Ðùl.

(143) m;. <. Ø. ì ¹. í . a. .

(144). È. 5 É. . 0. À ÇO T ;. . . È. ½. . . . ¾. É <Í. Å. . Î. Y. ¿. . {. . À ¦ Á£ I ¡ Â ¬ ;. . ;. <=. <. Ø. Ã. 1 ¼. > ^. ¼ _. 0 Ú.

(145) ÄJ nQbb;. {. Û. TÈ. È+Ý´. µ. Æ É. t. . {. . < v a. ^ QR_À ÇO T ;. <Í. 8. Î. . {. Qb. Ø Y.

(146) »^ QR_ ¼ ¼. (. . À ÇO T ; ½.

(147) c*;. Ê. <r. Ë. . <Í. Î. 2. <Î. Ì. {.

(148) Ï. E. (Ï U ¦ ¡I £ Ð ¦ ¢ PQ ¦ Ñ ¦ ¡ K W ¦ P) ý þ. ù; Ö. <@Õ :;. <@c*Ó. ¶. . Ê. . ^ å. Ô. Ê×. O. 1. m0 ;. Î. w@â Ø. <c*

(149) Ø. ;

(150) { Ú. cj. Ú. ;. à0. .. /. <@Í. L Ò. q Ø. Î È. É. SbÒ _bbÒ

(151) Ó@. <@Í õ t. É. E;. À ÇO T ;. Ì»$ QRQ ¼. Ô. <@Í. ½. <Í. Î. ù; . {. a. . ^ QRQ ;. <@Í. Ò. Î È. É. [Ï U ¦ ¡I £ Ð ¦ ¢ PQ ¦ Ñ ¦ ¡ K W ¦ P`. 9.

(152) $ QR_ÄJ _b À ÇO T ;. <Í. Î. . { o. p. N ¦ PW. ÄJ _b. Ù ¢ ¦ Ú ª £ ª [P¢ Û `. _bJ . H¦ ¢ ¤ Ú ª £ ª . ©Ü J . Ú ª £ ª Ý ¦ ¡¥ [P¢ Û `. _SÞ V H. Hª W¦ J L . bR© I _bRbPW¦ . J ¢ Ñ ¦ ¦ ¥ L . _RbnßP. Ð ¦ ¢ PQ ¢ P¦ ¦ ¡. R©SPP. À ª PU ¦ ¡I ® Ð ¡¢ L ¦ W. à ¡ £ ¦ . O P ¥ Ð ¦ ¢ P. Ä¢ W¦ ¡ I ¦ Á¢ Ñ ¦ ¦ ¥ L Sb P. á ¢ HI Á¦ ¡. Q©bâ O ãäSbV bå æ ä_RS¤ â O . â I ¢ ¥ ¦ K ¦ ¥ W. Qbbn_bâ Q ã _â W ¦ £ W. Ð ¦ ¢ PU ¢ ¢ ¦ . ç è ©Ò. 10.

(153) $QQÀ ÇO T ; . <Í. Î. ;. Ø. c*$ Ú.

(154) . . . . ©bb. Qnb. Qb. Qnb. QQb. ©. ©. ©. ©. ©. ©. Rn. SRQ. nR_. ©R©. QRn. _Rb. ! .

(155) Ø. . ©Qb. . {. . :` . < ;. ^. _. {. È

(156) Ï. cYi³. P« ããQ P¹. <@Í. . i³ ;. j. @# <. Ø. É. é. . Ý üà. »^ QRn ¼. ½. Æ. ¯. »a. A. ; <@Í ;. <Í ;. : Î. <i³. . { . ý. -. @â. Ø mÓ;. ùc*Î <@Í. ;. <@Í. Ô . ?3ÊÓ. w;. <@Í. 2. Î. ¶ ê Ð O K ë[Ð ¦ ¢ P \. O ¥ ¦ I ® K ¦ £ ¢ ¡¢ I `+ Ð O N ë[Ð ¦ ¢ PO ¥ ¦ I ® N ¦ ¦ `» ^ QR© ¼. ½ w. . ¬. . ;. <=. ëY _nb Åî Ð O N ë. BØ. nS Å« ïb Å

(157) Ð O N ëÉ. Ô. ããQ ý. 0. ããQ v. PLñ 11. Ú ÷. ò. ì >. (. ;. <@Í ß Ð O K j. QS Å?¡¸v ø aà;. O. Óí. ó. ô. ¹. <@Í ³.

(158) õ.

(159) K ¡©. É ð. ©b Å. ö. 9. Ê. ³. @a.

(160) B. @÷ È : ý. ù. Åv. µ. 0. Èv. @÷. Sb Pm úûü. C. ² ². ø. Ý´. F. i³. . . @#.

