資料收集的劇本

上層主機可以藉由資料收集(Data Collection)的劇本來擷取設備狀態與製程 參數，上層主機收到資料後可以製作成各種統計圖表來進行分析，在未來發展 APC(Advanced Process Control)這是一個重要的劇本單元。

3.3.2.1. 事件報告收集(Event Data Collection)

當設備有事件發生時，設備會送出事件報告給上層主機，而事件報告的傳送使 用訊息 S6F11 來通知上層主機，每個事件報告上傳時都會連結一些資料送給上層 主機，表格 3-6 為事件報告傳送的劇本。

表格 3-6 Event Report from Equipment

Comment Host Equipment Comment

← S6F11

當事件發生時,設備送出事件 報告給Host.

上層主機回覆訊息已收到 S6F12 →

由於每個事件報告都有特定的編號(CEID)，所以上層主機可以要求設備上傳特 定事件報告所連結的資料內容，只要使用訊息 S6F15 指定所需的 CEID 後傳送給 設備，待設備回傳訊息 S6F16 即可得到所需的資料，表格 3-7 為取得事件報告資 料的劇本。

表格 3-7 Host Requests Event Report

Comment Host Equipment Comment Host 要求上傳CEID所連結的

資料現況

S6F15 →

← S6F16 上傳CEID所連結的資料

每個事件報告都有資料連結的預設值，但是為了滿足製程分析的需要。所以這 個預設值是可以被任意改變的，表格 3-8 提供了修改事件報告的預設值的劇 本，藉由這個劇本上層主機可以任意修改事件報告與資料連結預設值，執行完這 個劇本以後，設備控制器不需要重新開機即可完成新資料連結。

表格 3-8 Event Reporting Setup

Comment Host Equipment Comment 設定RPTID與VID之間的連結 S2F33 →

← S2F34 回覆設定結果 設定CEID與RPTID之間的連結 S2F35 →

← S2F36 回覆設定結果 設定事件發生時是否要上傳 S2F37 →

← S2F38 回覆設定結果

3.3.2.2. 變數資料收集(Variable Data Collection）

在半導體設備裏的製程變數可分為有三種，分別為狀態變數(SV)、設備常數 (EC)、事件變數(DV)下面詳細說明之：

（1） 狀態變數(Status Variables，簡稱 SV)：

連續不間斷的製程變數稱之為狀態變數，例如濕度、風速、排氣、熱板溫度、

時間等等，集束型製程設備的狀態變數編號(SVID)在 3.5.2 一節有表列說明。

（2） 設備常數（Equipment Constants，簡稱 EC）

當設備出廠時既有的設定值稱之為設備常數，當設備硬體或軟體版本不被修改 的情形下設備常數的值是不應該被改變，例如軟體版本、設備硬體模組編號等 等，集束型製程設備的設備常數編號(ECID)在 3.5.3 一節有表列說明。

（3） 事件變數(Data Variables，簡稱 DV)：

因事件而產生變數稱之為事件變數，但如果沒有事件的發生這個變數就應該不 存在，例如當模組製程模組開始時間、模組收到晶圓的時間等等，集束型製程設 備的事件變數編號(DVID)在 3.5.4 一節有表列說明。

每個筆資料變數都可以重複被群組歸類，而我們以報告編號(RPTID)作為分每 個群組的名稱。所以上層主機可以要求設備上傳特定變數群組所連結的變數內 容，只要使用訊息 S6F19 並指定所需的 RPTID 後傳送給設備，設備會回傳訊息 S6F20 給上層主機，表格 3-9 為取得變數群組劇本。

表格 3-9 Host Requests a Report

Comment Host Equipment Comment Host 要求上傳 RPTID 所連結的

資料數據

S6F19 →

← S6F20 上傳 RPTID 所連結的 SV 值

變數的種類為 SV、EC、DV 三種，每個變數名稱都被賦予一個編碼，所以上層 主機可以指定變數編號(SVID、ECID、DVID)向設備詢問變數目前的數值。如果要 取得狀態變數(Status Variable，簡稱 SV)內容時只要使用訊息 S1F3 傳送給設 備，設備會回傳訊息 S1F4 給上層主機並附帶狀態變數內容，表格 3-10 為取得狀 態變數內容的劇本。

表格 3-10 Host Requests Current Status Variable Value

Comment Host Equipment Comment 上層主機要狀態變數(SV)資料 S1F3 →

← S1F4 設備上傳狀態變數(SV)資料

每個狀態變數都有一個名稱，上層主機可以使用訊息 S1F11 來要求設備上傳所 有狀態變數的名稱與變數編號，設備會回傳訊息 S1F12 給上層主機並附上所有狀 態變數名稱與變數編號，表格 3-11 為取得狀態變數清單的劇本。

