國立台灣師範大學機電科技學系
– 微機電系統技術導論 –
Introduction to MEMS Technology
授課老師：楊啟榮 博士
Office: Room 工 B03
TEL: (02) 2358-3221 ext. 14 0955052392
E-mail: [email protected]
Copyright @ 2006 by National Taiwan Normal University Prof. Chii-Rong Yang. All rights reserved.
課程內容目錄
章節 頁數 1. 微機電系統技術簡介... 1-1
2. 基礎 IC 製程技術... 2-1
3. 矽基微加工與應用技術... 3-1
4. 非矽基微加工與應用技術... 4-1
5. 微機電接合與封裝技術... 5-1
6. 微致動器技術... 6-1
7. 微感測器技術... 7-1
8. 微機電系統應用技術... 8-1
9. 奈米科技與其對明日生活的影響 ... 9-1
課 程 設 計
課 號： MTU0035
名 稱：微機電系統技術導論
英文名稱 ：Introduction to Microelectromechanical System (MEMS) Technology
學 分：3 類 別：選修
適修年級 ：大三、四生
課程大綱 ：本科目旨在協助機械⁄電機⁄電子等工程背景學生瞭解微機 電系統的技術內容，包括基礎 IC 製程技術、微機電製程 技術、微感測器與微致動器原理與製造技術、系統能源 供應、封裝檢測、應用技術及微機電系統技術現況與未 來發展趨勢。
對 象：具機械、電機工程背景知識之研究生 授課老師 ：楊啟榮 博士
課程講義 ：微機電系統技術導論講義
評分考試 ：50 % Midterm test, 50 % Final project report
國立台灣師範大學機電科技學系課程綱要表
開課系級 三上 上 3
科目名稱 微機電系統
技術導論 必修
選修 選 學 分 下
先修 科目
壹、教學目標
本科目旨在協助機械⁄電機⁄電子等工程背景學生瞭解微機電系統的技術內容，包括基礎 IC 製程技術、微機電製程之微加工技術、微感測器與微致動器、系統能源供應、封裝檢測、
應用技術及微機電系統技術現況與未來發展趨勢。
貳、預定教學進度
1. 微機電系統技術簡介 2. 基礎 IC 製程技術 3. 矽基微加工與應用技術 4. 非矽基微加工與應用技術 5. 微機電接合與封裝技術 6. 微致動器技術
7. 微感測器技術
8. 微機電系統應用技術
9. 奈米科技與其對明日生活的影響
參、 實施方式 1. 講述法 2. 討論法 3. 筆試 4. 影帶欣賞 肆、參考書目
1. M. Madou, Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, New York, 2002
2. N. Maluf, An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering, Artech House, London, 2000
3. 微機電系統技術與應用, 國科會精密儀器發展中心, 93 年 4. 莊達人, VLSI 製造技術, 高立圖書公司, 台北, 83 年
英文名稱 Introduction to Micro-Electro-Mechanical System Technology 任課教師 楊啟榮
Reference
Book:
1. M. Madou, Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, New York, 1997
2. N. Maluf, An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering, Artech House, London, 2000
3. T. Fukuda and W. Menz, Micro Mechanical Systems: principles and technology, Elsevier, New York, 1998
4. Gregory T. A. Kovacs, Micromachined Transducers Sourcebook, McGraw-Hill, New York, 1998
5. W. S. Trimmer, Micromechanics and MEMS:classic and seminal papers to 1990, IEEE Press, New York, 1997
6. P. Rai-Choudhury, Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication: Vol1 & Vol2, SPIE Press, 1997
7. Liwei Lin, F. K. Forster, N. R. Aluru, Xiang Zhang, Micro-electro-mechanical systems (MEMS), The American Society of Mechanical Engineers, DSC-Vol. 66, 1998
8. Massood Tabib-Azar, Microactuators: electrical, magnetic, thermal, optical, mechanical, chemical, and smsrt structures, Kluwer Academic Publishers, 1998
