半導體廠安全變更管理案例說明

1.問題描述：

某半導體廠電化學電鍍製程設備機台之排氣風管(Exhaust)因產能需 求，需安裝新的電化學電鍍製程設備生產機台，但因預設置機台位置既有 電化學電鍍製程機台之排氣風管重疊，為使無塵室 layout 發揮最大使用 率，故需要將既有電化學電鍍製程設備機台之排氣風管進行移位，但在施 工階段卻觸發機台所裝設之氣體偵測器作動到並且驅動自動語音疏散廣 播系統，造成無塵室操作人員及施工廠商進行疏散而導致生產中斷。

2.改善對策：

疏散事件發生後，案例廠內部召開會議進行檢討，發現此排氣風管拆 除工程內容符合案例廠所推行之安全變更管理程序中之”管路變更”項 目：加壓或腐蝕性、毒性、易燃/可燃性、氧化性的化學品管路及 Exhaust 及Drain管路之變更，故要求機台負責單位提出安全變更申請，並且使用 業界較常使用之”查核表”作為安全變更管理評估確認方法，以下為此工程 執行安全變更管理程序，申請安全變更評估，表 8 為ECP機台風管改置安 全變更管理分析範例說明。

表 8、ECP 機台風管改置安全變更管理申請表 安全變更前查核表

發起者姓名:徐** 日期: 97 年 1 月 變更名稱:ECP 機台之 SEX(排氣風管)更改位置工程

變更位置: Fab 3F ECP 區 預計執行日期：97 年 2 月 變更目的：

原排氣風管管路路徑擋住新機台之設置位置，需移動廠務 SEX 排氣風管 管路，以利新機台裝機。

變更前內容：(如屬線路或管路的變更請詳細繪出修改前之線路或管路 圖，如篇幅不足，請附圖於後)

廠務端 SEX 排氣風管二次配管路在機台左後方由高架地板延伸上 Fab 3F。

To sub Fab

變更後內容：(如屬線路或管路的變更請詳細繪出修改後之線路或管路 圖，如篇幅不足，請附圖於後)

變更為廠務端 SEX 排氣風管二次配管路在機台右後方由高架地板延伸上 Fab 3F。

使用下列查核表找出和本項變更有關之安全衛生及環保風險。

查 核 項 目 回 答 A.使用新製程化學品

1 是否使用新的製程化學品(含液態、氣態及固態化學品)或改變 濃度/純度?(如果是，請列出新的化學品名，並指出它的濃度/

純度)，及附上物質安全資料表.)

化學品： 濃度/純度：

是 否V

2 新的化學品物質是否為易燃物、爆炸性、毒性、致癌性、刺 激性、具分解能力、氧化劑?

是 否 V

3 管路和設備組件的材質是否與化學品的濃度，操作條件不相 容?(如最大的使用壓力、濃度、溫度)

是 否 V

4 此項變更是否會影響目前的氣體偵測和警報系統的有效 性?(例如目前的偵測系統偵測不到或不適用)

是 否 V

5 此項變更所產生新的廢棄物(廢液、廢氣、垃圾)，不適用目前 的廢棄物處理系統?

是 否 V

6 是否已申請 New Chemical Review 的程序? 是 否 V B.化學品管路之變更

1 此變更管路或組件，是否使用於加壓或腐蝕性、毒性、易燃/

可燃性、氧化性的化學品?

是 否 V

2 是否須變更風管(Exhaust Duct)材質、管俓、及插接風管(若風 管屬可燃性材質且直徑大於 10 吋時內部應加 sprinkler)?

是 V 否

3 是否會增加逆流或交互污染的風險? 是 否 V 4 是否須變更 Drain 管材質、管徑及與其他 Drain 管插接? 是 否 V C.有增加火災、爆炸風險或影響防火、氣體偵測系統功能之變更

1 此項變更是否於防爆區域執行電器設備之變更? 是 否 V 2 是否對於加熱可燃/易燃性物質作溫度增加之變更? 是 否 V 3 是否為新設置區域內放置易燃性化學物質或氣體? 是 否 V 4 是否為防火區劃(牆、門)之變更?例如牆、門之防火等級減少

及位置移動、開口變更?

是 否 V

5 是否須要增加、移動或永久移除消防設施(如撒水頭、偵煙 器、滅火器、二氧化碳系統或防火門)?

是 否 V

6 是否須變更氣體偵測系統功能? 是 否 V

D.修改硬體設施零組件會造成原始設計變更時

1 此項變更是否會導致電路過載造成人員受傷? 是 否 V

2 此項變更是否顯著增加使操作人員暴露於電氣危害中的機

interlock 等)或是使其 By-pass?

是 否 V 插接至另一 Exhaust Duct，因機台運作需持續有排氣，若管路拆除 時未先進行機台停機，將於施工時造成機台不正常停機。

 危害控制或改善：為避免機台在進行盲封拆除時因排氣抽風量不 足，而發出 alarm 警示甚至造成機台當機，故施工時盡量配合機台 停機進行維修保養時同步進行。

ECP 機台風管改置安全變更案例，藉由”安全變更前查核表”檢核時發 現此工程符合 B-2 項[是否須變更風管(Exhaust Duct)材質、管俓、及插接 風管(若風管屬可燃性材質且直徑大於 10 吋時內部應加 sprinkler)]檢點項 目，故是有可能在此施工步驟發生潛在風險，因為施工安全故藉由工作安 全分析(Job Safety Analysis, JSA)方式針對風管插接作業進行關鍵性作業 步驟分析，其可能發生之風險及其預防發生之防護措施。

廠務排氣風管移位工程之工作安全分析如表 9 所示：

表 9、廠務排氣風管移位工作安全分析表 作業名稱：ECP 機台之 FAC Exhaust relocation

項次 作業程序 危害說明 後果影響 現有防護措施

2 現 場 管 路