行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告
光纖光柵式多波道光纖感測器之研製
計畫類別: 個別型計畫
計畫編號: NSC93-2622-E-011-013-CC3
執行期間: 93 年 05 月 01 日至 94 年 04 月 30 日 執行單位: 國立臺灣科技大學電子工程系
計畫主持人: 廖顯奎
計畫參與人員: 王俊容、洪寬綸
報告類型: 精簡報告
處理方式: 本計畫為提升產業技術及人才培育研究計畫,不提供公開查詢
中 華 民 國 94 年 8 月 1 日
行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 ■ 成 果 報 告
□期中進度報告
光纖光柵式多波道光纖感測器之研製
計畫類別:■ 個別型計畫 □ 整合型計畫 計畫編號: NSC 93-2622-E-011-013-CC3
執行期間:93 年 5 月 1 日至 94 年 4 月 30 日
計畫主持人:廖顯奎 共同主持人:
計畫參與人員:王俊容、洪寬綸
成果報告類型(依經費核定清單規定繳交):■精簡報告 □完整報告
本成果報告包括以下應繳交之附件:
□赴國外出差或研習心得報告一份
■赴大陸地區出差或研習心得報告一份
□出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份
□國際合作研究計畫國外研究報告書一份
處理方式:除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫、列 管計畫及下列情形者外,得立即公開查詢
■涉及專利或其他智慧財產權,■一年□二年後可公開查詢
執行單位:國立台灣科技大學
中 華 民 國 94 年 7 月 27 日
行政院國家科學委員會補助專題研究計畫成果報告
光纖光柵式多波道光纖感測器之研製
計畫類別:■ 個別型計畫 □ 整合型計畫
計畫編號:NSC 93-2622-E-011-013-CC3 執行期間:93 年 5 月 1 日至 94 年 4 月 30 日 中文摘要
由於摻鉺光纖雷射獨特、簡單的架構及優越 的性能,在光源系統、光譜量測及光纖感測 方面,皆有相當優越表現。本專題首先研製 波長可調摻鉺光纖雷射光源;其次是設計環 形摻鉺光纖雷射架構的光纖感測系統。
關鍵詞:光纖雷射、光纖感測、雷射光源、
光纖光柵 英文摘要
Fiber lasers have some merits as its simple structure, narrow linewidth and high power make it suitable for light sources application, spectrum measurement and fiber sensing. In this project, we investigate a high-resolution and low cost fiber sensor system based on fiber grating ring laser and then used it in fiber sensing system.
Key words: fiber laser, fiber sensor, light source, fiber Bragg grating
報告內容
1. 波長可調摻鉺光纖雷射光源的研製
利用光纖光柵波長可調的技術,可以調整光 纖光柵的布拉格波長。而利用第三章所提之 線性及環型共振腔摻鉺光纖雷射架構,由於 其雷射輸出波長是取決於光纖光柵的布拉格 波長,配合波長可調光纖光柵,即可製作出 波長可調光纖雷射,其波長可調範圍由光纖 光柵的波長可調範圍所控制,理論上,輸出 波長可涵蓋摻鉺光纖放大器可放大的波段,
配合「功率等化」的機制,可以製作出線寬 極窄、輸出功率可調、波長可調範圍大的雷 射光源。
1.1 波長可調光纖光柵
