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第四章 被動式 Q 開關雷射(PQS laser)

4.1 Q 開關簡介

4.1.1 Q 開關的種類

Q 開關的種類依其控制方式可分為主動式(Active Q-switch)與被動式 (Passive Q-switch)兩種:

1. 主動式 Q 開關:可藉由外部機制控制開關的重複率。目前主要的機制 有:機械式 Q 開關(Mechanical Q-switch)、電光式 Q 開關(Electro-optic Q-switch)、聲光式 Q 開關(Acousto-optic Q-switch) …等(參照圖 4-2)。

2. 被動式 Q 開關:開關的重複率決定於材料特性,無法藉由外部機制控 制。早期使用染料(dye)作為飽和吸收體(saturable absorber),但其除了 有易變質、具有毒性、需經常更換…等缺點,有機染料更對 UV 光敏 感,造成使用上的困擾。近年來,染料已被固態晶體所取代(如 Cr4+:YAG) (參照圖 4-3)。

表 4-1 為各種 Q 開關技術優劣的比較。

4.1.2 主動式 主動式 主動式 主動式 Q 開關動作機制 開關動作機制 開關動作機制 開關動作機制

主動式 Q 開關主要有三種類型:機械式 Q 開關(Mechanical Q-switch)、

電光式 Q 開關(Electro-optic Q-switch)、聲光式 Q 開關(Acousto-optic Q-switch)。

1. 機械式 Q 開關(Mechanical Q-switch):使用高轉速馬達轉動菱鏡以達到 高重複率的脈衝輸出。其優點是成本低廉、構造簡單;缺點是馬達壽 命短、開關速度緩慢、雷射穩定性差。

2. 電光式 Q 開關(Electro-optic Q-switch):於共振腔內置入電光晶體與偏 振片,藉由控制輸入電光晶體的電壓,改變入射光的偏振方向,造成 共振腔內損耗,達到啟閉 Q 開關的作用。其優點是:反應速度快、適 用於高增益的連續波雷射與高尖峰功率的脈衝雷射;缺點是:易潮解、

價格昂貴、損壞閾值低。

3. 聲光式 Q 開關(Acousto-optic Q-switch):於共振腔內置入聲光晶體,藉 由控制輸入的射頻(RF,Radio Frequency),對該聲光晶體產生壓力波 變化,當入射光通過該聲光晶體時,會因射頻輸入的不同,而產生不 同的繞射現象。其作用有如一個光學的相位光柵,當入射光進入此光 柵,大部份會因繞射而偏離原本方向,形成布拉格散射(Bragg scattering) 的效果。其優點是:高損壞閾值、關閉 Q 開關(OFF)時損耗低、關閉 RF 訊號即可轉換成連續波雷射;缺點是:僅適用於低增益雷射。

4.1.3 被動式 被動式 被動式 被動式 Q 開關作動機制 開關作動機制 開關作動機制 開關作動機制

被動式 Q 開關使用「飽和吸收體」(saturable absorber)作為控制 Q 開

關的材料,開關的重複率決定於材料特性,無法藉由外部機制控制。飽和 吸收體的穿透率會隨著入射光能量的增強而增加(參照圖 4-4),當入射光 能量不大時,飽和吸收體的穿透率較低,亦即會將大部分的入射光吸收,

此時 Q 開關 OFF;隨著入射光能量增強時,飽和吸收體的穿透率亦隨之

收入射光,Q 開關即切換至 ON,此時,自發輻射光子在共振腔內以極快 的速度來回共振放大,並於極短的時間內將累積的能量釋放出來,形成一 高峰值的雷射脈衝(參照圖 4-5)。飽和吸收體的優點是:成本低廉、脈衝 輸出穩定、使用簡單、體積小(雷射架構精巧)、高損傷閾值;缺點是:無 法控制脈衝重複率、時序擾動問題(jitter)較嚴重。能當作被動式 Q 開關材 料,至少須具備以下要件(參照圖 4-6):

