文 件 制 修 訂 記 錄
NO 發行日期 修訂申請書編號 制修訂內容 修訂頁次 版本 01 2009/11/05 98-DC09 制定初版 --- 01 02
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核 准 審 查 制 訂
機台名稱：
直流量測系統(IVCV)機台編號： SE-C06 制訂部門： 奈米元件台南廠
制訂日期： 2009/10/28
一、目 的：
定義 IVCV 電性量測儀操作規範，以確保操作品質。
二、範 圍：
適用於 IVCV 電性量測系統。
三、權 責：
1. 組織權責：工程師負責制定及修改規範。
2. 執行人員資格：經過 IVCV 電性量測儀考核通過之人員。
四、名詞定義：
無。
五、 相關文件：
無。
六、標準作業程序：
使用前注意事項(違反規定者依規定懲處) 1. 量測儀器為開啟狀態,無須開關機
2. 開放執行程式為 C:\Documents and Settings\copy\桌面\IVCV,分為文件夾 HP4145B I-V 和 HP4140B IVCV
3..使用HP4145B 兩探測點量測方式(如共平面或 MOS 結構),不需更動任何接線,直 接選適合程式去執行,並軟體視窗上說明接線正負位置去探測
4.使用 HP4145B 三點量測(如:MOSFET..), 僅可拆黑色夾子換成探針台內 SMU3 探針(使用完請接回黑色夾子原處),直接選適合程式去執行,並視窗上說明接線 位置去探測
5.如使用 E4980A-CV 量測或 HP4140B IVCV 機台,請自行檢查接線至機台端,可 使用的探針為探針台內 SMU3,SMU4,及僅可拆黑色夾子作為使用(使用完請接 回黑色夾子原處)
操作程序:
1. 請確認機台狀況指示牌為運轉中及使用記錄表之機台狀況。
2. 將待量測試片置於 6 吋金色平台中央，打開探針台黑箱左方之可調式燈源後，先將試片量 測區移至光源正下方,即顯微鏡視野範圍中央區域。
3. 將預使用探測探針移到接近金屬接點的位置(移動整個探針座)，並觀看顯微鏡確認可看到 模糊的黑色針影像,即探測針於顯微鏡視野範圍中央區域,可開始進行探測動作。
4. 打開下方小真空幫浦，以將試片及探針座吸住於探測平台上。
5. 利用光學顯微鏡觀測探測金屬接點及探針的位置，以微調探針座的 XYZ 軸旋鈕調整 6. Z 軸下探至試片即可接觸並破壞量測點,來確認是否探測完成 (可注意看探針的影子，若探
針的影子和探針重合，表示探針已接觸到了試片表面，請勿再繼續向下調)。
7. 開啟電腦控制軟體(參照使用前注意事項)或用手動設定量測參數後，關上黑箱門及燈源，
即可開始量測。
注意事項:
1.如須更換探針，請與工程師聯絡，請勿擅自更換。
2.使用後請將探針上升至較高處，以距離晶片基座 3 mm 以上為準。
3.使用顯微鏡之燈源後，請務必關閉，以增加燈源壽命。
4.探針台下方之小型真空幫浦，使用完畢後請關閉。
5.使用前後請確實填寫記錄簿。
NDL C-V E4980A/20 hz~2 Mhz 機器使用操作
***請先自行確認接線或更換是否接至 E4980A***
１．按 Meas setup,更改參數條件,
２．設定電容結構 FUNC：Cs-D (測電容)/s 代表串聯 Ps.此數據可依自己需求所設定(Cp,…)
３．設定頻率 FREQ：100K Hz
Ps.此數據可依自己需求所設定(20~2MHz) ４．TRIG 設定為 TRIG：MAN（設成手動）
Ps.此數據可依自己需求所設定
５．先按 Meas setup,再按 LIST Setup 設定掃描電壓
６．改為 Bias(V),設起始電壓(No.1)與最終電壓(No.201),再按 FILL LINEAR(可按 PREV PAGE or NEXT PAGE 檢查電壓設定是否正確,假如電壓範圍設定要修改,請將游標移至 No.1 反白,按 CLEAR TABLE 全部重新設定)
７．按 Save/Recall,插入 USB 隨身碟,將 MEDIA 改為 EXT(請準備可相容 USB) ８．按 Save/Recall -Save data-START Log（告訴儀器要開始量和量完資料會
儲存在 USB 隨身碟中,會自行產生一個資料夾 e4980a）
Ps.每次量測時都需選 START Log 重新載入
９．按 Display Format 回主畫面,選按 LIST SWEEP,按 DC Bias(燈亮),按 Trigger 即開始掃瞄量測 １０． 確認量測完畢後(會停在 No.201 量測數據點), 按 DC Bias(燈滅)
１１． 存檔按 Save/Recall---Save data---選 Save&STOP（出現 xxx.csv 檔案即存 入 USB 成功,如 出現 E-230:Data xxxxx…,必須重複 8～11 步驟重新量測）
１２． 量第２次時依第 8～11 步驟重新量測
七、應用表單及附件：
1. 設備考核表 S4-NL01A 2. 設備點檢表 S4-NL01B 3. 設備使用記錄表 S4-NL01C
4. 異常及矯正預防處理單 S4-NL02A 5. 儀器設備管理卡 S4-NL04B
