集束型製程設備與上層主機通訊介面軟體包括 SECS II 通訊模組、GEM 通訊模 組、Control State 操作畫面、Communication 操作畫面、On Line Log 操作畫 面、SVID Link 操作畫面、Terminal 操作畫面，本章節將說明畫面操作方法。
5.1.1. 連線狀態操作說明
圖 5-1 連線狀態操作畫面用於顯示上層主機與設備之間的連線狀態，當上 HSMS 連線完成以後，狀態圖會停留在 WAIT CR FROM HOST 狀態，待設備收到層主機送 出 S1F13 訊息後狀態圖會遷移到 COMMUNICATION 狀態。訊息劇本在第 3 章集束型 製程設備與上層主機通訊介面規劃中有詳細說明請參考之。
圖 5-1 連線狀態操作畫面
表格 5-1 連線狀態軟體畫面按鍵說明
按鍵名稱 操作說明
Enable 進入等待連線的狀態，等待上層主機下傳 S1F13 訊息
Disable 跳出等待連線的狀態，中斷上層主機和設備之間的通訊
5.1.2. 控制狀態操作說明
圖 5-2 控制狀態操作畫面用於顯示上層主機與設備之間的設備控制權限，視窗 是依照 SEMI E30 GEM 所規範而設計，控制狀態圖的遷移由上層主機傳送訊息使 狀態圖遷移，或是用手動操作的方式強制改變狀態。
圖 5-2 控制狀態操作畫面
表格 5-2 說明手動操作方法，操作時先按下 Control State 按鍵後會出現手 動選項。用手動操作按鍵可以使狀態圖遷移，但是狀態的遷移會讓上層主機無法 遠端控制設備量產或是中斷上層主機對設備的控制權。訊息劇本在第 3 章(集束 型製程設備與上層主機通訊介面規劃)中有詳細說明請參考之。
表格 5-2 控制狀態軟體畫面按鍵說明
按鍵名稱 操作說明
OnLineLocal 進入 ON-LINE LOCAL 的狀態。
OnLineRemote 進入 ON-LINE REMOTE 的狀態。
Equip.offLine 進入 EQUIPMENT OFF-LINE 的狀態。
Host.offLine 進入 HOST OFF-LINE 的狀態。
5.1.3. On Line Log 操作說明
圖 5-3 On Line Log 操作畫面用於紀錄上層主機與設備之間訊息傳遞內容，訊 息內容的紀錄有助於了解目前通訊的狀況，當有問題時可以經由紀錄找出問題所 在。
圖 5-3 On Line Log 操作畫面
畫面操作時先選取 On Line Log 按鍵後就可以看到訊息紀錄，只要有訊息出現 無論是接收到上層主機訊息或是設備送出訊息，都會即時的被紀錄下來。表格 5-3 說明每個欄位的意義。
表格 5-3 On Line Log 欄位說明
欄位名稱 欄位說明
Time 送出訊息的時間或接收到訊息的時間
From 訊息的發送者與接收者，『CTC>HOST』代表 CTC 送訊息 給上層主機
Message 訊息格式
Descripton 訊息內容
5.1.4. SVID Link 操作畫面
當一個事件發生時會產生事件代碼(CEID)，而事件報告上傳上層主機會連結資 料群組代碼(RPTID)與變數代碼(Variable ID)。圖 5-4 SVID Link 操作畫面用於 CEID、RPTID、SVID 之間的連結手動設定。這個操作畫面提供設備使用者修改設 定，修改後不影響通訊也不需要重新開啟軟體。
圖 5-4 SVID Link 操作畫面
表格 5-4 說明 CEID、RPTID、SVID 之間的連結手動操作方法，操作時先按下 SVID Link 按鍵後會出現手動選項。在軟體裏有對每個事件報告的連做好初始的 設定，在第 3 章 集束型製程設備與上層主機通訊介面規劃 中有詳細說明請參考 之。
表格 5-4 控制狀態軟體畫面按鍵說明
按鍵名稱 操作說明
Transfer (CEID) 設定 CEID 與 RPTID 的連結 Clean Setting (CEID) 清除 CEID 與 RPTID 的連結 Transfer 設定 RPTID 與 SVID 的連結 Clean Setting 清除 RPTID 與 SVID 的連結
5.1.5. Terminal Service 操作畫面說明
圖 5-5 Terminal Service 操作畫面用於紀錄上層主機與設備之間的終端服務 訊息，上層主機的使用者可以下達訊息給設備操作者。
圖 5-5 Terminal Service 操作畫面
畫面操作時先選取 Terminal Service 按鍵後就可以看到訊息紀錄，只要有訊 息出現無論是接收到上層主機訊息或是設備送出訊息，都會即時的被紀錄下來。
表格 5-5 說明每個欄位的意義。
表格 5-5 Terminal Service 欄位說明
欄位名稱 欄位說明
Time 送出訊息的時間或接收到訊息的時間
From 訊息的發送者與接收者，『HOST > CTC』代表上層主機 送訊息給 CTC
ID 訊息編號
MESSAGE 訊息內容