相關名詞定義

變

20

第四章、初步結果與討論

4.1 安全變更管理制度簡介

半 導 體 產 業 為 提 高 產 能 利 用 率、產 品 品 質、設 備 可 用 性 或 操 作 性、或 是 降 低 生 產 成 本 及 風 險 等 因 素，常 對 製 程、活 動 等 各 項 作 業 進 行 變 更 或 修 改，致 使 其 作 業 條 件 或 環 境 偏 離 原 先 之 安 全 範 圍 及 控 制 措 施，如 未 及 早 發 現 及 防 範，將 可 能 釀 成 重 大 意 外 災 害 事 故。尤 其 是 暫 時 性 變 更 或 修 改，大 多 數 人 認 為 僅 是 短 站 的 替 代 措 施，應 該 不 至 於 發 生 危 害，而 忽 略 應 有 之 安 全 評 估 及 預 防 措 施，因 此 衍 生 出 一 發 不 可 收 拾 的 嚴 重 後 果，所 謂「 小 改 變 可 能 造 成 大 災 害 」

且 勞 工 安 全 衛 生 組 織 管 理 及 自 動 檢 查 辦 法 第 時 二 條 之 一 規 定，雇 主 應 依 其 事 業 規 模、特 性，訂 定 勞 工 安 全 衛 生 管 理 計 畫，執 行 工 作 環 境 或 作 業 危 害 之 辨 識、評 估 及 控 制、採 購 管 理 承 攬 管 理、變 更 管 理 與 緊 急 變 措 施 等 勞 工 安 全 衛 生 事 項。故 更 管 理 制 度 無 論 是 再 法 規 或 是 現 實 層 面 都 是 必 須 被 執 行 的 安 全 衛 生 管 理 項 目 。

安 全 變 更 管 理 (SMOC)的 精 神 為 自 主 管 理 ， 其 執 行 的 目 的 即 是 對 所 有 的 變 更 皆 有 控 管 的 機 制，但 回 歸 現 實 面，在 半 導 體 界 目 前 能 達 到 此 境 界 實 在 是 極 為 困 難 ， 所 以 如 何 能 掌 握 80/

的 原 則，在 現 行 的 公 司 文 化 下，擬 定 一 套 及 時 且 切 乎 實 際 的 管 理 程 序 ， 使 安 全 變 更 管 理 (SMOC)制 度 能 有 效 的 被 執 行 是 很 重 要 的 。 以 下 為 安 全 變 更 管 理 執 行 制 度 進 行 說 明 ：

4.1.1 相 關 名 詞 定 義^{[ 1 3 ]}

1.變更/修改：將現有之零件、設備、機具、化學品、技術及位置進

2.同型物料替換：欲進行更換之設備或其零組件在基本設計、維修 及操作上與舊有設備或其零組件一致時，稱之為〝同型物料替 換〞，否則即屬於〝非同型物料替換〞。

3.永久性變更：係指經研討或測試後決定之永久性修改。

4.暫時性變更：係指針對某特殊狀況需要進行之臨時性變更，此等 變更必須清楚界定變更之期間，且於期滿時，恢復變更前之狀況。

5.製程化學物質：製程中所使用、處置、製造之化學物質，包括原 料、產品、中間產物、藥品、潤滑用油等。

6.製程技術：對原物料、試驗、設備可用性、新增設備、新產品及 操作條件有影響之製程領域。

7.製程設備：係指製程裝置之本體及其配件。例如：生產機台、熱 交換器、轉動機械、儀錶、警報裝置、分析儀器、程序控制軟硬 體、公用設備、走道、平台、安全閥及聯鎖系統、氣體偵測器等。