(161) ó. þ. «. Yý. . ¶. ¦. ¯. ?. Y nbPP nbPP ©ba. : . L. . ;. <=. >.

(162) -. ¶. . . . . +. . Ì@â. . b. (Ï¦ ¡¡ª ¦ )a. D. @ . :. [. L

(163) . . ;. <=. [. E. R. ø _. Ê^. F. @â. _. ¡

(164). Ð. a. . v. ¹. .

(165) . m#. ;. <=. 0 >. 1. l. : -. {. q/ >. ¶. 1. 2. È

(166) . _. . . Pa. . . . . . . . . ¼. a. : ù À ÇO T ;. <Í. Î. . {.

(167) c*Í. 12. Î. ;. <@Í. :i³ Ò. Í. a.

(168) ^ QR©ÄJ nQbb . . ÷ Ø. È:;. ^. Laser Beam. Pneumatic Tweezers. Fiber. . Device alignment stage. ^ QRn;. Vibration Isolation Platform <. ^ Ø 13. _. {. Emergency Stop. È Qb.

(169) ;. < µ. æÝ´ _. Èµ. QRS ¼. ½. _. t. {. A. l. ^ Ø. { . t. {. È

(170) . . . ù. {. . Ê:`. _. : ;. ³. ?. O. . <

(171) é. _.

(172) ø. \ {. µ. wÝ´. . . Î Ò. Ý. ,. *eÈ. !. +. . t. {. ;. T. < Æ. É ¯. ^ Ø. . »^. a ÝÈ. : É. l. ÝÈ. %. &. É. v. i. P. Ý

(173) . . {. {.

(174) '. mC. " . #.

(175) }. $. a. B. _ µ t Ã ( _ : . _. µ. _. t ). . :; Ã. Î. ( _. *. . . . µ. # }. : t. . ! {. Eµ G. @÷. . T{ t. È

(176) +. _. #. +} Ã. $. . _. m.

(177) +. ù. : _.

(178) ø µ t. Ã. a. C. _ µ t Ã ( Q: . _. µ t. D. Ý´ { 0. ( Q¯ Ã. Ï. cYµ. &. . Ý´. {. _. ãI ¡I K W ¦ P`; b :. E. Tæµ t Ã . .. ;. <@Í. L. ,O . _.

(179) +. a. :. Y. ¥. t. Tæ/. ù. <. È. Y À à SRb:` É {. Ø. È+. _. -. .

(180) . HãK [H¡I ¦ WW ³ ". ý. <. Ø. -. HãK . a. : .

(181) Ï. c. 14. 0. Eùl. Tæ;. ^. _. {.

(182) È+Ý´. µ t. . {. ?3

(183) 1. _. ++. a. F. ; <é +µ t Ã j. É ;. <é. . Ý. P«*e;. <=. >.

(184) Ý2. Ý. Ï. Ð,. °. *a. Settings of Pins F. Motion Controller and . Driver F. Model 6000 Laser Diode Controller E. Integrated Automation Controller D. Computer PCS System Controller. B. Motion Controller#1 (Device) C. Motion Controller#2 (Weld) A. UPS (Uninterruptible power supply) ^ QRSÝ´. µ t. 15. . {. Qb.

(185) . 3.

(186) . . #. ¾³. . f. . . 56. +"

(187) . QR ¼. . 9. ½ 56. v :. v. 0 ;. . f. 8. P7 Î <=. #. 3. «". /.

(188) . ô. .. lm j.

(189) . Î. .. / . +lm " #. . . . ÐP«f ëÅ

(190) õ üv. Ì>. ö Î. . 4 -.

(191) mý . ;. ;. <\. #.

(192) . î <\. . # ¶ #. 3. ¶ a»^ +. '. a. . '. . 3. 0.1 mm ^ QR. #.

(193) . . ?. . . /. K K ©bnÄ . 16. . f. .

(194) . . f. A.

(195) @. B1CD = ùE Z J K L * ¬ Î êv. B2C1 V w1 1 V W X. B3C\ Z a N. ]. a. p O Rq. ». . P ( M BN R S a. V. { ¼ ¼ y O. 4. F. O. . ÌEG =

(196) ¶ / EUÖ D =. D T. Ó. lm f

(197) Y. )

(198) = Z q. Ö D = H T¯ P Q H :,. I Ö Cê Ö Î. ?W X (( _nb( Qbbb)ùE Z à W X K \ ? ÌK [ ; a. 1 V Ì¶ Å( ¨¹ þ ó ô ðwE $# O l Ê^ P A ¹

(199) _ ` / 0 ( \ ] \ ] ùE Z Ö \ ] b a c _bQb d l, \ ] a e ÅmÌ\ ] - f l E Z $# g h a. ] i³.

