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電子產品在我們生活中已成為不可獲缺的物品,例如現今相當熱 門的無線通訊產品,因此造就了半導體產業的蓬勃發展,而要將矽或 砷化鎵等材料的積體電路製成晶片有一關鍵的技術,就是構裝技術 (圖 1-1)[1]。而隨著半導體製程技術的不斷改良下,使的這些構裝 體足以朝向短小輕薄 (圖 1-1)[2],高輸出/輸入數,高可靠度及低 製造成本等特性,但也必須面對產品上市時程、生命週期短、跨研究 領域與專利保護等挑戰,因此世界主要的電子工業國家也都競相投入 開發各項構裝技術,以求得技術領先地位。

由於構裝體是由各種不同的材料所組成,其各個材料的熱膨脹係 數也大大的不同,因此當晶片在工作時所產生的溫度變化,將引起熱 應力、應變及翹曲變形等封裝問題。根據美國空軍 1995 年所發表的 研究報告中指出,造成超過 50%的半導體元件損壞或缺陷的主要的 原因來自於熱的問題(圖 1-3)[3]。因此分析構裝體熱循環過程可靠 度以及構裝體運作後的溫度場也就成為半導體產業在構裝技術上的 一大挑戰。

1-2 電子構裝

1-2-1 電子構裝簡介(Packaging;PKG)

在半導體元件製作過程中,有分成前後段工程,在晶圓(wafer) 切分成晶片(chip)為分界,在此之後為後段工程,主要工作有晶片裝 片、固定、接合連接及引出接腳等工作,所以此後段工程就是所謂的 電子構裝。狹義的構裝定義為:利用晶片固著技術及微細連接技術,

將半導體元件及其他構成要素在框架或基板佈置、固定及連接,引出 接腳,並利用可塑性絕緣介電高分子材料予以封裝固定,構成整體立 體的架構。

由於構裝體是半導體元件的外緣,且構裝體朝向小型化、高性 能、高頻化等要求,所以對電氣特性的保持,是作為構裝的首要目標,

另外由於結構也相當脆弱,即使是空氣中的灰塵或濕氣,都會使得構 裝體失效,所以構裝可以避免掉外界所帶來的影響。此外構裝後的晶 片,對熱量的排出,以及對安裝和運輸上也將更為便利。總結上述而 言,電子構裝主要有以下四個功能

(1) 晶片電氣特性的保持功能 (2) 保護晶片電子元件功能 (3) 固定晶片各部元件功能 (4) 增強晶片整體散熱功能

1-2-2 覆晶(Flip-Chip;FC)構裝簡介

積體電路晶片的聯線技術主要有打線接合(Wire Bonding)、卷帶

自 動 接 合 (Tape Automated Bonding) 與 覆 晶 等 三 種 常 見 技 術 ( 圖 1-4)。在1995年以前打線接合一直是封裝中最佳的方式,然而近年來 隨著晶片所需之輸入/輸出數不斷的增加,打線和卷帶自動接合等技 術的引腳數已不敷使用,在加上覆晶構裝技術專利的解除,使的覆晶 的使用有逐漸增加的趨勢。覆晶構裝技術是在1964年由IBM 首先開發 完成,當時主要的目的是以控制接點高度為主的技術,並命名為C4 (Controlled Collapse Chip Connection)技術。對於覆晶廣義的定 義即是指,只要晶片的正面(電路面)翻轉向下,利用金屬導體將晶片 與基板做連接,皆可稱為覆晶構裝(圖1-5)。典型的覆晶構裝技術在 製程上是利用電鍍或印刷的方式將焊錫(Solder)長在積體電路腳墊 上,經回焊(Reflow)形成錫球,再利用覆晶接合機台(Flip Chip Bonder)精確對位後與基板接合,在此過程中,由於焊錫接點與晶片 和基板間的熱膨脹係數相差過大,容易造成局部疲勞應變,因此需要 加縫隙填膠(Underfill)來降低其應力和應變。綜合以上所述覆晶構 裝有以下的優缺點,覆晶技術的優點有:

(1) 具有高輸入/輸出數 (2) 基板面積小

(3) 良好的電氣特性

(4) 一次完成輸入/輸出接腳

(5) 簡化組裝降低成本 在缺點方面有:

(1) 不易重工(Rework) (2) 不易檢測

(3) 凸塊製作複雜,製程設備昂貴

1-3 可靠度試驗

由於電子構件本身較傳統機械構件脆弱的本質,所以電子構裝產 品出廠前都要接受一些相關的可靠度測試,而各個廠商或協會皆有為 這些產品訂定可靠度試驗的規範。而可靠度之定義為元件於特定使用 環境下一定時間內之失效率(Failure Rate),若將一個電子元件或一 個電子構裝件的失效率繪出,有時可以得到一個所謂的浴缸曲線(圖 1-6)[4] , 整 個 曲 線 可 以 分 為 三 個 部 分 , 分 別 為 早 夭 期 (Early Failures) 、 穩 定 期 (Stable Failures) 及 耗 損 期 (Wearout Failures)[4]。早夭期主要是因製程上的缺陷,導致電子元件或構裝 體在初期就產生故障的現象,但隨著淘汰掉製程上先天缺陷的產品 後,失效率會逐漸平緩;穩定期為電子元件或構裝體在某一段時間內 的失效率維持一定;耗損期為電子元件或構裝體在使用一段時間後,

因產品的老化,導致失效率逐步上升,一直到所有產品全部故障為止。

1-3-1 可靠度試驗目的

可靠度試驗主要是針對構裝體在各種使用環境下進行模擬,藉由 測試並利用一些檢測儀器(如超音波、X光等),來找出其失效模式或 求得失效率,可以讓工程師進一步改善設計,例如改變幾何尺寸、材 料及製程參數等,以強化構裝體之可靠度。