4.1.2 安 全 變 更 管 理 的 範 圍

半導體廠之安全變更管理制度範圍應涵蓋全廠區及單獨為實驗目 的而作的變更。所涵蓋之範圍主要分類為下列各項變更：

1. 新製程化學品：使用新製程化學品(含液態、氣態及固態)或增加化學 品濃度/純度之變更。

2. 管路變更：使用於加壓或腐蝕性、毒性、易燃/可燃性、氧化性的化 學品管路及 Exhaust 及 Drain 管路之變更。

3. 有增加火災、爆炸風險或降低防火功能之變更。

4. 修改硬體設施零組件會造成原始設備設計之安全性改變者變更：

(1) 附屬設備，Vacuum Pump、Local Scrubber 等。

(2) 高溫、高壓、快速移動設備。

(3) 修改、解除安全閉鎖及安全裝置等。

(4)增加或任何改變氣體供應時，會造成管路壓力變化者。

5. 硬體設備及廠務、膳廚、電腦機房、實驗室等相關系統變更，或操 作程序方式變更，導致有安全疑慮者。如機台化學品添加作業由自 動供應系統變更為手動添加方式等。

6.其他風險疑慮：如可能造成人員受傷、火災、毒氣及化學品洩漏、環 保設施或建築物防震安全失效者。

4.1.3 安 全 變 更 管 理 責 任 單 位 權 責 1.發起者部門：

(1)填寫變更前查核表/啟動前查核表，確認查核表中所建議的改善行 動予以實施。

(2)協調與該變更工程之相關事務。

(3)針對新化學品及氣體安全衛生環保評估，要求廠商提供相關資料。

2.工安環保單位

(1)確保廠區各單位落實執行變更管理程序

(2)簽核各發起者部門提出的需求，主要對安全變更管理系統及 checklist 內容負責，而非整個工程技術。

(3)將各變更前查核表/啟動前查核表存檔審查，有意見時，可向發起 單位提出並要求改善。

(4)協助進行新化學品及氣體安全衛生環保評估。

3.其他支援部門

(1)協助變更工程之進行。

(2)確認變更工程對廠務供應及處理系統是否有影響。

4.1.4 安 全 變 更 管 理 之 申 請 及 審 查 程 序

1.安全變更管理系統申請及審查流程：共分為兩階段審核，首先針對 變更內容進行審核，若取得審核者之共識，則可進行變更工程，工 程完成後於啟用前需進行安全檢查後附上變更後相關文件即可進行 結案，詳細流程如圖 9 所示：

4.1.5 安 全 變 更 管 理 之 查 核 表

安全變更查核表主要分為變更前查核表及變更完成啟動前查核表 兩種，說明如下：

一、安全變更前查核表：

安全變更前查核表

1.發起者姓名： 日期：

2.變更名稱：

3.變更位置：

4.預計執行日期：

變更目的：

變更前內容：(如屬線路或管路的變更請詳細繪出修改前之線路或管路 圖，如篇幅不足，請附圖於後)

變更後內容：(如屬線路或管路的變更請詳細繪出修改後之線路或管路 圖，如篇幅不足，請附圖於後)

使用下列查核表找出和本項變更有關之安全衛生及環保風險。

查 核 項 目 回 答 A.使用新製程化學品

1 是否使用新的製程化學品(含液態、氣態及固態化學品)或改變 濃度/純度?(如果是，請列出新的化學品名，並指出它的濃度/

純度)，及附上物質安全資料表.)

化學品： 濃度/純度：

是 否

2 新的化學品物質是否為易燃物、爆炸性、毒性、致癌性、刺 激性、具分解能力、氧化劑?

是 否

3 管路和設備組件的材質是否與化學品的濃度，操作條件不相 容?(如最大的使用壓力、濃度、溫度)

是 否

4 此項變更是否會影響目前的氣體偵測和警報系統的有效 性?(例如目前的偵測系統偵測不到或不適用)

是 否

5 此項變更所產生新的廢棄物(廢液、廢氣、垃圾)，不適用目前 的廢棄物處理系統?

是 否

6 是否已申請 New Chemical Review 的程序? 是 否

B.化學品管路之變更

1 此變更管路或組件，是否使用於加壓或腐蝕性、毒性、易燃/

可燃性、氧化性的化學品?

是 否

2 是否須變更風管(Exhaust Duct)材質、管俓、及插接風管(若風 管屬可燃性材質且直徑大於 10 吋時內部應加 sprinkler)?