波長可調濾波器是插入或取出頻道資訊的重 要元件,主要有模態耦合的可調濾波器、半導
體雷射器結構的可調濾波器、液晶可調濾波 器和光纖光柵等[1],光纖光柵濾波器由於性 能優越、結構簡單、製作手續簡便,已引起 眾人的注目。光纖光柵濾波器的動作原理是 讓滿足布拉格條件(Bragg condition)波長的光 信號發生反射,而決定反射波長的是光柵的 週期及光纖光柵的有效折射率。我們即是利 用改變光柵週期的方式來製作波長可調光纖 光柵。由布拉格方程式可以得到反射波長與 光柵週期及有效折射率的關係。
B 2 n eff
(1)
透過施加外力的方式來改變光柵的週期 , 即可輕易改變光纖光柵的反射波長。進一步 討論會影響布拉格波長漂移量的相關係數,
可由式(5.2)表示[2]。
2
12 11 12
( ) 2 {1 ( )[ ( )]} [ ]
B eff 2
dn
n dT
n P P P T
n
(2)
其中, 為施加的應力, P i j , 係數為浦朗克光- 應變張量的係數( Poc ke l ’ s c oe f f i c i e nt s of t he stress-optics tensor) , 為 帕 松 率 ( Poi s s on’ s ratio), 是光纖材料的熱膨脹係數, T 是溫 度 的 變 化 量 。 一 般 2
12 11 12
( )[ ( )]
2
n P P P
0.22,若只考慮應力對光纖光柵布拉格波長 漂移量的關係,可以簡化成式(3):
6 1
( )
0.78 10
B
B
(3)
利用施加應力的方式去改變光纖光柵的光柵 週期,以達到布拉格波長可調的目的。首先,
製作完成之光纖光柵經退火及纖衣覆鍍的動 作後,將光纖光柵貼覆在高韌性的材料上,
此處選用的是碳纖維複合材料。將光纖光柵
利用黏膠貼覆在複合材料上,待黏膠凝固
後,波長可調光纖光柵即完成。波長調整的
方式是將貼覆在複材上的光纖光柵,置於精
密的移動平台上,利用施以壓力或張力的方 式來改變光柵週期,進而使布拉格波長產生 改變,達到波長可調的目的。當施以壓力時,
光柵週期因為受到壓力而縮小,布拉格波長 會往短波長的方向漂移;當施以張力時,光 柵週期因為受到張力而張伸,布拉格波長會 往長波長的方向漂移。但需注意的是,當施 加的應力太大時,會使光纖光柵的反射率下 降,甚至造成光纖光柵的斷裂。
由於單一光纖光柵的波長可調範圍有限,且 當波長調整的範圍過大時,會造成光纖光柵 反射率的大幅下降,所以我們使用光切換器 及數根光纖光柵組成之波長可調濾波器模組 來增加波長可調的範圍架構如圖 1 所示。
圖 1 波長可調光纖光柵模組架構圖 穿透頻譜疊加圖如圖 2 所示。由穿透頻譜疊 加圖可知,使用由兩根光纖光柵所組成的波 長可調光纖光柵模組可達到 25 nm 的波長可 調範圍,反射率不因波長調整而出現劣化的 現象,反射率皆可維持在 30 dB 左右。由於 調整光纖光柵反射波長的方式是利用外力強 行改變光纖光柵的光柵週期,所以在調整時 要注意光纖光柵反射率的劣化及光纖所能承 受的最大應力,以免光纖光柵發生斷裂。
圖 2 光纖光柵波長可調頻譜圖 1.2 波長可調摻鉺光纖雷射
利用 1.1 小節所提出波長可調光纖光柵模 組,配合線性或環形共振腔摻鉺光纖雷射架 構,即可組成波長可調摻鉺光纖雷射光源。
架構圖如圖 3、圖 4 所示。
圖 3 線性共振腔波長可調光纖雷射架構圖
圖 4 環形共振腔波長可調光纖雷射架構圖 由於摻鉺光纖放大器對不同波長訊號的放大 率並不相同,在線性共振腔摻鉺光纖雷射的 架構中加入可調光衰減器,將輸出功率作平 坦化的作用。另外,如果在製作時,考慮摻 鉺光纖長度與增益曲線平坦度的關係後,亦 可以稍微改善輸出雷射功率不平坦的問題。
波長可調環形共振腔摻鉺光纖雷射的架構圖
如圖 4 所示。利用此架構配合波長可調光纖
光柵模組,利用調整光纖光柵布拉格波長的
方式,達到輸出雷射波長可調的目的。由於
環形摻鉺光纖雷射架構的雷射輸出線寬較
