第五章 研究結果之探討
6.2 新程式對於成本影響之概估
6.2 新程式對於成本影響之概估
C3F8 氣體每公斤價格為 3,180 元台幣比 SF6氣體每公斤價格為 1,072 元台幣貴了 2,108 元台幣，但是在製成的用量上每片經推算 C3F8
為 200sccm 而 SF6卻高達 630sccm，經換算成重量單位則 C3F8為 1.68 × 10-3 Kg/wafer；SF6為 4.11 × 10-3 Kg/wafer，因此新舊程式的生產成本 如下表所示:
$Price (kg) kg/wafer $/ wafer
C3F8 3180 1.68x10E-3 5.3
SF6 1072 4.11x10E-3 4.4
表 22. 新舊程式每片生產成本比較
整體來說使用 C3F8之製程的成本比使用 SF6之製程的成本每片 wafer 高出約 0.9 元台幣，若以每月生產五萬片次來估，則每個月生產 成本高出約 4,5000 ~ 50,000 元台幣，對一個六吋晶圓廠的變動成本花 費來說應該是不算高。
雖然，PFC 破壞技術是環保問題轉價的技術，但以技術成熟度和 操作維修成本而言，目前是最可被半導體工廠使用的技術；PFC 燃燒 處理設備已有市售產品，唯其在燃燒過程中所產生之酸氣和微粒，需 以大量之洗滌水加以濾除，因此局部處理設備如何省水、減少設備體 積及降低操作維護成本仍有待努力。電漿技術可有效節省能源及處理 PFC，似乎也是一個很好的機會。但整體而言，這些都是後處理技術 只能應急 5-7 年。
因此，從另外一個角度來看，若因為這樣的成本考量而捨棄替代 製程氣體這類的方案來進行 PFC 減量計畫，則通常會以採用設置製程
尾氣處理設備的方式來進行，對於設置這類設備的資產投資花費通常 會在四到五百萬元不等，長期來說成本可被折舊攤提，但是這些設備 的運轉費用(水、電、氣..等)、維護的人力費用與維護的成本花費隨著 生產的持續也將一直伴隨且其每個月的花費應該不比 4,5000 ~ 50,000 元台幣低；而對於能源的耗用對環保的立場來說等於造成另外一個負 面的議題。
透過這個研究的成功經驗，期許能啟發業界除了在科技精進為人 類帶來更好更便利的物質生活的同時，也能為我們唯一賴以生存的地 球的環境保護問題傷害降到最低，藉著製程替代物質領域的研究與實 務應用，以治本的方法達到這樣的目的才是最好的選擇。
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