是 否

3 是否會增加逆流或交互污染的風險? 是 否 4 是否須變更 Drain 管材質、管徑及與其他 Drain 管插接? 是 否

C.有增加火災、爆炸風險或影響防火、氣體偵測系統功能之變更

1 此項變更是否於防爆區域執行電器設備之變更? 是 否 2 是否對於加熱可燃/易燃性物質作溫度增加之變更? 是 否 3 是否為新設置區域內放置易燃性化學物質或氣體? 是 否 4 是否為防火區劃(牆、門)之變更?例如牆、門之防火等級減少

及位置移動、開口變更?

是 否

5 是否須要增加、移動或永久移除消防設施(如撒水頭、偵煙 器、滅火器、二氧化碳系統或防火門)?

是 否

6 是否影響氣體偵測系統功能? 是 否 D.修改硬體設施零組件會造成原始設計變更時

1 此項變更是否會導致電路過載造成人員受傷? 是 否 2 此項變更是否顯著增加使操作人員暴露於電氣危害中的機

會?

是 否

3 此項變更是否造成機器操作者會維護人員暴露於輻射/雷射 之中?

是 否

4 原有之排放及釋壓系統在新的操作條件下是否不足? 是 否 5 此項變更是否會產生原始設備之修改、解除安全裝置(safety

interlock 等)或是使其 By-pass?

是 否

6 增加會任何改變氣體供應時，此項變更是否會造成管路壓力 變化?

是 否

E.硬體設備及廠務、膳廚、電腦機房、實驗室等相關系統變更，或操作程序 方式變更，導致有安全疑慮者

1 原舊有硬體設備換新[換新廠牌或換同一廠牌新類型]，是否會 是 否

有用電、用火、高低溫及噪音震動等安全疑慮?

2 是否變更原有操作程序，由自動操作方式改為人工操作?[有 安全疑慮者，必須填寫工作安全分析表]

是 否

3 此項變更是否會影響原有氣化供應、空調、排氣、排水(含 Drain)及消防等系統的功能?

是 否

如果有答”是”的問題，應屬表中說明變更時會有哪些影響及潛在風險，以 及在變更後，它們要如何加以危害控制或改善。

本變更工程變更前須知會之部門(If required)

發起者簽名： 日期：

核准簽署：

二、啟動前查核表：

7 化學品/氣體的 secondary containment 是否已裝置完 成，以防止潛在的有害化學品釋出?

用

5 對[變更前查核表]回答”是”的部分的危害控制或改善 是否均已被實施?

是 否

發起者簽名： 日期：

4.2 傳統之單點安全變更管理分析

4.2.1 半導體廠安全變更管理案例說明：

1.問題描述：

某半導體廠電化學電鍍製程設備機台之排氣風管(Exhaust)因產能需 求，需安裝新的電化學電鍍製程設備生產機台，但因預設置機台位置既有 電化學電鍍製程機台之排氣風管重疊，為使無塵室 layout 發揮最大使用 率，故需要將既有電化學電鍍製程設備機台之排氣風管進行移位，但在施 工階段卻觸發機台所裝設之氣體偵測器作動到並且驅動自動語音疏散廣 播系統，造成無塵室操作人員及施工廠商進行疏散而導致生產中斷。

2.改善對策：

疏散事件發生後，案例廠內部召開會議進行檢討，發現此排氣風管拆 除工程內容符合案例廠所推行之安全變更管理程序中之”管路變更”項 目：加壓或腐蝕性、毒性、易燃/可燃性、氧化性的化學品管路及 Exhaust 及Drain管路之變更，故要求機台負責單位提出安全變更申請，並且使用 業界較常使用之”查核表”作為安全變更管理評估確認方法，以下為此工程 執行安全變更管理程序，申請安全變更評估，表 8 為ECP機台風管改置安 全變更管理分析範例說明。

表 8、ECP 機台風管改置安全變更管理申請表

表 8、ECP 機台風管改置安全變更管理申請表