狀態關係圖是用來表示設備與上層主機之間的通訊狀態，在半導體標準 SEMI E30 GEM 裏規定了兩個狀態圖，一個是連線狀態圖另一個是控制狀態圖。連線狀 態圖是用於設備與上層主機的建立連線時的規則。控制狀態圖是用於遠端控制的 權限管理，由控制狀態圖上我們得知設備的控制權是被上層主機所管理還是被設 備操作者所使用。下面章節說將說明這兩個狀態圖的意義[3]。
3.2.1. 連線狀態圖說明
圖 3-2 Communication State Model 為連線狀態圖，圖上的箭頭方線代表的 是狀態遷移的動向，藉由訊息 S1F13 與訊息 S1F14 傳遞可以建立彼此間連線。建 立連線可以由設備操作者手動操作使設備送出訊息 S1F13 要求上層主機建立連 線，等上層主機回覆訊息 S1F14 時代表建立連線成功。 而上層主機也可以主動 去送出訊息 S1F13 給設備要求建立連線。
圖 3-2 Communication State Model
每個連線狀態圖的位置停留都有特定的意義，表格 3-1 說明連線狀態位置的定 義與動作描述。
表格 3-1 連線狀態位置的說明
狀態名稱 動作描述
DISABLED 設備與 HOST 中斷通信。
ENABLED 設備與 HOST 建立通信。
NOT COMMUNICATING 等待通訊建立(S1F13/S1F14)。
EQUIPMENT -INITIATED CONNECT 由設備主動去建立通信。
WAIT CRA 送出 S1F13 去 HOST，等待 S1F14。
WAIT DELAY 監控等待 S1F14 的時間間隔。
HOST-INITIATED CONNECT 由 HOST 主動去建立通信。
WAIT CR FROM HOST 送出 S1F13 去設備，等待 S1F14。
WAIT TX COMPLETE 監控等待 S1F14 的時間間隔。
COMMUNICATING 連線狀態已被建立。
我們將狀態遷移的箭頭編上號碼，並在表格 3-2 說明連線狀態圖的狀態遷移的 觸發原因，圖上的編號 1 到 14 為狀態遷移的編號。
表格 3-2 連線狀態圖的狀態遷移說明
狀態遷移編號 狀態觸發原因 訊息傳遞
1 設備開機時做 Initialize 無
2 手動操作讓連線狀態變成 Enable 無
3 手動操作讓連線狀態變成 Disable 無 4 進入 NOT COMMUNICATION 後等待 HOST 或等待設備主動
去建立連線
無
5 設備主動要求與上層主機連線的訊息 設備上傳 S1F13 到 HOST 6 等待 HOST 回覆 S1F14 訊息 無
7 HOST 已回覆 S1F14 並拒絕建立連線 無
8 收到上層主機要求連線的訊息 HOST 下傳 S1F13 到設備 9 HOST 已回覆 S1F14 並同意建立連線 HOST 下傳 S1F14 到設備 10 HOST 主動要求與設備連線的訊息 HOST 下傳 S1F13 到設備 11 設備同意建立連線回覆 S1F14 訊息 設備上傳 S1F14 到 HOST 12 S1F14 傳送失敗，等待下一次的 S1F13 無
13 S1F14 傳送成功，連線建立 無
14 連線中斷 無
3.2.2. 控制狀態圖說明
控制狀態圖(Control State Model)的位置影響於遠端控制的功能，在控制狀 態圖上的位置主要可分為 OFF-LINE 與 ON-LINE 兩個區塊，只有在 ON-LINE 區塊 時上層主機才可以對設備進行遠端控制，圖 3-3 說明控制狀態圖每個位置的定 義。遠端控制的限制在 3.3.4 一節有詳細說明請參考之。
圖 3-3 控制狀態圖
每個控制狀態圖的位置停留都有特定的意義，表格 3-3 說明控制狀態位置的 意義與動作描述。
表格 3-3 控制狀態圖的位置說明
STATE NAME 狀態
OFFLINE 通信已建立成功，等待被手動切狀態。
EQUIPMENT OFFLINE 設備的原始設定是 OFFLINE，等待被切換成 ONLINE/OFFLINE。
HOST OFFLINE HOST 藉由 S1F17 來切換成 OFFLINE。
ATTEMPT ONLINE 嘗試切換成 ONLINE，若失敗會變成 OFFLINE。
ONLINE 可以進行 SECS 的訊息交換。
LOCAL 可以手動操作設備，上層主機遠端控制功能會受到限制
部分限制。
REMOTE 由上層主機來控制設備，手動操作的部分功能會受到限
制。
我們將狀態遷移的箭頭編上號碼，並在表格 3-4 說明控制狀態圖的狀態遷移 的觸發原因，圖上的編號 1 到 12 為狀態遷移的編號，如果狀態位置改變時會產 生一個事件，設備必須用訊息 S6F11 傳送事件報告給上層主機。
表格 3-4 控制狀態圖的狀態遷移說明
狀態遷移編號 狀態觸發原因 訊息傳遞
1 設備開機時做 Initialize 無
2 開機後進入 OFF-LINE 狀態 無
3 手動選擇 ON-LINE 的按鈕使狀態變成 ON-LINE 設備上傳 S1F1 4 S1F1 上傳失敗或 S1F2 接收失敗，狀態變成 EQUIP.
OFF-LINE 或 HOST OFF-LINE(依照設備設定值)。
設備上傳 S6F11
5 HOST 已回覆 S1F2 並同意進入 ON-LINE 狀態 設備上傳 S6F11 6 手動選擇 OFF-LINE 的按鈕使狀態變成 OFF-LINE 設備上傳 S6F11
7 開機後進入 ON-LINE 狀態 無
8 手動選擇將 REMOTE 開關使狀態變成 REMOTE 設備上傳 S6F11 9 手動選擇將 LOCAL 開關使狀態變成 LOCAL 設備上傳 S6F11
10 HOST 主動要求狀態變成 OFF-LINE HOST 下傳 S1F15 到設備 11 HOST 主動要求狀態變成 ON-LINE HOST 下傳 S1F17 到設備 12 手動選擇 OFF-LINE 的按鈕使狀態變成 OFF-LINE 設備上傳 S6F11