- 基態能階的吸收能力強 (亦即基態能階的吸收截面積 σgs大) - 上能階的生命週期長 (易達到居量反轉)

- 基態能階的吸收截面積(σgs) > 上能階的吸收截面積 (σes)

4.1.4 Cr

4+

:YAG 飽和吸收體簡介 飽和吸收體簡介 飽和吸收體簡介 飽和吸收體簡介

目前被廣泛使用的飽和吸收體是 Cr4+:YAG 固態晶體,除了具備以上 三個被動式 Q 開關的要件(基態能階吸收能力強、上能階的生命週期長、

基態能階的吸收截面積 > 上能階的吸收截面積)之外,尚有以下優點:

- 在 1µm 附近有很好的吸收率,能匹配摻釹晶體的放射光譜。

- 光學品質佳(亦即切換至 ON 時透明度高) - 輸出穩定

- 耐受性高 - 高損傷閾值 - 熱導係數高

因為具備上述優點,Cr4+:YAG 常被使用於以摻釹晶體為增益介質的被動 式 Q 開關雷射系統中。

Cr4+:YAG 飽和吸收體的吸收係數(α0)與腔內能量(Ei)成反比,其關係 式如下所示:

α0(E) = α0 / (1+ Ei /Es) (4-2) Es = hv / σgs (4-3) Es 是飽和狀態下的單位面積能量,是為定值。σgs 則是基態能階的吸收截 面積。因此,當腔內的能量愈大(即 Ei愈大),飽和吸收體的吸收效率就愈 差,直到飽和吸收體無法再吸收入射光,此時,飽和吸收體會切換至透明 狀態,亦即 Q 開關 ON,讓自發輻射光子通過,並於腔內來回共振放大,

進而產生脈衝雷射。

然而,只要是介質,就一定會造成損耗,飽和吸收體亦不例外。無論 初始穿透率(T0)多高的飽和吸收體,就算是切換至 ON(完全透明狀態),仍 會 造 成 腔 內 最 基 本 的 能 量 損 耗 , 此 一 損 耗 稱 為 殘 餘 吸 收 (residual absorption),原因主要來自於兩方面:

- 基態能階的電子分布密度。當 Q 開關處於 ON(High-Q)時,基態能 階尚有電子存在,並吸收能量躍遷至激發態能階。

- 激發態能階的電子吸收能量後,往更高能階躍遷,此現象即是 Excited-State absorption (ESA)。

當 Q 開關處於 ON(High-Q)時,以上兩個現象皆會因電子吸收能量往高能 階躍遷,使飽和吸收體處於非飽和狀態,而造成腔內能量的基本損耗 (residual loss)。

圖 4-1 Q 開關動作示意圖

圖 4-2 主動式 Q 開關示意圖

圖 4-3 被動式 Q 開關示意圖 Laser crystal

Output coupler Input mirror

Q switch

Laser crystal

Output coupler Input mirror

Saturable absorber

表 4-1 各種 Q 開關技術優劣比較

圖 4-4 飽和吸收體穿透率與入射光能量關係圖

圖 4-6 飽和吸收體能階示意圖

Pump level

Upper state

σ

gs

τ

Ground state fast

slow

σ

es fast (ESA)

4.2 實驗架構 實驗架構 實驗架構 實驗架構

(1) 激發光源:806nm 二極體雷射

(2) 光纖直徑:400µm

(3) 增益介質:Nd:YLF (a-cut doping:0.8% 3x3x20 mm3, 3o-wedged)

(4) 被動式 Q 開關:Cr4+:YAG 固態晶體(初始穿透率 T0=80%、95%)

(5) 光學共振腔:腔長 5cm (凹平腔)

- 前鏡(Input mirror):曲率為 50cm (鍍膜:對於 808nm 具高穿透特性,

對於 1.05µm 具高反射特性)

- 輸出耦合鏡(Output Coupler):反射率為 50%、64%、70%、80%、

90%(鍍膜:對於 1.05µm 具反射特性)