(200) E i j. ; Z. ó. ô. k üPl ² üj a. m. n. o. ¨¹. G. : r. s. ). ]. B4Ci j ù\ þ O \. ¶. n tu Ð Rv. r. Qb wu ãRx Qb wk. 17. .

(201) . . . . w; l. 1. l. . ô. é. Ø.

(202) { .. . :l. ;. Fè. . < 4. 9. @L4. . y. <. Ø. . F 8. \. /. .. ç. ô. <

(203) _ ¤ a/. Bî . . .. /. ô. ;. 4 .. 0 . 0 R /. . @c. 9 üù{.

(204) 4.

(205) Z. 56 Ð

(206) Û. z P. 1 2. t. f. Ð

(207) ¾³. cLc* 4. 5 / # ;. | .

(208) . O. @c

(209) <. Y.

(210). 7 m;. <. Ðùv. c. 1. E. ô. E¼ Ø. . 0.

(211) . a _nQb. »:. . ![Q_` } Y ¯. ¼. . ô. ô. c*÷. Ð ~ Y^. . v. å. w. ô. .

(212) c* H Y;. f. ).

(213) . <¼. 2. '+. Î. 3.

(214) c*a. 7. Î. ^ å.

(215) c* Ua. U=(CT+L f + L v ) V. ¯. 8. C Y. /.

(216) ±. T Y4 #. Ä. Å Lf Y. /. [QQ`. 4. ¼. (.

(217) . Lv Y. / ¼ (

(218) Y¤ *§ Å V Y4 9

(219) : ² a 18. .

(220) . Ö. <@%. . a . $#. . . .. /. . . . .. /. 4. ^ QR;. <@L4. 9. c*ç. . 19. <½. . ^. 5. .

(221) . . . . . . . . . . . . . . @C. . . ". #.

(222). ' ¬. (. . [_`;. ;. $ &. %. <=. &. . >. .

(223) :;. . . ». < ;. <C. . . B. . =. ). *cXk. . <Q ÏÐ ; ;.

(224) (. =. Í. lm. P'. ð·. p. :;. Î à á K Ù ¾ ©b Ð . æB. k.

(225) =. Í. Î /. mÏH[Ï¢ U ¡ H¦ ¡I `Ä¢ W¦ ¡¯ Ò. Í. l. [Q`. @Ã. . @Ã. z. 3. . <

(226) Í. . D. ßX. L. e;. p. æÆ. @Ã Î. 4. 5. æB. X3. Æ . e. f. Û. @ . de. ðÍ. Ü. ÊÚ. Î. YP.

(227) Ò. Í. f =.

(228) Ò. Í a. de. f. a __S. Ï. v. ÐXË. <

(229) Ï Ç. Ý%. ø. Ð /. T;. _. <

(230) é. . . R. Ý. ¾³. . Ï. Ðz. 6i. ;. Ìa. ). LÝ @. C. B. . . [©`@â. . Ê±. f.

(231) Q ÏÐ [Q W ¡ U ª ¦ Ï¦ ¦ Ð ¢ ¤ `. X . T»Lde.

(232) /. ¯. <Ê[. Yµ. v. ).

(233) Ò. . 4. @. ). m@â. r. w; +;. <Í. Î. <?3

(234) . 20. \. ?EF @#. . ý . . @â ¬. . i³ ;. <=.

(235) >. ¶ . [n`@â @â. . .

(236) ;. <. . . . . 0 G. v. /.

(237) Y. Ì@â. " k. . ). @â @â. õ . + .. . ® Ø. c ¹. æC. /. <. Ø. . b+¯. .. . G?Y@â +@â. Ø. .

(238) . lc. @â. . ;. m. . @â . . . / ;. @â <. . ». ð. Ø. . '. b¯. .. /. 5. Ø. ' ;. . Y. b3v. ã. X. . <. Ø.

(239). . . .

(240) J. <?3

(241) [`@ë. f. 8.

(242) 7 ¥. . Ò 0. @ë. bL. !. õ.

(243) . Ða. ö. . Í. Í. e. Ã. . ü. A f. 3 ).

(244) @. äå f. qÊql Í. l. ,Ò. Ò

(245) @C. ù. . @U. O.

(246) °. Ì+;. Ã. /. . @#. @L@â. G. . . Ì. æa. [S`. f. a. .

(247) / Û. E. Ì¥. Ø. . à:;. f.

(248) ;. <?3

(249) . æßÚ. Ø. . b. +;. ö. . õ. Ü. ú. Í <=. .

