風險評估方法介紹

透過適當之危害鑑別及風險評估技術，鑑別變更後之潛在危害，

並將變更工程之風險等級進行判定，風險評估技術及風險等級判定方 式有很多種類，以下分別就較常且易於使用之方法進行說明：

1.危害鑑別及風險評估技術說明：

(1)檢核表(Check List)：

檢核表是最常使用於工業界進行檢查作業場所之危害工具，

主要之執行方式為事前列出危害評估之查核項目以結構化之檢查 項目或是藉由制式之問卷進行回答方式填寫，提供現場檢查人員逐 條進行檢查並紀錄，使用範圍非常廣泛且分析方法箱當簡易的一種 危害鑑別方式，但使用上容易會因填寫人之經驗及專業程度影響鑑 別之正確性，雖然如此檢核表仍是半導體廠最常使用之方法。

(2)如果…會怎樣?(What-if 腦力激盪法)：

What-if 是一種利用小組成員腦力激盪來檢討製程或操作上之 安全性的方法，由評估小組成員以各自的專長提出許多「如果……

會怎樣?」(what-if)的問題來研討出可能發生事故的、事故所造成的 結果、目前有的安全措施及建議改善措施等。

(3)失誤模式與影響分析(FMEA)：

失誤模式與影響分析(FMEA)是評估製程中設備可能失效或 不當操作之途徑及其影響的分析方法。通常由不同專業領域的人共 同組成分析小組共同實施，其分析內容包含了失效模式、失效原 因、失效效應、維護度及後勤規劃等分析。FMEA 除可單純的定性 分析系統組成元件失效模式及影響效應外，還可以與關鍵性分析 (Criticality Analysis, CA)合併使用，稱為失效模式、影響與關鍵性 分析(Failure Modes, Effects and Criticality Analysis, FMECA)，以達

到部份量化的目的。

(4)危害與可操作性分析(HazOp)：

危害與可操作性分析(HazOp)是由幾個 HazOp 小組成員，這 些成員均是不同背景且受過專業訓練的人員，並且在評估會議中由 腦力激盪，藉者引導詞(Guidewords)與製程參數的組合，有系統的 針對製程設計或操作程序上的特定點(又稱節點)、製程區段、或操 作步驟。HazOp 小組以一次一個的方式檢驗每個製程區段或操作 步驟，找出具有潛在危害的偏差或偏離(Deviation)的原因，以及其 可能造成的後果，並提出具體改善對策，在評估過程是由工程人員 及專業評估人員透過腦力激盪，將專業知識、工程原理、標準規範 及個人經驗進行交流彙整後，以鑑別出可能之作業危害，故 HazOp 所探討的範圍除了設備元件故障外，更廣於人員失誤、材料劣化、

上下游製程單元之影響、公用系統失常、操作程序設計不當等。並 且儘可能在評估前收集下列資料可以讓評估風險時使用：

a.工廠配置圖

b.製程流程圖(PFD)及管線儀表圖(P&ID) c.製程描述

d.操作手冊/程序 e.連鎖/警報作動序

f.物質安全資料表(MSDS) g.相關之案例改善報告

h.相關之工業標準規範，如 SEMI、NFPA、FM…等

(5)失誤樹分析(FTA)：

失誤樹分析為一種頻率分析及失誤邏輯圖結合的分析方法，

是從已辯識出單一事件為中心，稱為頂上事件(Top Event)，然後由 上項下回溯發展模式，而將系統劃分越來越細，以演繹、推理、圖 解等邏輯方式，逐次分析的方法，討論其影響後果至根本事件 (Basic Event)，以決定其最小切集合(minimum cut set, MCS) (根本 原因)或共因故障(common cause failures)的最小切集合(頂上事件 交織的原因)。 範（SEMI S-10-1296）標準進行評估。

表 3、美國半導體協會風險評估規範（SEMI S-10-1296）之嚴重性等級 嚴重性

表 4、美國半導體協會風險評估規範（SEMI S-10-1296）之可能性分類

可能性分類 預期發生的頻率

A 經常的 每年發生超過 5 次。

B 可能的 每年發生超過 1 次，但未超過 5 次。

C 也許的 5 年內發生超過 1 次，但未超過 1 年 1 次。

D 稀少的 10 年發生超過 1 次，但 5 年內未超過 1 次。

E 極不可能的 10 年內發生未超過 1 次。

表 5、美國半導體協會風險評估規範（SEMI S-10-1296）之風險等級表 可能性等級

風險等級

A B C D E 1 1 1 2 3 4 2 1 2 3 4 4 3 2 3 4 4 5 嚴

重 性 等

級 4 3 4 4 5 5

表 6、美國半導體協會風險評估規範（SEMI S-10-1296）之風險等級表

風險等級 風險控制規劃

1 重大 需立即改善 2 高度 需限期改善

3 中度 需進行工程改善或行政管理措施配合

4 低度 界定為普通風險，需安排一個指定時限完成的改善 計劃，將風險控制

5 輕度 界定為低風險，無須作出任何改善措施