1-3-2 構裝體常用的可靠度試驗[5]

因為可靠度測試時間通常很長,所以需要所謂的「加速可靠度測 試」,常見的構裝體可靠度測試方法如下

(1)熱循環測試(Thermal Cycling Test;TCT)

測試溫度升降之熱脹冷縮所造成的應力對構裝體可靠度之影 響,如圖1-7其目的是在測試構裝體在多次運作後所會造成的破壞行 為,測試溫度由最嚴苛的-65°C 至150°C 到溫和的0°C 至100°C 皆 有,而構裝體在歷經多次循環後會產生如圖1-8的破壞行為,如發生 斷裂即代表構裝體已經失效,本文即模擬此測試法來做可靠度分析。

(2)熱衝擊測試(Thermal Shock Test)

此測試相似於溫度循環試驗,主要差異在於更快速率的升降溫 度,以及高低溫停留時間也比較短暫。

(3)熱功率循環測試(Power Cycling Test) 測試構裝元件因開關所引起之溫度變化。

(4)恆溫恆濕偏壓測試(Temperature/Humidity/Bias Test)

在高溫高濕的環境下材料的穩定是一不可忽視的因子。試驗方法 為高溫高濕度中反覆施加正負電壓,形成電化學環境,加速金屬腐蝕 速率,所以此測試用來評估構裝體在潮濕環境的抗蝕性。

(5)壓力釜測試(Pressure Cooker Test)

也是用來測試構裝的抗濕氣能力,在嚴苛的溫度、飽和蒸汽環境 下測試,加速封膠和基板(Substrate)之界面的破壞影響,。

(6)高壓加速實驗(Highly Accelerated Stress Test)

測試目的同壓力釜測試,差異在於水蒸氣壓在85%以下。

(7)高溫時效實驗(Thermal Aging Test)

不同材料在高溫下容易產生一些化學反應,如元素彼此間的擴散 形成介金屬化合物(Intermetallic Compound)等,可能會對元件產生 不良影響。

1-4 文獻回顧

今日電子元件效能不斷提升,因此更高頻的構裝體也將被研發出 來,所產生的高熱將值得我們探討,另外由於構裝體材料特性不同,

當 溫 度 變 化 時 , 因 各 材 料 熱 膨 脹 係 數 (Coefficient of Thermal Expansion;CTE)的差異,將產生熱應力,而引發出疲勞等問題,使

其失去原有的功能。Teng 及 Lee[7]的研究中,他們在 RF 通訊電路覆 晶構裝模擬時,分析藉由改變晶片、基板以及凸塊材料以增加其散熱 效果。Edwards 等人[8]提出各種改善熱傳遞的方法,包含改變幾何 形狀,選用熱傳導係數較高的材料等來提高散熱性。Lee 等人[9]利 用不同的填膠材料,來分析構裝體的溫度場,選用較高熱傳係數填充 物,將使得構裝體溫度較低。Madenci 等人[10]曾指出疲勞破壞發生 之位置,將發生於幾何及材料不連續處,也就是在凸塊與晶片及基板 的連接處,若有填膠,則應力集中現象將較不明顯。Amagai[11]以有 限元素法針對錫球凸塊作可靠度分析,發現晶片尺寸、錫球材料、構 裝體尺寸及凸塊數,皆會影響其壽命。Stoyanov 等人[12]以有限元 素法分析等向性導電膠接點技術的覆晶構裝時,發現在凸塊方面,以 高度越高以及半徑越小會有較低的破壞,在基板部分也以基板厚度越 薄有越低的破壞,而在填膠材料以低熱膨脹係數及高彈性係數為佳。

Chiu 等人[13]也是以有限元素法分析覆晶構裝的可靠度,分析凸塊 高度、焊點厚度、基板厚度和填膠形狀對可靠度的影響。He[14]以實 驗方法探討覆晶構裝不同的填膠材料對熱應力之影響,結果顯示出選 擇適當的填膠材料將可大幅降低熱應力。Bougataya 等人[15]先利用 計算流體力學(CFD)軟體進行模擬以求得構裝體的等效熱對流係數,

再將此係數代入有限元素軟體裡以算出溫度場,進而求得構裝體之熱

應力及變形行為。許[16]也是先利用計算流體力學軟體計算出溫度分 布,再以有限元素軟體做熱應力分析,且針對不同線路厚度及凸塊材 料、凸塊半徑與高度以及基板材料等變數去探討其影響;劉[17]也利 用相同方法,去探討凸塊擺放位置及熱源數對覆晶構裝的影響。

1-5 研究動機與目的

構裝體在熱循環試驗中要找出壽命週期以及破壞的行為是相當 耗時且困難的,所以通常會藉由模擬的方法來探討,因此本文一部分 就是利用有限元素法軟體 ANSYS 軟體來探討構裝體在熱循環試驗中 所產生的破壞行為。另外熱循環試驗雖然是用來觀察構裝體在多次運 作後所產生的破壞行為,但所給予的溫度邊界條件,卻無法完全吻合 真實構裝體所產生的溫度場,只能以近似的溫度曲線來實驗或模擬,

因此為了了解構裝體在真實運作後所產生的破壞行為,本文先利用計 算流體力學軟體 Icepak 計算出構裝體在運作後的溫度場,再將此溫 度場代入 ANSYS 以計算出應變值,藉此觀察其破壞行為。

第二章 物理模式與數學模式

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