台灣師範大學機電科技學系 C. R. Yang, NTNU MT
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微機電系統原理與應用 微機電系統原理與應用
Principles and Application of Micro
Principles and Application of Micro--ElectroElectro--Mechanical SystemMechanical System
楊 啟 榮 博士
教 授
國立台灣師範大學 機電科技學系 Department of Mechatronic Technology National Taiwan Normal University
Tel: 02-7734-3506; 0955-052-392 E-mail: [email protected]
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微電子
微電子 + + 微機械 微機械 = = 微機電系統 微機電系統
(Micro Electro Mechanical System, MEMS)
把玩齒輪的螞蟻(IMT, Germany) 3D Optical Scanner3D Optical Scanner(ADI, USA)
旋轉式微馬達 可變聚焦位置透鏡
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課 課 程 程 資訊 資訊
z課 號： MTM0006
z名 稱：微機電系統原理與應用
z英文名稱 ：Principles and Application of Micro-Electro- Mechanical System
z學 分：3
z類 別：選修
z適修年級 ：碩/學士生(大碩合開)
z對 象：具機械、電機工程背景知識之研究生 z授課老師 ：楊啟榮 博士
z課程講義 ：微機電系統原理與應用講義
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教學目標 教學目標
本科目旨在協助機械∕電機∕電子等工程背景學生瞭 解微機電系統的技術內容，包括基礎IC製程技術、微 機電製程技術、微感測器與微致動器原理與製造技術
、系統能源供應、封裝檢測、應用技術及微機電系統
技術現況與未來發展趨勢。
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課程預計進度 課程預計進度
1. 微機電系統技術簡介 2. 基礎IC製程技術 3. 矽基微加工與應用技術 4. 非矽基微加工與應用技術 5. 微機電接合與封裝技術 6. 微致動器技術
7. 微感測器技術 8. 微機電系統應用技術
9. 奈米科技與其對明日生活的影響
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z 出 席 率 與 上 課 態 度 (20%) 、 書 面 報 告( 注 意 格 式 要 求)(40%)、筆試測驗(只考基本概念)(40%)。
z 筆試範圍完全出自於上課內容與補充資料。用功與否，決 定分數的高低；若是太混，仍然會難逃被當的命運。
z 本課程非營養學分，請作好心理準備才選修！！
z 修課的大三學生中，選擇對MEMS有興趣的學生進行專題 研究。
評分考試 評分考試
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書面報告 書面報告
1. 翻譯一篇至少五頁之英文國際期刊論文，主題內容以 MEMS技術為主，其需事先經過授課教師認可，認可 時間最晚為期中考週。
2. 國際期刊論文必須找2009年以後之論文。
3. 繳交論文翻譯Word檔案。
4. 繳交之報告格式，需符合授課教師指定之格式，否則 將退回報告不予計分。
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1. 書面報告格式介紹(請認真體會格式的要求)。
2. 如何尋找國際期刊論文？
zGoogle: http://scholar.google.com/
輸入關鍵字或作者名即可……
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上課原則與配合事項 上課原則與配合事項
1. 上課遲到二十分鐘，不准於該節進教室。
2. 事假、病假必須於上課前，以簡訊、E-mail請假，或由可 信賴之同學轉告。
3. 無故曠課(不定時點名)多次 ，每次期末總成績扣5分(建議 期中退選)。
4. 上課手機關機！
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研究室位置：科技學院地下一樓工B03室
課輔時間 課輔時間
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