寬,約為 0.07nm,可在主共振腔中加入一小
型共振腔,並使用極化控制器的調整,來改
善此架構光纖雷射的輸出線寬。此架構輸出
頻譜疊加圖如圖 5 所示,使用 1.9 公尺的摻
鉺光纖及 40mW 的泵激光功率,波長可調範
圍為 31 nm,雷射輸出功率為 0 dBm,功率變
動約為 1 dB,輸出雷射線寬為 0.05nm(受限
於光譜分析儀解析度的極限),訊號雜訊比為
60 dB。波長調整的解析度決定於調整機構的
解析度,我們利用精密移動平台,其解析度
為 0.1 mm,可以達到 0.3 nm 波長調整解析
度。利用線性及環型摻鉺光纖雷射架構搭配
波長可調光纖光柵,製作出波長可調光纖雷
射,此雷射光源可廣泛用於光譜的量測及分
波多工系統的光源,是一個架構簡單、輕便
且特性優良的雷射光源。
圖 5 波長可調光纖雷射頻譜圖 2 使用波長可調光纖雷射之光柵感測系統 自 1989 年 Morey 首次提到將光纖光柵用作感 測以來,光纖光柵受到了世界範圍內的廣泛 重視,並且已經取得了持續和快速的發展。
光纖光柵已經在大型結構工程、電力、航空 航太、船舶、生物醫學、核工業、石化、水 利、石油勘探以及軍事武器裝備等領域均獲 得了應用[2]。光纖光柵感測主要是在化學氣 體感測、醫學壓力感測、動力旋轉和方向感 測、溫度感測等領域及與智慧型結構(Smart structure)的應力應變感測。幾十年來對結構 應變的測量主要採用電阻應變片,但電阻應 變片易受溫度、濕度等環境因素的干擾,無 法在工程上長期且可靠地使用。光纖光柵是 波長調變的感測器,不受光強變化等參數的 影響,特別適合用於惡劣的工程環境。光纖 光柵用於感測、監控方面有幾個顯著的優 點,其中包括 [3]:
1. 抗電磁干擾:包括雷電,以及使用於惡 劣環境的能力,如核電廠。
2. 極小的尺寸:典型直徑為 125m,這是 埋入複合材料中而不影響結構特性的理 想尺寸,是使用於航空航太飛行器的一 大優勢。
3. 抗腐蝕:可用於橋樑、水壩等開放結構 中。
4. 能沿著單根光纖同時使用大量的感測器 進行應變感測,不像電子式感測器需要 大量的導線。
5. 高溫能力:典型約為 300℃。
6. 壽命長:可維持到結構的工作壽命,經 過試驗,光纖光柵經適當地曝光和退火 程序,能穩定地工作超過 25 年而不產生 退化。
使用光纖光柵為感測元件是利用待測物理量 對光纖光柵布拉格波長進行調變,使光纖光
柵的布拉格波長發生變動,並透過解調的機 制,將待測物理量的變動量解調出來,達到 監控的目的。有鑑於上述的優點,光纖光柵 已經成為感測系統中相當重要的元件之一。
使用光纖光柵再搭配摻鉺光纖雷射共振腔,
可依監測的距離調整光信號的功率,而且經 由雷射共振腔的雷射作用,可將部份旁模濾 除,使訊號的線寬變窄,提高感測系統的精 確性。
2.1 傳統式光纖光柵感測系統
傳統式的光纖光柵感測系統是利用寬頻譜光 源,如摻鉺光纖放大器自發性放射或發光二 極體(Light emitting diode, LED)為光源,但此 類光源的光功率較低,不適合用於長距離的 監測系統,而信號的光功率亦影響信號分析 處理的準確性及可靠性。傳統光纖光柵感測 系統是利用寬頻譜光源,經由光纖的傳導,
將光源傳送至由光纖光柵所製成的感測端;
藉由待測物理量對光纖光柵布拉格波長進行 調變,使光纖光柵的布拉格波長發生變動,
偵測反射回解調端的光信號之波長變動量,
經由運算,可得到待測物理量的變動量。其 架構圖如圖 6 所示。
圖 6 傳統式光纖感測系統
圖 7 為傳統式光纖感測器的穿透頻譜疊加 圖,經由待測物理量的調變,使光纖光柵的 布拉格波長發生變動,從圖 7 可看出,當對 光纖光柵施以拉力時,光纖光柵的布拉格波 長將從短波長處向長波長的方向漂移。
圖 7 傳統光纖光柵反射式感測器穿透頻譜
由偵測端所接收到的信號如圖 8 所示,其 3