9. R. S. Muller, R. T. Howe, S. D. Senturia, R. L. Smith, and R. M.
White, Microsensors, IEEE Press, 1991
10. Tran Minh Canh, Biosensors, Chapman & Hall, London, 1993
11. Julian W. Gardner, Microsensors: Principles and Applications, John Wiley & Sons, New York, 1994
12. Hèctor J. De Los Santos, Introduction to Microelectromechanical (MEM) Microwave Systems, Artech House, London, 1999
13. A. Manz and H. Becher, Microsystem Technology in Chemistry and Life Sciences, Springer, 1999
14. W. Ehrfeld, V. Hessel, and H. Löwe, Microreactors, Wiley-Vch, New-York, 2000
15. M. Koch, A. Evans, and A. Brunnschweiler, Microfluidic Technology
and Applications, Research Studies Press Ltd., 2000
16. B. Bhushan, Tribology Issues and Opportunities in MEMS, Kluwer Academic Publishers, 1998
17. B. Bhushan, Handbook of Micro/Nano Tribology, 2nd edition, CRC Press, New York, 1999
18. Richard C. Jaeger, Introduction to Microelectronic Fabrication, Vol. V, Addison Wesley Publishing Company, New York, 1993
19. S. M. Sze, VLSI Technology, 2nd edition, McGraw Hill, New York, 1988
20. S. M. Sze, Semiconductor Sensors, , John Wiley & Sons, New York, 1994
21. Hans P. Herzig, Micro-optics: elements, systems and applications, Taylor & Francis, 1997
22. Microsystem Technology for Chemical and Biological Microreactors, DECHEMA Monograohs Vol. 132, Wiley-Vch
23. 中島尚正, 梅田章, LIGA PROCESS, 日刊工業新聞社, 1998 (In Japanese)
24. 莊達人, VLSI 製造技術, 高立圖書公司, 台北, 83 年
Journals:
1. Journal of Micromechanics and Microengineering 2. Journal of Microelectromechanical Systems
3. Sensors and Actuators 4. Microsystem Technology
5. Journal of Vacuum Science and Technology
6. Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems 7. 微系統科技協會季刊
Conference proceedings:
1. IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop
2. Transducers (International Conference on Solid-State Sensors and Actuators)
3. Hilton Head (Solid-State Sensor and Actuator Workshop) 4. SPIE Conference for MEMS & MOEMS Technology
5. Optical MEMS (IEEE/LEOS international conference on optical Microsystems and technologies)
6. Eurosensors
7. 奈米工程暨微系統技術研討會, 工研院
8. 微系統科技協會年會暨微機電系統成果發表會
MEMS Homepage:
國內網站：
1. 北區微機電中心http://nscmems.iam.ntu.edu.tw/
2. 中區微機電中心http://nsc-cmems.nthu.edu.tw/
3. 南區微機電中心
http://www.ncku.edu.tw/~nckumems/WWW/index.htm 4. 國科會精密儀器發展中心
http://www.pidc.gov.tw/Research/Measure/index.html 5. 工研院電子所微系統技術中心
http://www.itri.org.tw/mems/chinese/index_c.htm 6. 工研院機械所奈米工程暨微機電系統技術
http://www.mirl.itri.org.tw/rd/innovate/index.asp
7. 清大動機系方維倫教授 MEMS 網站http://mdl.pme.nthu.edu.tw/
8. 清大工科系曾繁根教授 MEMS 網站 http://www.ess.nthu.edu.tw/~fangang/lib/
9. 台大機械系周元昉教授 MEMS 網站
http://www.me.ntu.edu.tw/brief/graduate/sollab/lab02.htm
10. 交大機械系徐文祥教授 MEMS 網站 http://www.cc.nctu.edu.tw/~u8814520/
11. 成大機械系羅裕龍教授 MEMS 網站
http://140.116.5.11/%7En1689151/labnew/index.htm
12. 成大工科系李國賓教授 MEMS 網站http://140.116.175.13/
13. 成大工科系林裕成教授 MEMS 網站http://140.116.175.94/
14. 中興大學精工所http://www.nchu.edu.tw/~acende/index.htm 15. 其他…請自行上網搜尋 [網路資源搜尋]
國外網站：
1. Master List of MEMS Technology Developers http://www.ida.org/MEMS/mastermems.html 2. MEMS Clearinghouse http://mems.isi.edu/
3. Berkeley Sensor & Actuator Center http://bsac.eecs.berkeley.edu/
4. Caltech micromachining Lab. http://mems.caltech.edu/
5. Sandia National Lab. http://mems.sandia.gov/scripts/memscam.asp 6. Sandia LIGA Technology http://daytona.ca.sandia.gov/LIGA/
7. DARPA MEMS Program http://www.darpa.mil/MTO/MEMS/
8. IDA MEMS Technology Transition http://www.ida.org/MEMS/
9. MEMS - UW-Madison http://mems.engr.wisc.edu/
10. Quate Group MEMS http://www.stanford.edu/group/quate_group/index.html 11. MEMS@UCLA http://www.ee.ucla.edu/research/judylab/memsucla/
12. MCNC/Cronos http://www.memsrus.com/cronos/CIMSmain2ie.html 13. IMM MEMS Center http://www.imm-mainz.de/
14. FZK/IMT LIGA Center http://www.fzk.de/imt/e_index.html
15. SU-8 Lithography website http://aveclafaux.freeservers.com/SU-8.html 16. Cornell MEMS Lab. http://www.cnf.cornell.edu/
17. Colorado MEMS Lab. http://mems.colorado.edu/
18. Tabata MEMS Lab. http://www.ritsumei.ac.jp/se/~tabata/index-j.html 19. Sato MEMS Lab. http://www.kaz.mech.nagoya-u.ac.jp/
20. Fujita MEMS Lab. http://www.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/
21. Surface Technology Systems plc (STS) http://www.stsystems.com/
22. Twente University http://www.el.utwente.nl/tt/
23. 其他…請自行上網搜尋 [網路資源搜尋]
