在前面幾節我們規劃了訊息劇本做為上層主機與集束型製程設備控制器(CTC) 的共同溝通語言，一個被傳送的訊息裏會包括了訊息編碼(Stream Function)、
資料項目(Data Item)與變數(Variable)，下面用訊息 S6F11 作為範例說明 [3][7]。
【S6F11 訊息格式範本】
S6F11 說明: 訊息編碼(Stream Function) L,3
1.<DATAID> 說明:DATAID為資料項目 2.<CEID> 說明:CEID為資料項目
3.L,a 1.L,2
1.<RPTID1> 說明:RPTID為資料項目 2.L,b
1.<V1> 說明:V1 為變數 b.<Vb> 說明:Vb 為變數
3.5.1. 劇本的資料項目說明
每一個訊息劇本資料項目都不相同，因為任何一個劇本都是為了特定的功能而 設計的，不過雖然項目繁雜但是所有的設備控制器都是參照 SEMI E30 GEM 來設 計的，表格 3-52 列舉說明資料項目的意義，如表格裏未提到的資料項目請參考 SEMI E30 GEM 有詳細說明。
表格 3-52 Data Items Description
Data Item Description occasion
CEID Collect Event ID(事件報告的代碼) S6F11
DATAID Data ID S6F11、S2F33、
S2F35、S2F39 CPNAME Command Parameter Name S2F41
ALID Alarm 的代碼 S5F1
ALCD 表示 Alarm 的狀態 0 = Not used.
1 = Personal safety.
2 = Equipment safety.
3 = Not safety.
S5F1
PROCESS MODULE NAME
模組名稱:
FEMC/TMC/PMC1/PMC2/PMC3/PMC4
S6F11、S6F12
ONLACK ON-LINE Request。Acknowledge Code:
0 = ON-LINE acknowledge.
1 = ON-LINE not allowed.
2 = Equipment is already ON-LINE.
64 = Error occurred on equipment software.
S1F18
OFFLACK OFF-LINE Acknowledge。Acknowledge Code:
0 = OFF-LINE acknowledge.
64 = Error occurred on equipment software.
S1F16
ACKC7A Acknowledgement Character Code：
(電腦回覆字元) 0= Accepted.
1= Checked recipe error.
S2F27
ACKC10 Acknowledge Code, 1 byte.
0 = Accepted.
1 = Message will not be displayed.
S10F2、S10F4、
S10F6
ERRW7 設備檢查上層主機下傳的 RECIPE 時，若有錯誤則用 40Byte 的文字內容描述錯誤訊息。
S2F27
TACK Time Acknowledge Code, 1 byte. Format 10 0 = OK.
1 = Error, not done.
64 = Error occurred on equipment software.
S2F32
MDLN 設備名稱:CTC S1F13、S1F2
SOFTREV 1.0.0 (CTC+SECSii+GEM) S1F13、S1F2 PPGNT Process Program load request acknowledge code,
0 = OK.
1 = Already have.
2 = Invalid PPID.
64 = Error occurred on equipment software.