dB 頻寬為 0.3nm,功率為-23.8 dBm,當對光 纖光柵施以 1000 的拉力時,由圖 9 可以 看 出 光 纖 光 柵 布 拉 格 波 長 變 動 量 為 1.76 nm。但由於光纖光柵的反射頻寬較寬,無法 進行更精確的監測,使監測的解析度較低;
其反射功率也較低,無法用於長距離的監 測,對於長距離的監測會由於功率的降低而 導致判讀準確性下降的缺點。利用傳統的光 纖感測架構進行拉力的感測,光纖光柵受拉 力對布拉格波長的調變,使光纖光柵的布拉 格波長產生變動,施以 1000 的拉力時,
光纖光柵布拉格波長產生 1.76 nm 的波長變 動 量 , 如 圖 9 所 示 , 換 算 靈 敏 度 約 為 0.18 nm /100 。但由於是使用摻鉺光纖放大 器自發性放射為光源,反射光的能量僅-23.8 dBm,如使用此架構進行長距離的監測,反 射光功率將會更低,影響解調機制判讀的正 確性。
圖 8 傳統式光纖光柵感測器反射訊號頻譜圖
圖 9 傳統式光纖光柵感測器反射頻譜疊加 在下個小節中,我們將摻鉺光纖雷射的架 構加入光纖感測系統中,可以達到降低信號 的 3 dB 頻寬,提高信號的功率,使其能夠達 到更精確、長距離監測的目的。
2.2 以環形光纖雷射為光源的光纖感測系統 使用摻鉺光纖雷射作為光纖感測器的光源,
不僅可以降低信號的 3 dB 頻寬,同時還可以
依實際監測的距離而調整信號的功率,減少 後續解調動作時發生錯誤的機率,同時亦可 使監測的精確性提升。使用環型摻鉺光纖雷 射作為光源的光纖感測系統架構圖如圖 10 所示。
這個架構使用環形摻鉺光纖雷射共振腔 作為感測系統的光源,將由光纖光柵組成的 感測元件,置於待測環境中,讓待測物理量 對光纖光柵布拉格波長進行調變;經由待測 物理量調變後所反射的光信號經由光循環器 回到雷射共振腔中,經過雷射作用,可以產 生雷射輸出信號,信號波長即為被調變後光 纖光柵的布拉格波長。使用比率耦合器自雷 射共振腔中取出部份信號,再利用分波多工 耦合器,將殘存的泵激光源濾除,送至光譜 分析儀進行信號的判讀。圖 11、圖 12 所示 為使用光纖雷射為光源之光纖感測器信號頻 譜圖。由頻譜圖可以看到,信號的功率由傳 統式光纖感測系統的-23.8 dBm 提升至 0 dBm,可以提升信號的光功率,而且在相同 的條件下,由於都是利用待測物理量對光纖 光柵布拉格波長進行調變,所以波長變動的 範圍和傳統式感測系統相同。使用環形雷射 架構作為光纖感測系統的光源,除了可以將 信號的功率提升,還可以將信號的 3 dB 頻寬 變窄、提升訊號的訊號雜訊比,茲就傳統寬 頻譜光源拉力感測器與使用環型摻鉺光纖雷 射架構為光源的拉力感測器感測信號作一比 較,可清楚看出感測訊號在 3 dB 線寬及訊號 功率及訊號雜訊比皆已獲得大幅的改善。
圖 10 環形光纖雷射感測器架構圖 2.3 光纖光柵溫度感測器
光纖光柵極易因外界溫度變動而使布拉格波
長發生漂移,當光纖光柵用作光通訊濾波元
件時,這個特性需要額外的溫度補償機制來
補償光纖光柵布拉格波長因溫度變化而造成
的波長漂移。但當光纖光柵用作溫度感測器 時,這個特性反而讓光纖光柵獲得相當成功 的應用。一般二氧化矽的熱膨脹係數較小,
當溫度發生變動時,使用二氧化矽為材料的 光纖光柵雖仍會因溫度的改變而發生布拉格 波長的漂移,但變動的範圍並不大,需要精 密的解調機制方能正確的解調。
圖 11 使用光纖雷射架構為光源之光纖感測 器訊號頻譜圖
圖 12 光纖雷射感測器頻譜疊加圖 某些材料的熱膨脹係數遠大於二氧化矽,
如:鉛、鋁…等,如果將光纖光柵貼覆在該 材料上或使用電鍍的方式,將材料均勻地鍍 在光纖光柵的表面上;當溫度改變時,由於 該材料熱膨脹係數大於二氧化矽,將因溫度 的上升而發生膨脹,該材料膨脹後會對包覆 在材料中的光纖光柵產生一微小的應變力,
該應變力將造成光纖光柵的光柵週期改變,
進而提高光纖光柵對溫度的靈敏度。我們所 採用的方法是將光纖光柵利用黏膠黏貼在鉛 片上,示意圖如圖 13 所示。
圖 13 提高光柵溫度靈敏度之方法示意圖