(250) . #. @Ï. >. f. XÜ

(251) 4. 21.

(252) ; 5. f. a. f. Î Ã. <=. @. ).

(253) J.

(254) V. Lë. 4. l[.

(255) . X. . L. N. . 4 Ã. Ð

(256) Í. y@ë e. my. Ðm@ë. &. a. ;. @â. @Ï . mÒ P. /. y ± >. c. v. . . ,Ò Í. e ml.

(257) [`ý. þ. Q ÏÐ ;. <+ÏH;. <

(258) 2. þ. g. @U. Ðj. 4. . . @E. [n`. Ý. . . ¡

(259). lm.

(260) Ä. Åy. lm. Ý. 9. wÆ. Ç. B. ù;. <¼. 0. 1. [ï`Á. Â. . Ã.

(261) ^. . 2.

(262) ". . /. 0. (. ý. 6a. { t. Ý.

(263) . ù. ;. @. <=. A. ¡. >. Ä. ÅO. 2 M. ê.

(264) µ. ql t. a. U. Ý¯Ò . . ". _ Ä. Åü¤. . 0 Ë. 1. £.

(265) c¢. Ì

(266) Ï. ÐÍ. Î. ;. <cø. _. L. a. . Optical Isolator. Lenses. Ferrule. Fiber. LD. Invar Substrate. TEC. Butterfly Case. Invar Plate. ^ ©R_¬ . ;. <=. 22. >. ¥. N. ^. .

(267) B Z. ¤. LÒ

(268) ].

(269) 4 \. F. ©RQ ¼. 5 /. ½. . e. *v. ¦ W`ý . Í. @#. f. XÜ. PLÚ þ. ¥. Y . =. /. i" Û. E >. O. ú. . $ û. lðv. %. Pì. p .

(270) ;. @ë. @ë. G 0. l. f. Ã .. í f. Ã. qüà. <=. > . +. 4. @â. /.

(271) 4. 5. +ý. þ. q§. @

(272) 4. 5. ý. ¦. þ. @ ¸l. ±. ú. . @#. äå. 3". X6a»^. a. . ^©RQ B. ". l. $. %.

(273) ¬. 23. . ;. <=. >. . ). +. [Ï U ¦ ¡ . v. 5. _S_.

(274) ). (. &. »^ ©R© ¼ £ Ùj. ª. *. +. ½. Y¬. . .. ,. «. . ; ¬.

(275) À únS_K ¦ ¡ ¦ W Y¬'. <=. ¡; >. . ßG?Y¬. y. yz. . +¨ . ^ ©Rn Y¯. . ©. ¯. 56 ÙÌ>. Ó¥. . P À Ý ãÂ. Ê Ã. a. ^©R© ¬. . . . 24. ¨. © ½. . ^.

(276) . ^©RnÙÌ> . 25. $.

(277) " . #. .

(278). ¶. %. . ù@â. . ®. [Q`ùÁ. $. -. .. /. ». . [_`. B@â. Â. G Ã. . Ö. . Ì@â. ¬. . . b:mL. . b$# ;. <=. >. °. [©`L¯ LÁ. (. [n` ü. ±. Â 2. ±. O Ã. ² ¶. s. 4. ;. Butterfly Box. G. @Ã. Ö ¬. . +. ;. <=. Ý. >. . Ô.

(279) p. ù¯. °. µ. ?. (. G. a O. . ?a. Ã. < . { ù ·. Â. ¶. a. Thermoelectric Cooler. ^ ©RS ùÁ. Ì

(280) -. 2. UÖ. ². ² {. -. . . @. a 26. ü³. . 2. ² {. ´. .

(281) Laser Diode Chip. ^ ©R ù; [S`. ±. ¸. N Ã. ñ. ò. +@Ï. Ö. <G. ¬. . ;. <=. >. ÐÛ. Monitor. Power Meter ^ ©R ¸. N Ã. ñ. 27. ò. +@Ï. ÐÛ. .

(282) @Ï ;. @Ã <=. ããQ +¸. ÐÛ v. P*e; > N Ã. . <=. >. ý. _. T . ^ ©Rn@â [v. *e

(283) &. . ¶. dý. d¼. @â. º.

(284) ³ à¹ ø. &. cL*elm.

(285) Ï. Í.

(286) ;. Î <. Î Ò. Î Ø.

(287) @Ï.

(288) . @Ï. . :/. {. Ðp. ÐawT. a. á I ¦ n_nN K _. @Ã þ. Y nbb P_Sb P`. 28. æ@â. 0. (. ý. -.

