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本實驗以熱壓法製備Al2O3/SiC/ZrO2複合材料,有關本實驗的步 驟如Fig. 3-1 所示,包括分散實驗、熱壓試片、熱壓試驗、氧化實驗、

四點抗折實驗、X 光繞射分析、Weight gain 分析及 SEM 和 TEM 斷 面觀察分析。

3-1 粉體之特性

本實驗採用α-Al2O3 粉體(AKP53,Sumitomo.,Tokyo, Japan),

3mol% Y2O3 partially stabilized Zircon 粉體(TZ-3Y,Tosoh corporation, Tokyo, Japan),和α-SiC 粉體(Cerac Inc.,Milwaukee, WI U.S.A)。其中

粉 體 粒 徑 量 測 方 法 為 沉 降 法 (SediGraph5100, Mcromeritics, GA, USA),比表面積量測測量利用 BET 方法,理論密度則使用 pycnometer (Multivolume pycnometer 1305, Micromeritics, GA, USA) 量測,而化 學成分則由廠商提供。

3-2 分散實驗

量取1g 的粉末,以 20ml 的甲醇、乙醇兩種溶劑,利用 OH-、H+ 離子調整不同的PH 值使粉末帶電,並加入 NH4+、NO3-當電解質,使 粉末表面產生擴散電偶層而分開,在利用超音波震盪(Model XL-2020, SONICATOR, Heat Systems Inc., Farmingdale, NY)5-10 分鐘將凝聚分

子打散,即形成旋濁的溶液,將其置放24 小時後,在將 20ml 的溶劑 稀釋為 1000ml,則完成分散實驗之溶液。然後將測試的溶液置於介 面電位分析儀(Model Zetaplus, Brovkaven, USA)之電極中,測量溶液

中粉末粒子於外加電場下的移動速率,利用溶液性質和電泳速率即可 算出介面電位值。

3-3 熱壓試片的製備

3-3-1 SiC/ZrO2/Al2O3複合材料粉末的製備

將欲混合的SiC、ZrO2、Al2O3三種粉末分別以我們欲混合的比例 秤重後並加以混和,以界面電位量測出來較高的去離子水為溶劑,且 利用 NH4OH 調整 PH 值為 10.5,接下來以超音波震盪,使其成為均 勻分散的懸浮液。將以均勻分散的懸浮液加熱攪拌將其快速揮發,再 將其放入真空烘箱內以150℃上下烘乾。烘乾後再以研缽島碎,最後 利用 80mesh 篩網過篩,加以收集,即完成粉末的製備工作。不同粉 末的編號和成分如Table I 所示,基地的組成以 Al2O3和ZrO2的相對 體積百分比為計算標準。

3-3-2 SiC/ZrO2/Al2O3複合材料熱壓試片

將混合製備好之粉末倒入石墨模具中,且在粉末與石墨間以

graphite foil 隔離以避免熱壓後試片和模具的沾黏情形發生,接下來以 石墨模具放入熱壓爐中,(熱壓爐的型號為 Model HP50-HTG-7010, Thermal Technol. Inc., USA),先施以 5Mpa 的壓力將粉末預壓成型,

成型後釋放壓力,然後抽真空至2x10-4Torr,在通入 Ar,確保爐體內 沒有空氣後開始加熱,於溫度 3000C 之前以每分鐘 10℃較慢的速度 加熱,並保持真空,使得粉末間的水氣能夠完全的釋出,於溫度300

℃之後在通入氬氣將水氣排出,且維持一大氣壓以避免氧化產生,並 施壓至5MPa,當溫度升至 1000℃時,壓力升至 10MPa,然後再達到 最高溫度之前,線性增加壓力至 32MPa。 接下來在溫度下降過程中 壓力漸漸釋放,直到溫度 1100℃時,壓力全部釋放完畢,待試片完 全的冷卻之後再從石墨模具中取出。

3-4 試片加工

熱壓完之試片,首先除去表面的graphite foil,並利用平面磨床將 兩面各研磨 1mm,再以研磨拋光機拋光至 3μm,最後切割成 10×6×

3mm 小試片。

3-5 氧化試驗

3-5-1 氧化試驗前準備

因為我們是以單位面積之重量變化(△W/A)做氧化分析,所以在

氧化前先利用游標卡尺測量試片的尺寸並計算其表面積,再以丙酮及 超音波洗淨並由電子天秤測量其氧化前重量。

3-5-2 氧化試驗

將高溫爐(Model 51333, Lingberg, WI)以每分鐘 15℃的升溫速度 升溫至欲氧化的溫度後,將試片置於坩堝後放入爐子中,置入試片時 爐體溫度會稍微的下降,待升到所設定的溫度後,再開始依我們所設 定的時間計時;而在本實驗中氧化溫度為 1350℃,氧化時間分別為 9、50、200 小時,達到時間後再將試片由爐子中取出。但由於在溫 度極高時將試片放入爐子,會因為試片內材料的熱膨脹係數不同而會 有crack 的情況產生,因此在做 1350℃的氧化時,我們將試片在 1000

