大面積 大面積 F F θ θ 同軸視覺掃描 同軸視覺掃描 模組 模組

FY99 FY99 年度研發成果簡介 年度研發成果簡介

99/12/30 99/12/30

南分院 南分院 雷射應用科技中心 雷射應用科技中心 廖金二 廖金二 經理 經理

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大面積 大面積 F F θ θ 同軸視覺掃描 同軸視覺掃描 模組 模組

大面積F

θ

成像鏡組模擬

其雷射波長介於 355nm~1064nm、Fθ掃 描範圍>= 100 mm×100mm、影像光學放 大倍率為0.5X~4X(可客製化設計)，並具 可支援內同軸光設計功能，可用於大面 積高速（ms等級）與高精度（μm等級) 的加工需求，確認製程前後位置定位與 觀測材料表面，或應用於同步補償振鏡 系統長時間運轉產生的位置誤差量，用 以提昇雷射機台加工的穩定度。

Center

(x=0mm) 160mm * 160 mm

(x=80mm)

1X 成 像 品 質

2X 成 像 品

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低應力複合阻氣膜製程設備技術 低應力複合阻氣膜製程設備技術

本技術以ICP電漿達成高密度反應 粒子之需求，並經由電極與氣場設 計，完成製程設備所需大面積及高 均勻性，此封裝製程利用低溫高均 勻度電漿模組及液氣材料交互鍍 膜，以控制調配薄膜的性質，達成 低應力高阻水氣率又兼具高穿透率 之目標，可應用至易受水氧氣侵入 進而造成受損之元件，包含薄膜太 陽能電池封裝、軟性顯示器封裝，

軟性電子封裝等產業。

電漿密度＞

電漿密度＞

10 10

cm cm

低應力複合阻氣膜沉積系統

無黏著力離形層 軟性電子元件

無黏著力「離形層」設備技術，協助 顯示中心獲得2010美國Wall Street

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全光纖式高能皮秒雷射源 全光纖式高能皮秒雷射源

使用增益切換的皮秒雷射種子 源，開發高平均功率的皮秒雷 射源，藉由單模與多模光纖放 大器的設計製作，達到近單模 光束品質，並色散控制讓雷射 依舊皮秒等級終端輸出，機電 光整合下，可彈性針對終端商 品使用者來搭配不同加工材質 參數。

輸出功率

average power V.S. power rating

0 2 4 6 8 10 12 14

0 20 40 60 80 100

power rating (%)

average power (W)

1000 kHz 500 kHz 100 kHz

光束品質 脈衝寬度

雷射頻譜

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透光物質之雷射自動聚焦模組技術 透光物質之雷射自動聚焦模組技術

自動聚焦模組功能測試系統

焦程式，達到長短行程均可聚焦 的功能，突破目前只能短行程自 動聚焦的情形，面板尺寸越大，

翹曲變異量越大，為了能於大面 積範圍有效快速自動聚焦，長行 程自動聚焦功能不可或缺；本技 術利用雷射偵測離焦程度，結合 光點判別程式，達到自動聚焦目 的，可應用於TFT-LCD面板修 補、LED基板切割、觸控面板形 貌檢測等產業。

自動聚焦測試人機介面

聚焦前 聚焦後(聚焦精度3μm)

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飛秒雷射之精微加工技術與創新應用 飛秒雷射之精微加工技術與創新應用

飛秒光學光路設計 原始光斑

精微加工 表面微奈米結構加工 材料內部改質

Flat Top Gaussian Donut

3D-IC

血管支架 軸封

模具射出 面板修補

生醫晶片

•飛秒雷射具超快、超強、超微特 性，如雷射脈衝寬度在飛秒(10-15 秒)等級，材料在此超短脈衝寬度 照射下，透過聚焦方式可於加工 區域產生超強功率密度(peak power density)。

•飛秒雷射加工機制有別於長脈衝 雷射(10-9秒等級)，具極低熱影響 區及非線性多光子吸收(nonlinear multi-photon absorption)特性，

可實現精度為次波長等級之超微 加工能力。

•本飛秒雷射技術可應用在各種材 料微奈米成型、表面及內部局部 改質，並協助設備商開發先進雷 射製程設備技術及應用於高精 密、高附加價值的產品製造上。

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R2R R2R 貼合設備技術 貼合設備技術

捲對捲(R2R)製程應用於以軟性基板 為基礎之相關產品，為低成本量產製 造的終極解決方式，其中異質材料在 進行多層板貼合時，必須有相對應的 貼合製程與R2R相關設備及其控制技 術相互呼應以製造出符合規格需求的 產品。軟性電子產品中，如彩色電子 紙，需要有微米級的精密R2R貼合技 術，目前仍為業界的一項大挑戰。本 技術乃因應此等需求，於本年度完成

±60μm的循邊貼合精度，未來將逐 步完成±10μm以下的目標。

精密複合循邊模組

軟板對位貼合技術驗證平台

動態循邊補償貼合裝置

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軟性電致變色節能膜技術 軟性電致變色節能膜技術

太陽光中主要的熱源來自於長波 長與紅外線區段，本技術團隊成 功製作出大面積軟性電致變色節 能膜(60cm×50cm)，經驗證在著色 態時可有效阻擋80%~95%的熱輻 射，具不錯的節能效果， 不同於 以高成本液晶為材質的智慧窗，

只能遮蔽可見光無法擋住熱源波 長區；且在室內需要採光的條件 下，可以透過低的驅動電壓(±5v) 轉變成透明態，兼具節能與智慧 雙重功能；此技術並結合R2R設備 技術，發展高效率捲對捲連續式 元件封裝技術，可大幅降低元件 成本。

60cm×50cm 軟性薄膜

節

節能能光光譜譜量量測測

變色前變色前 變色後變色後

以-3v的電壓進行驅動，

可使A3軟性電致變色元 件由藍色變成透明態

節能膜實驗

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99 99 年可移轉技術及 年可移轉技術及 100 100 年先期授權技術 年先期授權技術

工研院各項研發技術成果及規劃，歡迎各界以「技術移轉」技轉研發成 果或以「先期授權」方式參與100年計畫研發。

工業技術研究院 南分院 雷射應用科技中心

(Laser Application Technology Center, ITRI South)

聯絡人：廖金二 經理

E-mail：artliao @itri.org.tw

(03) 5918607

推廣服務窗口

可移轉技術

可移轉技術&

&先期授權名稱

1.超快雷射3D結構微成型技術

2.透光物質之雷射自動聚焦模組技術 3.紫外奈秒脈衝光纖雷射技術

4.雷射光罩掃描軟板圖案技術 5.大面積Fθ同軸視覺掃描模組 6.低應力複合阻氣膜製程設備技術 7.R2R貼合設備技術

8.電致變色製程/節能膜技術

9.全光纖式高能皮秒雷射源技術

10.微創醫療器材雷射高值化應用技術

(FY100)

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