(289) ^ ©Rï@Ï [v. ±. Ý´. µ. <=. >. Ö. @â. °. [` ;. *eÏ. [` ù?. þ. Ðý. t. (. ;. Y Q® J QJ &. {. +;. <. Ø. ù@â. á I ¦ _n©S. ÐÛ. <Í ^. Ö. _. {. ;. Î. {. þ. dý. üiÖ. :. _ïb _nbb P`. µ t. ð. üù¬. È?a. . <. Ìa. 29. Ø. ^. _. {. È?üà. ². . .

(290) Laser Diode. ^ ©R_b ù¬ . ;. <=. Pneumatic Tweezers. ^ ©R__ . Ö >. ;. <. ° (. _. {. È?. Fiber Loader. Ferrule. @â. ^ Ø. ù@â 30. Ö ¬. . ;. <=. >.

(291) Ferrule. Fiber. ^ ©R_Q². . [n` / :. [ï`. @÷. EÔ. @G ¼. . @s. ³. È/. T; i³. . <= A ¹. . >. . ÌF. @â. +@â @.

(292) @

(293) . ½. . ^. » # _. ³. i³. ¼. w HãK ¥. ½.

(294) ¾ b. 4. a. ?E. @. ¿. ¯ù. 31. . G. L@â. . . bO. a.

(295) Saddle Shaped Clip. Laser Diode. Fiber Ferrule. . ^ ©R_© ù. s. [_b`G. q@â F. \. Ô. . . +; i³. \. ?EF. . <?3

(296) õ ¯. A ¹. . Ô. G. ö. i³ . Pneumatic Tweezers. L@â. . ¯. @. . . @l. @a. 32. . bO. _ ¯. . ×. m0. / 1. YG. . . F/ 0.

(297) Laser Diode. Saddle Shaped Clip. Fiber Ferrule. . ^ ©R_n. . [__` ³. ¯ . D. s . Ì. b+

(298) C. G.

(299) . ! ;. . _ s. L0. ½. Ec 4. + Ø. Ã. . G. i³. D. ¯. <§ 4. õ. . +@â C. L@â. P. . ; 2. bO.

(300) . Ø ;. <. < <El. +. !. 33. 4.

(301) . b?3. a. s. Ê. Ø. À. Á. Ø. Ê. ^. Â. . # ¼. P.

(302) K. Ó EØ. N. ò . . Ø. # m. #. Ê. @â @Ï. i. . l . Ð.

(303) Weld spot À. ^ ©R_S. ;. <. Ø. s. 4. ".

(304) . . (¶ Ä $ Ø

(305) Å Æ "_ © Ø + ! nS c Ø . +@â. . b`. [_Q`; ². §. < ¹ . Ø. s G. 4. ?Ec Es 4. *e;. T¬. ^ ©R_². §. ¹. . . ;. <= <=. s. 4 34. > >.

(306) ¬.

(307) @Ï _.

(308) x. . ;. Ð, a. <=. >. °. *Ô. i³.

(309) PO . T¬ Ç. °. <+@â.

(310) Ú. . .. Û. . /. ?3

(311) . ú. O. lF. ;. <= .. . @#

(312) Ê. /. > p.

(313) . . w +. p. . Ì/. 0. ¬ Ú. Û. =. > É. v.

(314) 0 . (»^ ©R_)a. ^ ©R_ . ^ ©R_n . . Ø.

(315) ;. <=. 4. E

(316) 4. s. 35. À. ¶ ðL. Æ >. Z. . .

(317) È

(318) . ½. O F. !. Ã. \. v. L; P. ú.

(319) ;. 0. . 1. 2. . <+@â. . .

(320) ;. . G?Y. Ø. 3. . !. @+. Ì. A. @â. ×. ¸l¬¡r. w;. ". @ l. Ë. . <. k. B¾*

(321) cm^ ô. Ä.

(322) -. Ö. Ø. 0 Í. ¼. y. ¶. ×. 1. m0 . 4. 0. l. 1 «^. W ¡¦ WW`

(323) 0 /. . . ¬. $. ^ Ø. %. å. Ó 1. å. . &. . >.

(324) B. Ø. EF

(325) /. y. . õ. 4. .

(326) ;. õ. . å. F.

(327) @â. = 7. Ð. Ñ. Åm9 q¼. 0. ¹.

(328) Í. 1. Ä. B Á. L ³. ½. L¥

(329).

(330) P«.

(331). B. ". ;. a. . . . . . . . . .

(332). Ù¹. . . .

(333) . . Å+B. . . . ^ nR_ Ä. . . ó. . . >.

(334). . . . Ú. . 36. Ô.

(335) Û. . Ü . 0. ×. Ò. [ L ¦ ¡P¢ .

