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隨著科技的快速發展,對於材料的種類和性能有更高的要求,因 此舊有材料的性質已不敷使用,故許多人因而著手研究新的材料。目 前材料可分為兩大類,分別為有機材料與無機材料,常見的有機材料 泛指高分子聚合物,其特性為擁有良好的韌性及加工性質,但卻無法 有非常高的強度與耐熱特性。反觀無機材料,則擁有非常高的強度與 耐熱性質,卻沒有良好的韌性與加工特性。故許多學者認為若將此兩 種物質的特性加以結合且改良製成一新材料,則可預期得到同時兼具 這兩物質特性之材料。

有機/無機混成材料(Organic/inorganic hybrid materials)的製備、特 性及應用最近十年逐漸受到重視[1-4]。這是結合有機高分子及無機材 料的新興材料領域,因為混成後材料特性的大幅提升,使得其應用範 圍十分廣泛[5-11]。有機/無機混成材料具有結合兩種組成物質性質的 優點;除此之外,由於兩相間生成物理或化學性結合的可能性很高,

因此可望產生特殊性質,且可藉由控制製程方法與調控有機、無機物 的含量,來改變有機/無機混成材料之特性,如光電特性、介電特性、

機械性質與熱性質等[12-13]。

混成的材料以分子程度的共價鍵、離子鍵、氫鍵或凡得瓦爾力作 為鍵結依據,其反應的型態可區分為混合法以及溶膠-凝膠(Sol-gel)

法;其中溶膠-凝膠法可以克服薄膜平整度的問題,故本實驗是利用 溶膠-凝膠法來製備出有機/無機混成材料。

聚亞醯胺(Polyimide,PI)是指含有亞醯胺基團(Imide group)結構的 高分子聚合物。聚亞醯胺可以依不同需求選擇適當的單體,去聚合出 不同性質的聚亞醯胺,一般可供選擇的單體可分為脂肪族及芳香族兩 大類。其中,芳香族的聚亞醯胺因為具有雜環的結構及鍵結能量高之 芳香環,固展現出優越的耐熱性、耐化學性、高機械強度及電氣特性。

由於其具有傑出的機械性質和優異的熱安定性等特性,故一直受到極 大的重視及研究[14-15]。

如上述,聚亞醯胺為具有高耐熱性的高性能高分子,但若要使用 於更高效能之應用材料上,仍然有一些問題需要加以改善[16]:

1. 耐熱性的提升

在電子元件的構裝或是半導體元件的絕緣層製作時,其製程溫度 幾乎都高達300 ℃以上,可符合如此高溫耐熱的高分子並不多。從化 學結構來看,聚亞醯胺因為具有芳香環、高度對稱性以及鏈的剛性夠,

因此其具有良好的熱安定性,但一般有機材料的耐熱性質仍比無機材 料低一些。

2. 減低吸水性

聚亞醯胺於常溫常壓下,有1~4 %的吸水率,而且其擴散速率相

當快。聚亞醯胺的高吸水特性對其電性與結構之可靠度有不良的影響,

水分的吸收會提高聚亞醯胺的介電常數值,劣化其電性功能;在後續 的高溫製程則可能使材料中的水分蒸發,導致聚亞醯胺起泡而脫落。

因此使用聚亞醯胺時,降低吸水率或是製程中的去水程序都是相當重 要的研究課題。

3. 熱膨脹係數的降低

一般聚亞醯胺之熱膨脹係數約為30~60 ppm/℃,通常為矽(2.5 ppm/℃)或氧化鋁(6.4 ppm/℃)的十倍以上,或為銅(17 ppm/℃)或鋁 (23.6 ppm/℃)薄膜導線的二至三倍。故在電子元件構裝應用時,因彼 此的熱膨脹係數不相匹配,而產生應力不平均,使得兩者界面產生龜 裂(Crack)及脫層 (Delamination)之現象,尤其是製程中需要多次的熱 循環及聚亞醯胺的高溫亞醯胺化,情況嚴重者甚至會造成基材的彎曲 不平,而無法進行下一步製程。

基於上述,了解到聚亞醯胺使用於高性能材料之可靠度上仍須加 強。為了使聚亞醯胺在不同的應用領域中有更好的性能表現,因此發 展各種優異特性的聚亞醯胺複合材料為一熱門的研究重點。其中可藉 由導入無機粒子可使聚亞醯胺複合材料具有更高的熱安定性、機械性 質等良好性質。因此本實驗將利用溶膠-凝膠(Sol-gel)法且使用一步法 製備出可溶性聚亞醯胺,並藉由加入二氧化矽及甲酸銨來改善聚亞醯

胺的性質。

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