S7F2
3.5.2. Status Variable List
狀態變數(Status Variables，簡稱 SV)，連續不間斷的製程變數稱之為狀態變 數，表格 3-53 為集束型製程設備的狀態變數清單，表格內 SVID 為變數代碼、
SVNAME 為狀態變數名稱、Format 為資料型別，另外在 Description 欄位說明狀 態變數的意義。
表格 3-53 Status Variables ID(SVID)
SVID SVNAME Format Description 101 Clock 20 05:05:01 ＂，(5 點 5 分 1 秒) 102 Control State 20 目前的控制狀態：
10=OFF-LINEEQUIPMENT OFF-LINE 20=OFF-LINE/ATTEMPT ON-LINE 30=OFF-LINE/HOST OFF-LINE 40=ON-LINE/LOCAL
50=ON-LINE/REMOTE 103 PreviousControlState 20 上一次的控制狀態
10=OFF-LINE/EQUIPMENT OFF-LINE 20=OFF-LINE/ATTEMPT ON-LINE 30=OFF-LINE/HOST OFF-LINE 40=ON-LINE/LOCAL 1=IN ACTIVE 2=INITIALIZING 3=IDLE
4=READY 5=EXECUTING 107 PreviousEquipmentState 20 上一次設備的狀態
編碼方式同 EquipmentState 規則 108 ProcessPrJobList 20 提供目前正在執行的 JOB 狀態清單
109 FEMState 20 前端模組的狀態, 0=Undefined
1=LOCATION DISABLE 2=LOCATION EMPTY 3=LOCATION READY 4=LOCATION PROCESSING 110 TMState 20 傳輸模組的狀態,
編碼方式同 SV 的 FEMCState 規則 111 PM1State 20 製程模組的狀態,
編碼方式同 SV 的 FEMCState 規則 112 PM2State 20 製程模組的狀態,
編碼方式同 SV 的 FEMCState 規則 113 PM3State 20 製程模組的狀態,
編碼方式同 SV 的 FEMCState 規則 114 PM4State 20 製程模組的狀態,
編碼方式同 SV 的 FEMCState 規則 115 FEMAirSpeed 20 FEM 風速計讀值
116 TMCAirSpeed 20 FEM 風速計讀值 117 PM1ProcessTemp 20 EX:350 (溫度是 350°C) 118 PM2ProcessTemp 20 EX:350 (溫度是 350°C) 119 PM3ProcessTemp 20 EX:350 (溫度是 350°C) 120 PM4ProcessTemp 20 EX:350 (溫度是 350°C) 121 OperatorName 20 目前使用設備的操作員姓名 122 OperatorLevel 20 目前使用設備的操作員等級
0=作業員 1=製程工程師 2=設備工程師 3=原廠技師
3.5.3. Equipment Constants List
設備常數（Equipment Constants，簡稱 EC），設備出廠時既有的設定值稱之 為設備常數，如果設備硬體或軟體版本不被修改的情形下設備常數的值是不應該 被改變。表格 3-54 為集束型製程設備的設備常數清單，表格內 ECID 為設備常數 代碼、ECNAME 為設備常數名稱、Format 為資料型別，另外在 Description 欄位 說明設備常數的意義。
表格 3-54 Equipment Constants ID (ECID)
ECID ECNAME Format Description
201 SoftVersion 20 CTC01.001 (CTC 版本+SECS 版本) 202 EquipmentConfigurationList 20 提供設備的硬體架構資料
EX:FEMC TMC PMC1 PMC2 PMC3 PMC4 203 TimeFormat 20 ＂17:05＂30:30＂ (“時:分:秒:毫
秒＂)
3.5.4. Data Variable List
事件變數(Data Variables，簡稱 DV)，因事件而產生變數稱之為事件變數，表 格 3-55 為集束型製程設備的事件變數清單，表格內 DVID 為事件變數代碼、DVNAME 為事件變數名稱、Format 為資料型別，另外在 Description 欄位說明事件變數 的意義。
表格 3-55 Data Variable ID (DVID)
DVID DVNAME Format Description 301 AlarmID 20 Alarm 的代碼
302 PPChangeName 20 當 Process Program(PPID)被修改時,會 產生一個事件報告,這個事件報告畢必 須下掛 PPChangeName 的名稱
303 PPChangeStatus 20 Process Program(PPID)被改變的狀態 1 = Created
2 = Edited 3 = Deleted 4 = Name changed
304 PPRenamedName 20 Process Program 的新名稱 305 EventLimit 20 L,n
1.<LIMITID1>
:
n.<LIMITIDn>
306 LimitVariable 20 SVID that triggered zone transition by limit
monitoring function.
307 EventPrJobID 20 執行製程配方工作時的任務名稱 Job ID(Lot ID).
308 EventPrJobState 20 執行製程配方工作時的任務狀態 0=PROCESS JOB CREATED
1=PROCESS JOB SETUP 2=PROCESS JOB PROCESSING 3=PROCESS JOB STOPPING 4=PROCESS JOB ABORTING 309 EventPrJobTime 20 同 SVID:CLOCK.
310 PPID 20 製程配方的名稱 Process Program ID.
長度限制 20 Byet 311 EventName 20 事件報告名稱
第4章 軟體架構設計
本章將用 Design Patterns 與 UML 來設計集束型製程設備與上層主機通訊介面 軟體，Design Patterns 讓應用程式更容易重複利用、並有擴充功能。UML 讓程 式的架構系統化[5][11][12]。