第二章 高科技廠自我救災能力探討
2.2 高科技廠安全與防護
園區高科技產業蓬勃發展，已不僅是我國經濟發展與提升國際競爭力 之命脈，更是與國際高科技發展接軌之火車頭。它是知識密集與資本密集 產業的結合體，國科會、科學工業園區管理局與園區事業無不全力投入以 確保消防與工業安全之防護工作，期使高科技產業之投資環境更為完善。
2.2.1 高科技廠營運延續計畫
做好科技廠房安全管理，不僅保障勞工的基本生存權與工作權，保障 企業持續發展與永續經營，更能維護社會安定及人力資源，增進經濟發展 及國際競爭力。但也不可否認不管天災或人為的意外災害，皆有發生的機 率，尤其在園區內高科技廠林立工作人口密集，不但意外發生事故機率較 高，而且不幸一旦發生損失就非常慘重，前述所舉的火災案例即可証明。
以往不論政府部門、學界與社會大眾均有將緊急事故視為突發的單一事件 之趨勢，有人甚至將其作為，明顯侷限於消防救災等技術活動上。然衡諸 實際，將緊急事故視為單一事件進行緊急事故管理，其所能發揮的效果有 限。因此，現在較新的風險管理觀念是摒除將緊急事故視為單一突發的觀 念，認為緊急事故係一持續發展的過程，緊急事故作為不僅是單純的救災 等控制或處理活動，而是全面性、長期性的管理政策之規劃與執行過程。
以美國聯邦緊急事故管理署(Federal Emergency Management
Agency，簡稱 FEMA)與作為該署運作基礎的「整合性緊急事故管理體系」
(Integrated Emergency Management System，簡稱 IEMS)內容與運作架 構為例來看，可知緊急事故管理體系是基於緊急事故演化(Emergency Evolution)的概念，將緊急事故管理過程分為四階段的管理：
(1) 減災階段(Mitigation) (2) 整備階段(Preparedness) (3) 應變階段(Response) (4) 復原階段(Recovery)
在緊急事故管理對策與活動的四階段演化過程中，緊急事故的緊急應 變管理主要是著重於應變階段，雖各階段皆相互具有關聯性，但緊急事故 緊急應變管理的演化過程中，當事件(event)發生後，即面臨到危機管理，
透過救災指揮體系的運作，如災害應變中心、救災行動與策略等，反映出
損失或是災難的情況。
高科技廠對於風險管理，普遍皆會建立營運延續計畫(圖 8)，簡稱 BCP(Business Continuity Plan)，以避免或降低營運中斷所造成的損失，
因應災害後的危機應變，以維持企業永續經營、維持企業價值及優勢，進 而擴大市場占有率。BCP 計劃有三個階段，各階段則建立流程圖與細項說 明。
1.緊急應變(Emergency Response)
此階段執行時機為事故發生後 1 小時內所採取的行動，如人員傷亡、
火災爆炸、化學物品外洩、毒性氣體洩漏、水災、地震等事故。事件發生 後的數分鐘內所採取的行動，是決定災害損失大小的最重要關鍵因素。先 就就各種預期災害擬定緊急應變行動綱領，評估相關現場環境、人力、器 材、消防設施等可用資源，並對員工施與訓練及演練，使緊急應變小組(ERT) 能確實發揮救災功能。
2.危機管理(Crisis Management)
此階段執行時機，事故發生後 1 小時~2 天所採取的行動，為緊急應變 後 2~5 天內，溝通協調為本階段最重要的工作，包含所有的對外聯絡、如 何應付媒體、主管官署以及股東，如何與所有員工以及員工家屬溝通？這 些都是危機處理小組必須具備的能力。一個有效的危機處理計畫，可以幫 助企業主管，縱使身處緊急壓力下，亦能迅速有效做決定，並能與社會大 眾做好有效的溝通，以保持公司的正面形象。
3.營運復原(Business Recovery)