℃左右時就先放入爐子內,避免因為試片crack 或彎曲而影響氧化結 果。

此外取出試片時採用爐冷方式,將高溫爐溫度降至室溫再取出,避免 溫度差極大而產生crack。

3-6 單位面積之重量變化(△W/A)分析

由高溫爐內取出試片,在試片冷卻之後以電子天秤量測其重量,

把氧化前後的重量變化除以試片的總表面積,即可作為氧化速率的表

示方法。

3-7 四點抗折測試

本實驗韌性試片採用單邊缺口樑(Single Edge Notched Beam,SENB)

方法來製備,所有步驟依照陶瓷技術手冊內述準則。試片基本尺寸為 40mm×4mm×3mm(長×高×寬)。在切缺口前會先用鑽石盤,粒徑為 45μm,

作試片邊緣導角處理,並使用粒徑 3μm 的鑽石砂紙作表面拋光處 理。最後使用鑽石刀片在試片正中處往試片內部切至試片高度(4mm) 的 1/3 處為止。試片製備後如 Fig. 3-2 所示。鑽石刀片厚度為 0.02

㎜,試片缺口寬度應略大於 0.02 ㎜。試片使用丙酮清洗並使用超音 波震盪。使用電子天平秤重記錄氧化前重量,有效準確度為小數點以 下四位。經過氧化處理後取出試片記錄氧化後重量。四點抗折實驗前 使用游標卡尺量測紀錄氧化處理後的試片長寬高尺寸。採用四點抗折 儀器(型號為Instron 8511.40)來測量機械性質,上支點跨距為 20mm,

下支點的跨距為 40mm。測試時預切的缺口向下置放,而與儀器衝頭 接觸面寬為 3mm。經過四點抗折測試後,將斷裂的試片使用鑽石刀片 沿平行斷面方向切下厚約 1 mm 的試片,依氧化鋯含量及氧化處理時 間的不同作分組。強度試片基本尺寸和韌性試片相同,不同的是強度 試片不用預切缺口,測試時與儀器衝頭的接觸面寬為 4mm。之後的氧

化處理條件和韌性試片相同。經過抗折測試後同樣使用鑽石刀片切出 所需的試片及分組。

3-8 X-RAY 繞射分析

利用 X-繞射線儀(Siemens Mode 5000)對氧化前後的熱壓試片進 行 分 析 , 來 初 步 鑑 定 其 所 生 成 的 氧 化 物 相 別 。 儀 器 設 定 電 流 為 200mA、電壓為 50KV,所收取的繞射角度定在 100~800;掃瞄為速度 每分鐘 6°,每隔 2θ=0.01°自動記錄 x-ray 的強度之後,再將分析所 得到的結果在與JCPDF 卡相互比對,以判定相別。

3-9 掃描式電子顯微鏡(SEM/EDS)

以掃描式電子顯微鏡(Model JXA-8600SX, JEOL, Tokyo, Japan)之

二次電子成像,以line scan 或 x-ray mapping 模式進行成分定性分析 及波長散佈分析儀(WDS)對試片進行定量分析。在觀察前以蒸鍍方法 鍍上一層碳或白金以增加導電性。在本實驗中我們觀測試片斷面,藉 以觀察斷裂面的晶粒分佈和表面型態,粗步瞭解crack 的行為。

3-10 掃描穿透式電子顯微鏡觀察(STEM/EDS)

以穿透式電子顯微鏡(Model 2000FX, JEOL,Tokyo, Japan)分析反

應後之試片,試片製作如Fig. 3-2 所示,以明視野像(Bright Field Image, BFI)觀察介面組織及擇區繞射(Selected Area Diffraction Pattren, SADP)

作 為 辦 定 相 別 的 依 據 , 能 量 分 散 光 譜 儀(Energy Dispersive Spectrometer, EDS)鑑定各個相的組成元素。

另外可使用軟體CaRInc crystallography,輸入 Space group、晶格 常數、原子之相對位置及其相關之晶體資料,可模擬分析晶體結構的 繞射圖形,與實際繞射圖形相互比對鑑定。以上資料可藉由Pearson’s handbook of crystallographic data for intermetallic phase[58]查知。

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