(336) :. [¡¦ W ª ¢ W ¡¦ WW`¥. . . [J ¦ ¥ N ª ¦ . Ï. . >. @Ì ?E¼. ÅÔ . <=. q^. ÅÎ. Õ . Â. . Ø. ¾

(337) Ä. w6Ä.

(338) =. Ä. ;. EM. < å. ö. EF[HI W J ¦ K L ® ì. 7. #.

(339) õ. O ¥ P¦ Q W I ¡ I àw; wd. ". . ?3

(340) . Ì. <. . + _. ^. <.

(341) ^ nR_YÄ yz. BÄ. / õ. ö. O.

(342) . . j. k. @U. [. Ù¹. Ù¹ ó.

(343) . ;. <=. ó. >. é. Ú >. Ú >. Ä. Ô. :. l. ì. í.

(344) Û.

(345) 0. ×. B.

(346). Ù¹. ì. í. EF

(347) *ef Ê{. Ô. Ð. Å B. ?%amLÞ. *h. . .

(348) [. Ð¡Bî. c*e

(349) g.

(350). Å B. 0.

(351). Å+B. È. É. Ü J. J ì ó. Ú >. . 3

(352) Ü. .

(353) . . EF

(354) *imj. _. ^ã.

(355) a. Ô . . +. EF

(356) *ù. EF

(357) . ×. Ý . í. 0 . k. x. . ¶. 0 . cù. . ×. ¬. . ¸ a. ?K `. ¸. . . ;. EF <=. >.

(358). Ða. . . 0. 1. 6. 7. YBî eO. È¼. 4 8. ï.

(359) l¹ {. Ø. 2. 5 9. :. L¬. :`. . ;. ; à. . +. . * <. . <= Ã. . 5. O. L. +;. <3.

(360) ^è. â. ;. <. Ø. @# è. . Ø. . EF*e/.

(361) ]. *5. ¬. â. ¸. . 4 ;. 1. N. l. » '. 3ß. <=. >. yz 56. 37. â. å. Ø.

(362) . È É. 4. *. <. EF¼. ½ aG. mæ. 56. ^è. O. ê. â. å. . *eü. q. é. y. [å ¥ L á ¢ ¥ ª ¦ É.

(363) 6á¶. ³. ÄJ nQbb ;. . È. F*a»^ nR© ¼.

(364) M. . _bbä_Qbb â. Åù Æ. . .

(365) . f î. . é L0. >. [©bb á`.

(366) 6á¶. $[N P¢ ¥ ¦ ã¢ £ ª ¡¦ K W ¦ P`¼ . =. >. 4. ã¢ P¦ ¡¢ `[»^ nRQ`+ã. . . y.

(367) . 4.

(368) @â i ¼ â. ç . .

(369) â. p.

(370) ³ â. î. õ. ±. â . Ø 4. <.

(371) #. . Ø ¶. ¶. 8. F. f. õ. Å Ê¼

(372) ú. 8. f. LE#. ©. ¾G. 56. L. i³.

(373) . ?. z. ÌBï.

(374) ¥. p ³. .

(375) Ùµ â. ð ¼. 7 Î.

(376) E µ. Å

(377) ¾³ ¦ êî. Åñ. 6$. f. â. .

(378) ¶. ª j.

(379) . f ò. ¸l. = ê. Ø. â. È. å. Î. G. m^è. ì. . ¶. G Ø. Û. 8 Î. A. û. EF. . É. d. ó. ç. f. %G. ¾î. f. l. ¼ . a. . 38. ù. Û. 8. ©. Å¹ Î. ?ù.

(380)

(381) . EFg w0. &. . Å¸v. P. ['`

(382) â LE#.

(383) ^è. Li³.

(384) . i ¼. ;. G £ £ à. ÷ am56. 56. g ð. . f î. x÷. y[^è. *`

(385) . :.

(386) ¶. ?E@â. 0. m . O ª I ãO Q . / µ. [£ Û ¦ £ ¦ ¡ L ´ J. [6`

(387) â.

(388). §. _bbä_Qbb -. ù. mø. ¼. . 56. 4. Å[Ù ¦ WI ª I `^è.

(389) ^è. #. Åù. ö. G Î. Ø. EFg G. ù^è. ï. . Ê[£ Û ¦ V L ` [£ Û ¦ V P`Ó ð. Êâ. l. Î. f ^î. 5. Ê. V. © B L CY. ¼. ". î. î ï. ×. BH Û ¦ C¼. p. ë. $½ P. . 56. XüÛ I. ñ. *`ä[^è. -. í. ³. . êv ¶. Ø.

(390) Ù± Bî. y

(391) î ¼. . \. Pô ©. § p. J.

(392) $½ ".

(393) ìâ. p. ¸F. ^è. ô. y§ O. .