執行時機，事故發生後 1 天~1 個月所採取的行動，為危機管理後實 施，視狀況延長或縮短。先制定一系列復原流程，依照流程即時而有效的 執行，逐步恢復企業運作，以降低對企業的衝擊。復原計畫應包括：
(1)確認恢復企業營運所需的重要資源及能源，如：電力、通訊、原 物料、供應商、電腦軟體、技術文件等。
(2)各種營運替代方案及風險評估，至少需多少時間恢復。
(3)企業營運復原的策略與執行步驟。
復原工作所需的資源詳細載入正式的復原計畫中，建立文件與備案，
各相關部門充分溝通，予以演練測試並修正，以確保在災難發生時能夠有
效執行。
圖 8 高科技廠營運延續計畫
2.2.2 高科技廠防護設施（Facility Description）
近年來因科技快速創新發展，使產品往微小化與高精密化方向設計。
如超大型積體電路( VLSI，Very Large Scale Integrated Circuit ) 及 極大型積體電路 ( ULSI，Ultra Large Scale Integrated Circuit ) 之 研究製造。然此精密產業，對於空氣中之浮游粒子、粉塵等之污染極為敏
而國際標準組織（International Organization for
Standardization；ISO）也有訂定其標準，在 ISO-14644 內容定義無塵室 為『一可控制室內懸浮微粒濃度房間，建構目的是使室內微粒之生成、帶
超大粒子針對範圍外粒子。ISO 等級本身歸類為 ISO Class 1 到 ISO Class 9，其允許上限的定義是大於等於該粒徑的微粒數，數目字如下表，
單位是每立方公尺的微粒數（表 2-3，ISO-14644）
無塵室為一密閉式作業空間，內部有許多機具設備與多人於內部作 業。如果發生火災事故，將對無塵室內部機器設備、建築結構與工作人員 造成相當大損害與傷亡。所以無塵室於設計階段時，多會依據國內外消防 法規定或基準，於內部設置消防防護系統。無塵室進行消防防護系統設計 時，常參考基準或法規有台灣消防法規、美國防火協會 NFPA（National Fire Protection Association）與工廠互保協會 FM（Factory Mutual）
等相關法規。
無塵室內各系統有空調及循環系統、消防防護系統、電力系統、監控 系統及內部裝修等項目。無塵室設置消防防護系統時，一般依據國內消防 法規定設置，但因其特殊環境需求與保險公司要求，也多會參考國外先進 基準或設備，增設其防護系統。依現行所設置系統區別概分為，自動撒水 系統（Automatic Sprinkler system）、消防水系統(Hydrant Extinguish system)、二氧化碳滅火系統、火警系統(Fire alarm system)、極早期火 警偵測系統(Very Early Sampling fire detection system)、緊急排煙 系統(Dedicated smoke extraction system)與被動式防火系統（Fire Stop system）。
1.自動撒水系統（Automatic Sprinkler system）：
無塵室內之自動撒水系統依 NFPA13 安裝，如果設計面積大於 3000ft2 (278.8m2)，水力設計之密度為 0.2gpm/ft2 (8.15 Lpm/m2) 設計，且採用 濕式（Wet type）撒水方式，水量設計多依照 NFPA 318 規定。無塵室之 氣流為向下流式（down- flow）設計，所以除天花板上層區域可使用一般 型撒水頭外，其餘皆採用 FM 認證快速反應型撒水頭，並外加防撞保護蓋。
快速反應型灑水頭反應時間指標(RT I)則必須在五十以下，一般型灑水頭 RTI 為八十以上。