利用貼覆的方式,對不同溫度光纖光柵反射 波長的變動曲線如圖 14 所示。利用這個方 法,成功將光纖光柵對溫度的靈敏度,從 13.3 pm / C 提升至 33.1 pm / C 。如果能使用 電鍍的方式,將光纖光柵整個包覆在材料 中,可以使因溫度變化所產生的應變力更均 勻的施加在光纖光柵上,讓光纖光柵對溫度 的靈敏度更加提升。
圖 14 貼覆鉛片後光柵溫度靈敏度比較圖 2.4 解調機制
解調的機制是利用受待測物理量調變後的光 信號,經由長週期光纖光柵衰減式的濾波動 作後,將信號波長的變動量轉換成為功率的 變動量;檢光二極體再將功率的變動量,轉 換成為光電流的變動量;在差動放大器的輸 入端加入適當的電阻,使其產生相對應的輸 入電壓;並經由電壓放大器將所接收到的電 壓進行適度的放大後,利用類比/數位轉換器 將所接收到的電壓變動進行量化;最後經由 微處理器的運算,將監測的結果顯示在液晶 顯示器。首先使用長週期光纖光柵對信號進 行處理,利用其針對不同波長的光信號具有 不同衰減量的特性,可以將波長的變動量轉 換成為光功率的變動量。長週期光纖光柵頻 譜圖如圖 15 所示。
圖 15 長週期光纖光柵頻譜圖
由頻譜圖可以看出長週期光纖光柵對不同波 長信號的衰減量是線性的,選擇線性度較佳 的波段,如 1533 nm 至 1537 nm 波段,該波 段線性度較佳,衰減曲線之斜率也較陡,可 以在很小的波段內,產生明顯的功率變動,
使檢光二極體產生差異較大的光電流變化,
使經過轉阻放大器而產生的電壓變動量變 大,使用位元數較少的類比/數位轉換器即可 判讀電壓的變動量。檢光二極體的響應曲線 如圖 16 所示。
圖 16 檢光二極體的響應曲線
檢光二極體是採用由 Optoway Technology Inc.
生產之檢光二極體。針對選用的波段,輸入 不同的光強度,可獲得不同的光電流。檢光 二極體的響應曲線並未呈現出線性的趨勢主 要是因為在橫軸的檢光二極體光電流與輸入 光功率的關係式如式所示:
(
0)
(1 )
[1 d ]
o p
I P e e
hf
(4)
其中, I p 即產生之光電流, P o 為輸入光功 率, 為 Freshnel 反射係數,d 為吸收區寬度,
e 為電子的帶電量。將轉換後的光電流送至轉 阻放大器,將輸入的光電流轉換成為相應的 電壓值,再將該電壓送入 8 位元類比/數位轉 換器進行量化,最後將量化後的數據送入微 處理器進行運算,最後將運算後的結果呈現 在液晶顯示器上,解調機制的整體電路如圖 17 所示。
2.5 多重參數之分時多工感測系統
由於使用環型共振腔摻鉺光纖雷射架構為感 測系統的光源,如同時監測多個參數將由於 增益競逐(Gain competition)的緣故,無法同時 產生多個波長的監測信號,故採用分時多工
的方式來進行多參數的感測。多參數感測系 統的架構圖如圖 18 所示。利用光切換器,依 照不同的時間切換至不同的感測器上,達到 多參數感測的目的。
/ EA VP
圖 17 解調機制電路圖
圖 18 分時多工多參數光纖感測器 利用此架構,對溫度、壓力及拉力進行感測 實驗,各參數的響應曲線如圖 19、圖 20、圖 21 所示。
圖.19 溫度感測曲線
由圖 19、圖 20 及圖 21 可以看出各感測參數
所對應的布拉格波長漂移曲線,經過換算可
以得到光纖感測器對溫度、壓力及拉力的感
測靈敏如表 2 所示。布拉格波長的變動量經
過長週期光纖光柵、檢光二極體及轉阻放大
電路轉換成電壓後,可以得到相應的電壓變 動量,如表 3 所示。
圖.20 壓力感測曲線
圖 21 拉力感測曲線
表 2 感測參數波長漂移靈敏度
感測參數
波長變動量(nm) 波長變動靈敏度
溫度 1542.4 ~
1545.46 34 pm / C
壓力 1540.0 ~ 1542.82
0.31
/100 nm pm
拉力 1544.4 ~
1547.76 0.37 nm /100
表 3 感測參數電壓變動靈敏度
感測參數 偵測電壓變
動量 電壓變動靈敏度
溫度