Chemical Vapor Deposition (CVD) Chemical Vapor Deposition (CVD)

薄膜沉積 薄膜沉積

Chemical Vapor Deposition (CVD) Chemical Vapor Deposition (CVD)

z

PECVD

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LPCVD

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LPCVD

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APCVD

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MOCVD

台灣師範大學機電科技學系 -1-

C. R. Yang, NTNU MT

Physical Vapor Deposition (PVD) Physical Vapor Deposition (PVD)

Sputtering Sputtering Joule heat or Electron beam

Joule heat or Electron beam

台灣師範大學機電科技學系 -2-

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溼潤天平量測 溼潤天平量測 溼潤天平量測 溼潤天平量測

台灣師範大學機電科技學系 -3-

C. R. Yang, NTNU MT

台灣師範大學機電科技學系 -4-

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接觸角量測 接觸角量測

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Electrostatic Electrostatic

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Philips 所發表的液體鏡片與取像模組 液體鏡頭構造與原理示意圖

台灣師範大學機電科技學系 -9-

Philips 所發表的液體鏡片與取像模組

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Electrowetting on Dielectric Electrowetting on Dielectric Electrowetting on Dielectric Electrowetting on Dielectric

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Photonic & SAMs Photonic & SAMs Photonic & SAMs Photonic & SAMs

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從自然界學習奈米科技 從自然界學習奈米科技… …

蓮花效應 壁虎的腳趾

蝴 蝶

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超級疏水與自潔效應

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蓮花自潔效應

蓮花自潔效應 (Lotus self (Lotus self--cleaning effect) cleaning effect)

1μm 1μm

1μm

(a) 無細微結構，汙物只被移動 (b) 有細微結構，汙物可以被清除

1μm

(a) 無細微結構，汙物只被移動 (b) 有細微結構，汙物可以被清除

http://www.pcimag.com/CDA/ArticleInformation/coverstory/

1μm

台灣師範大學機電科技學系 -15- Planta (1997) 202: 1-8

μ

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Superhydrophobic & Gravity Superhydrophobic & Gravity p p y y p p y y

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Super-hydrophobic surface Liquid Marble

Temperature & surface hydrophobicity gradient Temperature & surface hydrophobicity gradient Temperature & surface hydrophobicity gradient Temperature & surface hydrophobicity gradient

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