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第二章 微電極陣列系統

2.2 微電極陣列之設計與製作

2.2.3 成長樹枝狀結構

為了使金屬微電極具有低阻抗的電極特性,在本篇論文中是利用含有 cysteine 的四 氯金酸(HAuCl4)溶液在金電極表面成長三軸對稱的樹枝狀結構;藉由增加電極表面績 的方式,降低電極阻抗,成長的機制如圖 2.2.4。起初金奈米粒子會沉積在(111)、(110)

和(100)的晶面上,但在電鍍的過程中,溶液中的 cysteine 會在金奈米粒子表面形成薄 膜,使得表面電阻增加,進而造成表面的電化學活性下降。但由於表面晶向不同,吸附 於多晶金上之 cysteine 的穩定度也不一樣,由小至大依序為(111)<(100)<(110);

因此當施加特定電壓於金電極上時,可促使表面吸附的 cysteine 產生還原脫附反應,此 關係已由 Takeo Ohsaka 等人藉由循環伏安法(Cyclic Voltammetry)證實[25]。故當施加 -0.7 至-0.9 V 的電壓時,原本吸附在(111)面上的 cysteine 會脫附,而(100)和(110)

面上的則否;因此金奈米粒子會沿著<111>方向沉積,最後形成三軸對稱的樹枝狀結構。

另外,值得注意的是,如果 cysteine 的濃度太高,那麼(111)晶面仍會被遮蔽,反而抑 制了樹枝狀金的成長。

圖 2.2.4、樹枝狀金成長示意圖[26]

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在本篇論文中,成長樹枝狀結構的溶液配置如下:2 mM 的 HAuCl4、0.5 M 的 H2SO4

和 0.1 mM cysteine,cysteine 的濃度要小於 1 mM,否則金的晶面將全被 cysteine 遮蔽。

接著利用電化學沉積的方式,將金奈米粒子沉積於金電極表面;

圖 2.2.5 為利用電化學方式成長金的樹枝狀結構示意圖。在電鍍開始之前,先將金電極 浸泡在混和溶液中 15 分鐘,再用去離子水沖洗,去除非化學性吸附的 cysteine,再插入 銀/氯化銀參考電極和 Pt 對電極,給一頻率為 5 Hz 的方波,目的是為了減少擴散限制

(diffusion limitation)的效應,避免影響金粒子電鍍沉積於金電極基板上的速率;此方 波的脈衝分別設定在-0.8 至+0.2 V。當施加的電壓小於+0.8 V,在 HAuCl4溶液中的 Au3+

離子會被還原到金電極表面。

圖 2.2.5、利用電化學方式成長樹枝狀金示意圖

根據上述的實驗條件,以電化學方式沉積金奈米粒子 30 分鐘;在沉積之前,為了 去除可能殘留的光阻,事先要以氧氣電漿清潔元件表面(500 mTorr,50 W,5 min)後,

才進行電化學沉積。利用 SEM 檢視成長出來的結構。圖 2.2.6 (a-1)、(b-1)、(c-1)、(d-1)

和(e-1)分別是直徑為 20、40、60、80 和 100 μm 的微電極在成長樹枝狀結構之前的 形貌,表面十分平坦;而(a-2)、(b-2)、(c-2)、(d-2)和(e-2)則是成長樹枝狀結構 以後的形貌,電極表面明顯變的粗糙;將表面成長樹枝狀結構的電極放大來看,結果如 圖 2.2.7 所示,(a)為俯視圖,可以明顯看到確實有樹枝狀結構形成在金電極表面;(b)

為成長樹枝狀結構之金電極剖面圖,圖中虛線框內的樹枝狀結構高度約 900 nm。

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圖 2.2.6、成長樹枝狀結構前後之微電極表面形貌

(a-1)

(b-1)

(c-1)

(d-1)

(e-1)

(a-2)

(b-2)

(c-2)

(d-2)

(e-2)

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圖 2.2.7、金之樹枝狀結構 SEM 圖

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