制訂日期： 制訂部門： 機台編號： 機台名稱：

文件編號

DOCUMENT NO. S3-NL05

國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室

National Nano Device Laboratories

文件名稱 TITLE

儀器設備作業標準

(SE-C07

)

文 件 制 修 訂 記 錄

NO 發行日期 修訂申請書編號 制修訂內容 修訂頁次 版本 01 2009/11/05 98-DC09 制定初版 --- 01 02

03

04

05 06 07 08

核 准 審 查 制 訂

機台名稱：

機台編號： _SE-C07 制訂部門： 奈米元件台南廠

制訂日期： 2009/10/28

DOCUMENT NO.： TITLE：

國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室

National Nano Device Laboratories S3-NL05 儀器設備作業標準(SE-C07高頻 S 參 數量測儀 HP8510C)

ISSUE DATE

2009/11/05

一、目 的：

定義高頻 S 參數量測儀(HP8510C)操作規範，以確保操作品質。

二、範 圍：

適用於高頻 S 參數量測儀(HP8510C)系統。

三、權 責：

1. 組織權責：工程師負責制定及修改規範。

2. 執行人員資格：經過高頻 S 參數量測儀(HP8510C)考核通過之人員。

四、名詞定義：

無。

五、 相關文件：

六、標準作業程序：

國家奈米元件實驗室 網

＝ ＝ STSTIIMMUULLUUSS ＝＝ MMEENNUU →→ NNUUMMBBEERR OOFF PPOOIINNTT →→ 880011 。。 CACALL →→ CCAALL 11 33..55MMMM DD..33 →→ FFUULLLL 22__PPOORRTT →→

REREFFLLEECCTT’’NN →→ ((SS1111):): OOPPEENN,, SSHHOORRTT,, LLOOAADD && ((SS2222)):: OOPPEENN,, SSHHOORRTT,, LLOOAADD ((逐逐一一校校正正)) →→ R

REEFFLLEECCTT’’NN DDOONNEE →→ T

TRRAANNSSMMIISSSSIIOONN →→ FFMMDD.. TTRRAANNSS TTHHRRUU,, FFMMDD.. MMAATTCCHH TTHHRRUU,, RREEVV.. TTRRAANNSS TTHHRRUU,, REREVV.. MMAATTCCHH TTHHRRUU ((逐逐一一校校正正)) →→ TTRRAANNSS.. DDOONNEE →→

ISISOOLLAATTIIOONN →→ OOMMIITT IISSOOLLAATTIIOONN →→ IISSOOLLAATTIIOONN DDOONNEE →→ SSAAVVEE 22__PPOORRTT CCAALL →→ ((按按任任 一個一個沒沒有有**的的編編號號儲儲存存校校正正檔檔)) →→ 完成完成校校正正。。

驗驗証証：： 方法方法一一::

＝ ＝ MEMEAASSUURREEMMEENNTT ＝ ＝ SS1111 && SS2222 →→ ＝＝ FOFORRMMAATT ＝ ＝ → → LLOOGG →→ (a(a)) TTHHRROOUUGGHH 連線連線狀狀態態：：値値需需大大於於 -8-800ddBB。。

(b(b)) OOPPEENN 連線連線狀狀態態：：値値需需接接近近於於00ddBB。。

方法方法二二::

DOCUMENT NO.： TITLE：

國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室

National Nano Device Laboratories S3-NL05 儀器設備作業標準(SE-C07高頻 S 參 數量測儀 HP8510C)

ISSUE DATE

2009/11/05

＝ ＝ MEMEAASSUURREEMMEENNTT ＝ ＝ SS1111 && SS2222 →→ ＝＝ FOFORRMMAATT ＝ ＝ → → SSMMIITTHH →→ (a(a)) 接上接上 “O“OPPEENN KKIITT”” ：集：集中中於於史史密密斯斯圓圓的的最最右右邊邊。。

(b(b)) 接上接上 “S“SHHOORRTT KKIITT”” ：集：集中中於於史史密密斯斯圓圓的的最最左左邊邊。。

存存檔檔：：

＝ ＝ A A ＝ ＝ DIDISSCC →→ SSTTOORRAAFFEE IISS:: IINNTTEERRNNAALL →→ SSTTOORREE →→ MMOORREE →→ FFOORRMMAATTTTEEDD →→ 檔檔 案命案命名名((EExx:: FFDD__xxxxxx)) →→ SSAAVEVE →→ 完成完成。。

注意事項:

1. 此設備僅提供 SMA 接頭量測 2. 校正套件請向機台工程師借取

七、應用表單及附件：

1. 設備考核表 S4-NL01A 2. 設備點檢表 S4-NL01B 3. 設備使用記錄表 S4-NL01C

4. 異常及矯正預防處理單 S4-NL02A 5. 儀器設備管理卡 S4-NL04B