各撒水分區均設有獨立之警報逆止閥，並延伸至回風區、夾層區 (Plenum)、可燃性材質結構(如 PP、PVC、FRP 等)之濕洗槽(使用易燃性溶 劑或有熱源供應者)、晶元暫存倉內(stocker)等。為避免可燃性氣體於風 管輸送時發生火災，風管自動灑水系統多設置於管路直徑大於 10 inch 且 使用塑膠材質之可燃性排氣管內，以防止排氣管廢氣燃燒，另內裝易燃性
氣體氣瓶櫃如放置於無塵室內者其內部也會裝設撒水頭。撒水管路之管路 防震固定均依照 NFPA13 之規定設置。
2.氣體自動滅火設備
氣體自動滅火系統使用之藥劑種類包括有二氧化碳、FM200 及海龍替 代品等滅火藥劑。設置氣體自動滅火系統之設備及場所，如各式機房、電 腦房、控制室、濕洗槽等場所(設備)及其他不適用灑水系統之密閉式空間。
氣體自動滅火系統應考量之重要配套設施，如系統延遲啟動裝置(人 員撤離及警訊確認時間)，另啟動探測器應採偵煙及差動型連動設置，避 免發生誤動作。火警探測器及氣體動滅火系統儘可能延伸至設有高架地板 之夾層內。氣體噴灑動作應連動關閉所有開口、門窗及空調等設施，避免 氣體無法蓄積於密閉空間而影響滅火效能。氣體鋼瓶起動閥應設定於自動 位置。
因無塵室內設置許多容易發生火災高風險機台，所以設置製造商多會 為此機台設置其附屬二氧化碳自動滅火系統（CO2 Extinguish system），
當機台發生火災，內部偵測器偵測到火災訊號時，立即可自動啟動其附屬 CO2滅火系統滅火，常見設有附屬動 CO2滅火系統機台如 Wet Bench、
semi-tool、wafer stock 與光阻櫃等。
3.火警系統：
火警系統主要需具有偵測、監視、控制、連動等功能。一般於應變中 心設置智慧型火警受信總機進行監控作業，當現場發生火災時，由現場火 警探測器偵測後，將火警訊號傳回受信總機進行應變動作，如火警警鈴鳴 動、緊急自動語音廣播、連動防火門、排煙閘門、啟動排煙風車等。無塵 室內探測器多採用偵煙式感知器，主要安裝區域包含室內生產區域天花板 上層區域、各獨立房間及迴風道內。所有管線之配置均須依照國內建築法 規之〞屋內線路裝置規則〞及相關消防法規施工，多配置 EMT 管或金屬軟 管，防止各類干擾及必要之保護措施，電纜耐然等級需滿足國內法規規定。
火燄(光電)式探測器會應裝設於矽烷等自燃性及易燃性氣體之氣瓶 櫃或製程機台內。火警受信總機會裝設於於 24 小時有專人監視之場所，
常設置於廠務值班室、警衛室或無塵室監控室。
4.極早期火警偵測系統：
因無塵室內特殊氣流運作狀況，一般傳統式偵煙探測器可能無法於火
災發生時立即偵測發現，所以能夠於火災初期發生即可偵測到之及早期火 警偵測系統普遍被設置於無塵室環境內。極早期火警偵測系統（Very Early Smoke Detector Active；VESDA）（或另稱為High Sensitive Smoke Detection system；HSSD），其多以定時主動抽氣取樣分析的方式，分析 空氣中煙霧粒子的濃度，以判定是否有火災發生。極早型火警偵測系統於 無塵室內多安裝於回風口(道)之新鮮空氣混合點前處、高架地板下、電力
災發生時立即偵測發現，所以能夠於火災初期發生即可偵測到之及早期火 警偵測系統普遍被設置於無塵室環境內。極早期火警偵測系統（Very Early Smoke Detector Active；VESDA）（或另稱為High Sensitive Smoke Detection system；HSSD），其多以定時主動抽氣取樣分析的方式，分析 空氣中煙霧粒子的濃度，以判定是否有火災發生。極早型火警偵測系統於 無塵室內多安裝於回風口(道)之新鮮空氣混合點前處、高架地板下、電力