(394) ¶. y56. . #. . ë. ¼

(395) µ. 56. ¯aL0. ½. ³. m¥. ÅO. V. ' ±. Ê¼. ±. f. Xq56. . EFg ? ð ¸v.

(396) . ¸l v. ü. î. «. ¾û 56.

(397) High Magnification Camera. ^ nRQv. G. ¾©bbá

(398) . â. i. ç Ã. . ^ nR©6á¶. 39. â. å. È É. .

(399) . . 0. 1. 2. . l . @â. . v. Pý.

(400) l. -. . . . <?3

(401) . b ý (. *e; Ö. ( #. Ø. <. ð.

(402) û. ½ a . 6á¶. ù*e

(403) ¶. g. û. â. å. È. ¢ Ö. Â . É. Ø. . »56. cé. E¼. . Ø. K. +. Ç. â. . 1. . b

(404) ê.

(405) . @â E . L*e@â û ð. ù. .

(406) F û. 4 @â. ð. E

(407) Ï1[ú1äÇ1äû1`¯. . E

(408) »^ Ø. q56. ú,+û,O. [n_`+Â. 0. P56.

(409) A. Ø . #. 0. @â. *eêv a@â ð. . ¶. <. Ì

(410) ¼.

(411) Ï0[ú0äÇ0äû0`F K. Ï0[ú0äÇ0äû0`+Ï2[ú1äbäû1à¯ Ø. L;. '. þ3@â Ø.

(412) /. @#.

(413) @â. Ø. 56. Ï0[ú0äÇ0äû0`ÙÏ1[ú1äÇ1äû1`ó nRn¼. <. êc*eÎ. b

(414) qì f. . +;. b

(415) F. Fm@â. 5. EFqwL;. L*e F. 4. [nQ`é. v. P.

(416) F*56. v. . a. úú1 ú0[n_` ûû1 û0. [nQ`. . 40.

(417) . Fiber. Y. Ferrule. Laser diode. Camera. F0(X0, Y0, Z0) Fiber tip Before welding. Fiber tip after welding F1(X1, Y1, Z1). X. F2(X1 , 0, Z1). Z û. ^ nRn@â. ð. L. Ø. E

(418) ^ K. w6á¶ ³. *÷ 9.

(419) /. û. â. å. È 0 â. û þ. Î. È. å. #. . Î. û. [nn`êv. é. i É. â. q. Ç,O

(420) i. . %° Ç’’. Ç,O. ç. Ç. ç. û þ. k. +Ç,O.

(421) A. EF¾³ ¼.

(422) . ëÅ*eÇ,O. _S0[^nRS¼ ½. F. `Ô. ¼. P56

(423) F. . *e

(424). )/ ml " 4 °

(425) È ú’Ç’û’amL ½. +Ï1’’[ú1’’äÇ1’’äû1’’`G. . L#. È. . Ì> É. É. ü. (^nR¼ ð. *eq56 ¶. ç. *ùi. @â. å. T6á¶. w/ A. â. È â. Eù¼. ú’’Ç’’û’’ (»^nR¼. 56. v. ½. )Ô 9 w6á. PÏ0’’[ú0’’äÇ0’’äû0’’`. *e

(426) ¶. g. ¢ Ö. Â . [n©`+Â. .

(427) F*a. Ç1 ú1 ¢ _S0 [ú1’’ – ú1W¦ _S0` W _S0 ÇÇ1Ç0. [n©` [nn`. 41.

(428) Y. Fiber. Camera. Ferrule 15o. F1(X1, Y1, Z1). Laser diode. F0(X0, Y0, Z0). X F2(X1 , 0, Z1). Z ç. ^ nRSi. þ. û. û . . . _S0 ½ . ^. . Y. . Camera. Y’ 15o. F1(X1 , Y1, Z1) F1’(X1’, Y1’, Z1’). . F0(X0 , Y0, Z0) F0’(X0’, Y0’, Z0’). . Z. X=X’. Z’ . ^ nRi. ç þ. û . . EF. ¼. 42. . *e

(429) @â. û ð. ½. . ^.

(430) . Y’ Fiber tip after welding F1(X1 , Y1, Z1) F1’’(X1’’, Y1’’, Z1’’). 15o. Camera. . Y’’. . X’’. Fiber tip before welding. . X’. F0(X0 , Y0, Z0) F0’’(X0’’, Y0’’, Z0’’). Z’=Z’’ ^ nR*e Ç ,. EF½. . ^. 6. 56. *e ú Ç û ,O. ¸v. Pm. mü. qÌ>. X ü. Î. Yv.

(431) . ÷. L ú Ç ,O PÌ>. 4. . Ó. F*ú Ç û q5.