表格 3-11 Host Requests Status Variable Name list

Comment Host Equipment Comment 上層主機要求狀態變數(SV)名

稱清單

S1F11 →

← S1F12 設備上傳狀態變數(SV)清單

變數的種類為 SV、EC、DV 三種，每個變數名稱都被賦予一個編碼，所以上層 主機可以指定變數編號(SVID、ECID、DVID)向設備詢問變數目前的數值。如果要 取得設備常設常數(Equipment Constant ，簡稱 EC)內容時只要使用訊息 S2F13 傳送給設備，設備會回傳訊息 S2F14 給上層主機並附帶設備常數內容，表格 3-12 為取得設備常數內容的劇本。

表格 3-12 Host Requests Equipment Current Constant Values

Comment Host Equipment Comment 上層主機需要設備常數資料 S2F13 →

← S2F14 設備上傳設備常數資料

每個設備常數都有一個名稱，上層主機可以使用訊息 S2F29 來要求設備上傳所 有設備常數的名稱與變數編號，設備會回傳訊息 S2F30 給上層主機並附上所有設 備常數名稱與變數編號，表格 3-13 為取得設備常數清單的劇本。

表格 3-13 Host Requests Equipment Constant Name list

Comment Host Equipment Comment 上層主機需要設備常數名稱 S2F29 →

← S2F30 設備上傳設備常數名稱清單

3.3.2.3. 追蹤資料收集（Trace Data Collection）

為了讓上層主機長時間取得製程資料，設備提供了追蹤資料收集的劇本，上層 主機先用訊息 S2F23 來規定設備上傳製程資料的頻率與次數，然後設備會固定監 控頻率用訊息 S6F1 附帶製程資料給上層主機，訊息 S6F1 的傳送次數設備會依照 上層主機規定來完成，當最後一筆製程資料上傳以後會產生一個事件報告，這個 事件報告會用訊息 S6F11 上傳給上層主機。表格 3-14 為追蹤資料收集的劇本，

另外在章節 6.2.4 有追蹤資料劇本的驗證與說明請參考之。

表格 3-14 Trace Data Collection

Comment Host Equipment Comment 上層主機要求設備送出Trace

Report

S2F23 →

← S2F24 回覆訊息已收到

← S6F1 上傳{SV...SV}

回覆訊息已收到Trace Report S6F2 →

← S6F11 送出Trace Report結束事件

回覆訊息已收到 S6F12 →

3.3.2.4. 製程變數區間監控（Limits Monitoring）

上層主機可以利用追蹤報告的劇本來監控製程變數(指狀態變數，SV)，但如果 這個製程變數只要做區間監控時，我門可以使用本章節的劇本來完成任務。將製 程變數監控的工作交給設備控制器，圖 3-4 Limits Monitoring 關係圖說明設備 控制器對製程變數的做區間監控，如果變數超過監控區間的上限(UPPERDB)或下 限(LOWERDB)值時，設備會用訊息 S6F11 送出事件報告給上層主機。如果上層主 機必須同時與三十台設備進行溝通時，這類劇本的優點大大降低網路流量，追蹤 報告的劇本可能會造成網路過載。

圖 3-4 Limits Monitoring 關係圖

上層主機要求設備監控製程變數區間範圍時，上層主機會利用訊息 S2F45 來定 義製程變數區間範圍，當設備完成新的設定值以後會利用訊息 S2F46 來通知上層 主機。表格 3-15 為上層主機定義製程變數區間範圍的劇本。

表格 3-15 Host Defines Limit Attributes

Comment Host Equipment Comment 定義SV的監控區間範圍 S2F45 →

← S2F46

更新SV的監控區間範圍後回覆 訊息

上層主機在使用訊息 S2F45 來定義製程變數區間範圍前，可以用訊息劇本 S2F47 取得製程變數監控的區間範圍，表格 3-16 為上層主機取得製程變數監控 的區間範圍的劇本。

表格 3-16 Host Queries Equipment for Current Limits.

Comment Host Equipment Comment 上層主機要求設備上傳SV的監

控範圍

S2F47 →

← S2F48 上傳SV的監控範圍

當製程變數超過監控區間的上限(UPPERDB)或下限(LOWERDB)值時，設備會用訊 息 S6F11 送出事件報告給上層主機，上層主機的使用者可以馬上通知相關人員前 往處理，以免造成晶圓的損失。

表格 3-17 Limit Zone Transition Event from Equipment

Comment Host Equipment Comment

← S6F11 當SV超過監控的上下限時

上層主機回覆訊息已收到 S6F12 →

3.3.2.5. 連線狀態確認(ON-LINE Identification)

由於上層主機與設備長時間進行訊息的交換，有時候乙太網路會發生異常或是 訊息資料流失，這時候上層主機可以利用訊息 S1F1 來測試彼此之間的連線是否 正常，只要上層主機可以完整的接收設備回覆的訊息 S1F2，那麼訊息測試結果 就算正常。 表格 3-18 為上層主機與設備測試連線的劇本。

表格 3-18 Host Initiated

Comment Host Equipment Comment 測試連線狀態是否正常 S1F1 →

← S1F2 設備回覆上層主機訊息