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製程配方管理的劇本成果驗證

6.2. 軟體驗證結果

6.2.5. 製程配方管理的劇本成果驗證

02:35:48.064: Receive S6F11(9262646).

S6F11 W 說明:當追蹤報告結束後,CTC上傳訊息S6F11給HOST

02:35:48.105: Send S6F12(9262646).

S6F12 說明:HOST收到事件報告以後回覆訊息S6F12給CTC

<B[1] 0x0C>

6.2.5. 製程配方管理的劇本成果驗證

上層主機(HOST)對集束型製程控制器(CTC)的製程配方管理的劇本有四個,分 別為新增製程配方、上傳製程配方清單、上傳製程配方、刪除製程配方四個劇本,

後面章節為四個劇本的驗證。

6.2.5.1. HOST 新增製程配方到 CTC

HOST 傳送訊息 S7F1 給 CTC,詢問現在是否可以下傳製程配方 "recipe01",CTC 會檢資料庫裏目前是否有相同的製程配方名稱並回覆訊息 S7F2 給 HOST 告知結 果。 接下來 HOST 會用訊息 S7F23 來傳送製程配方給 CTC,待 CTC 接收新的製程

配方後回覆訊息 S7F24 給 HOST。 最後 CTC 會檢查剛剛下傳的製程配是否格式正 確, 檢查結果出來以後 CTC 會送出訊息 S7F27 給 HOST,告知 HOST 製程配方檢 查結果,HOST 會回覆訊息 S7F28 給 CTC。

【測試紀錄/SML 語法】

04:54:25.398: Send S7F1(17552199).

S7F1 W 說明:HOST送出S7F1給CTC,詢問CTC是現在是否可以下傳製程配方

<L[2]

<A[8] "recipe01"> 說明:要下傳的製程配方名稱為"recipe01"

<I4[1] 23>

>

.

04:54:25.588: Receive S7F2(17552199).

S7F2 說明:CTC回覆訊息S7F2給HOST告知不接受製程配方下傳

<B[1] 0x01> 說明:參數為0x01代表發現相同名稱的製程配方 .

04:55:00.624: Send S7F1(17827485).

S7F1 W 說明:HOST送出S7F1給CTC,詢問CTC是現在是否可以下傳製程配方

<L[2]

<A[8] "recipe05"> 說明:要下傳的製程配方名稱為"recipe05"

<I4[1] 23> 說明:製程配方長度為23個byte

>

.

04:55:00.764: Receive S7F2(17827485).

S7F2 說明:CTC回覆訊息S7F2給HOST告知接受製程配方下傳

<B[1] 0x00> 說明:參數為0x00代表接受製程配方下傳 .

04:55:14.996: Send S7F23(17552203).

S7F23 W 說明:HOST傳送訊息S7F23給CTC開始下傳製程配方

<L[4]

<A[8] "recipe05"> 說明:新的製程配方名稱 <A[3] "CTC"> 說明:設備名稱

<A[8] "CTC1.0.0"> 說明:製程配方所適用的軟體版本 <L[1]

<L[2]

<I2[1] 1> 說明:製程配方格式(1代表RTP專用格式)

04:55:15.206: Receive S7F24(17552203).

S7F24 說明: CTC接收新的製程配方後回覆訊息S7F24給HOST

<B[1] 0x00> 說明: 參數為0x00代表接收新的製程配方順利完成 .

04:55:15.226: Receive S7F27(17552204).

S7F27 W 說明:CTC送出訊息S7F27給HOST告知製程配檢查結果

<L[2]

<A[8] "recipe05">

<L[1]

04:55:15.266: Send S7F28(17552204).

S7F28 說明: HOST回覆訊息S7F28給CTC .

04:55:15.276: Receive S6F11(17552205).

S6F11 W 說明:當製程配方被新增後,CTC上傳訊息S6F11給HOST

<A[7] "RPTID 1">

04:55:15.356: Send S6F12(17552205).

S6F12 說明:HOST收到事件報告以後回覆訊息S6F12給CTC

<B[1] 0x0C>

.

04:56:21.146: Send S7F19(24208696).

S7F19 W 說明: HOST傳送訊息S7F19給CTC,要求CTC上傳製程配方清單 .

04:56:21.296: Receive S7F20(24208696).

S7F20 說明:CTC用訊息S7F20來傳送製程配方清單給HOST

6.2.5.3. HOST 要求 CTC 上傳製程配方

HOST 傳送訊息 S7F25 給 CTC,要求 CTC 上傳製程配方 "recipe05",也利用這 個訊息來驗證剛剛新增的製程配方"recipe05"看看格式是否和先前一樣, 這時 候 CTC 會用訊息 S7F26 來傳送製程配方的內容給 HOST。

【測試紀錄/SML 語法】

04:58:49.088: Send S7F25(24208702).

S7F25 W 說明: HOST傳送訊息S7F25給CTC,要求CTC上傳製程配方

<A[8] "recipe05">

.

04:58:49.269: Receive S7F26(24208702).

S7F26 說明:CTC用訊息S7F26來傳送製程配方給HOST

<L[4]

<A[8] "recipe05"> 說明:製程配方名稱 <A[3] "CTC"> 說明:設備名稱

<A[8] "CTC1.0.0"> 說明:製程配方所適用的軟體版本 <L[1]

<L[2]

<I2[1] 0>

<L[4]

<A[2] "50"> 說明:製程配方內容,PMC1溫度 <A[2] "60"> 說明:製程配方內容,PMC2溫度 <A[2] "70"> 說明:製程配方內容,PMC3溫度 <A[2] "80"> 說明:製程配方內容,PMC4溫度 >

>

>

>

.

6.2.5.4. HOST 要求 CTC 刪除製程配方

HOST 傳送訊息 S7F17 給 CTC,要求 CTC 刪除製程配方 "recipe05",CTC 刪除 製程配方以後會傳送訊息 S7F18 給 HOST。 為了驗證任務是否被 CTC 執行,所以 我們再利用訊息 S7F19 要求 CTC 上傳製程配方清單來驗證。

【測試紀錄/SML 語法】

05:05:01.303: Send S7F17(24988934).

S7F17 W 說明: HOST傳送訊息S7F17給CTC,要求CTC刪除製程配方

<L[1]

<A[8] "recipe05">

>

.

05:05:01.434: Receive S7F18(24988934).

S7F18 說明:CTC傳送訊息S7F18給HOST,告知製程配方已被刪除

<B[1] 0x00>

.

05:05:01.454: Receive S6F11(24988935).

S6F11 W 說明:當製程配方被新增後,CTC上傳訊息S6F11給HOST

<L[3]

>

>

>

.

05:05:01.504: Send S6F12(24988935).

S6F12 說明:HOST收到事件報告以後回覆訊息S6F12給CTC

<B[1] 0x0C>

.

05:05:21.973: Send S7F19(24988935).

S7F19 W 說明:HOST傳送訊息S7F19給CTC,要求CTC上傳製程配方清單 .

05:05:22.093: Receive S7F20(24988935).

S7F20 說明:CTC用訊息S7F20來傳送製程配方清單給HOST

<L[2]

<A[8] "recipe01"> 說明: 製程配方"recipe05"已不見了,CTC任務執行成功 <A[8] "recipe02">

>

.

第7章 結果討論與未來展望