(432) Ó. . *ü. X ü. Y. . ü. X. = W . -1. (ÇV Ä). [nS`. ü. Y. = W . -1. (úV Ä). [n`. ¯. Ä Y@â. Y ú ,O.

(433) . . . b

(434) dÅÇ Y Ç ,O. EF*. 43.

(435) . EF*ú.

(436) ¬. . ;. 0. 1. <=. 2. . >. 4. â. r. å. i u. : L§ ¯. P¹. i. Û. ç. ç. . §. ç. /. @â. Ã. ð. ». i. ç. .

(437) . Í. ;. ç. Ei Ø. Tæª. û. ». . q( 8. . É. <. ùi. ù§. @. È. w;. . ?. EF*e½.

(438) . 6á¶. 5. Å Ø. Ö. Æ. A. 44. a. @. 8. Û. h. K. Ó. v. û ð. Ë.

(439) ×.

(440) . û. . ð.

(441) . EFa. ). ùi. @â. A. E@â. P÷. E. Ø. ð. K. Ý´. Ì¥.

(442) @. û. @â. üê. . <. ç. .

(443) . EFg. . . .

(444) Z-axis X-axis. Laser Diode Fiber 125 m ^ nRn;. <. Ø. K. û. @â. ð.

(445) . Z-axis X-axis. 125 m ^ nRï;. ç. ùi ³. ,aõ 4. EÔ. ù¼.

(446). EÛ. ÌG. *e

(447) . . ¶. û. E@â Ø. (^ nRn +^ nRï)ý -.

(448) ^è. Ì+

(449). <. 8 Î. 45.

(450) . O ª I ãO Q + Ä¢ U Ñ ¦ Á @â. ê. $ nR_ + nRQa. ð. û ð.

(451) . EFg. :. EF¾³ +. @Ï. i +. ÐT.

(452) $ nR_ . E

(453) Ø. EFg. . After welding Module number. (. . X m). (. . Y m). (. . ( ). Z m). ( ). x. Total shift ( m). y. 1. 3.3. 1.4. -1.2. 0.2. 0.09. 3.8. 2. -1.7. 0.7. -1.1. 0.1. 0.05. 2.2. 3. 2.1. 1.7. -0.7. 0.1. 0.11. 2.9. 4. 2.4. 1.1. 1.8. 0.1. 0.07. 3.2. 5. -3.1. 1.4. 2.1. 0.2. 0.09. 3.9. 6. 3.3. 0.9. -1.9. 0.2. 0.06. 4.1. 7. 3.1. 0.8. 0.7. 0.2. 0.05. 3.3. 8. -2.3. 0.9. -1.3. 0.1. 0.06. 2.9. Total shift = (. $ nRQ. Module number. Ø. . K. X2 +. . E

(454) . Before welding. Y2 +. @Ï. . Z2 ). 1/2. Ðg. After welding. Power ( W). Coupling efficiency. Welding 1( W). Welding 2( W. Welding 3( W). Welding 4( W). Welding 5( W). Coupling efficiency. 1. 1579. 100%. 1362. 1336. 1351. 71. 1021. 65%. 2. 1750. 100%. 1512. 1615. 1582. 57. 1103. 63%. 3. 1474. 100%. 1279. 1194. 1300. 114. 1053. 71%. 4. 1637. 100%. 1505. 1587. 1620. 130. 1055. 64%. 5. 1421. 100%. 1254. 1205. 1157. 5. 971. 68%. 6. 1631. 100%. 1466. 1454. 1502. 107. 1172. 72%. 7. 1351. 100%. 1050. 987. 1034. 86. 1045. 77%. 8. 1531. 100%. 1298. 1310. 1326. 84. 1065. 70%. . . . . 46. . . .

(455) . 0. 1. . 2 0. 1. L ^. _. ;. {. ;. Èì. <=. . > . Lm # -. ¶ \. . @â . . ;. . ;. <=. i³. <. ý. . ;. #. ¼. >. F

(456) . 56. LÇ. . . q. ½ a/. ÷. . ¶. 0. {. È/. Ð

(457) J. Á.

(458) @â. L5. ,O. F

(459) *. 1. #.

(460) ÷. F. . Ç ,2. â. û m. ð . l. |. . . +@â. b

(461) . . Ç , . | ð. ª ¥. b

(462) . . #. E.

(463) ³ V k. À. i2. YV â. 47. . . . a . q@â. â k. 4. !.

(464) . . 4. ç.

(465) . . . . <.

(466) 4.

(467) @. a . b . @â . B. ;. . . ù. s. EFU. Y @â. . . EFy. õ. . <@Í.