圖 4-7 被動式 Q 開關雷射(PQS laser)實驗架構圖

Laser diode

Coupling lens Nd:YLF

Cr4+:YAG

Output coupler Input mirror

σ−polarization (1053nm) π−polarization (1047nm) b

c

φ

4.3 實驗結果與討論 實驗結果與討論 實驗結果與討論 實驗結果與討論

本實驗的增益介質使用的是 3o-wedged 的 Nd:YLF 晶體,如第三章所 述,當增益介質使用 3o-wedged 的 Nd:YLF 晶體時,無論前鏡的曲率與輸 出鏡(OC)的反射率,最大輸出時的波長均為 1053nm (σ 偏振方向)。其原 因可能是:晶體因為切了 3o-wedged,使得 π 偏振方向(1047nm)與 σ 偏振 方向 (1053nm)離開晶體的出射角度明顯不同,因此,我們可以藉由調整 OC 的傾角將純 π 偏振方向(1047nm)與純 σ 偏振方向(1053nm)選擇出來。π 偏振方向(1047nm)的增益雖然比 σ 偏振方向(1053nm)大,但因出射光角度 較大,造成損耗較大;而 σ 偏振方向(1053nm)的增益雖然比 π 偏振方向 (1047nm)小,卻因出射光角度較小而損耗較小,使得 σ 偏振方向(1053nm) 的總增益比 π 偏振方向(1047nm)大,因此,σ 偏振方向(1053nm)勝出。實 驗結果亦顯示,無論是連續波雷射或是脈衝雷射,σ 偏振方向(1053nm)的 輸出功率均高於 π 偏振方向(1047nm)。此外,脈衝雷射架構畢竟是在連續 波雷射架構中置入 Q 開關元件,或多或少會造成雷射共振腔的損耗,因 此,以同一偏振方向而言,脈衝雷射的輸出功率自然小於連續波雷射。

當飽和吸收體的初始穿透率(T0)愈大時,可視為共振腔內的損耗愈 小,因此,輸出功率愈高。飽和吸收體的初始穿透率愈大,也表示其愈易 達到吸收飽和的狀態,亦即 Q 開關的切換頻率愈高(脈衝重複率愈高)。飽 和吸收體的初始穿透率愈大,晶體能吸收的能量愈少,亦表示晶體內居量

反轉的電子亦愈少,因此,當 Q 開關切換至 ON 時,釋放能量的速度愈慢 (脈衝寬度愈寬)。綜上所述,我們可以得到以下推論:大體而言,飽和吸 收體的初始穿透率愈大,輸出功率會愈大、脈衝重複率會愈高、但脈衝寬 度會愈寬、平均脈衝能量會愈低、尖峰功率亦會愈低。

此外,並非輸出耦合鏡 (OC)的反射率愈高,雷射的輸出功率就愈大,

而是在輸出鏡反射率為某一最佳值時有最大輸出功率。其原因是因為:

- 當輸出鏡反射率愈小時,腔內損耗較大,因此,輸出能量較低。

- 當輸出鏡反射率愈大時,能量因大部份封存於共振腔內,以致輸出 能量較低。

1. 連續波雷射與被動式 連續波雷射與被動式 連續波雷射與被動式 Q 開關雷射的輸出功率比較 連續波雷射與被動式 開關雷射的輸出功率比較 開關雷射的輸出功率比較 開關雷射的輸出功率比較

無論是連續波雷射或是被動式 Q 開關雷射,σ 偏振方向(1053nm)的輸 出功率均比 π 偏振方向(1047nm)高。以同一偏振方向而言,被動式 Q 開關 雷射因置入 Q 開關造成共振腔損耗,所以輸出功率小於連續波雷射。此 外,飽和吸收體的初始穿透率(T0)愈高,表示腔內損耗愈小,所以輸出功 率愈高(參照圖 4-8)。

以 π 偏振方向(1047nm)而言,無論是連續波雷射或是被動式 Q 開關雷 射架構,均在輸出耦合鏡反射率為 80%時有最大輸出功率。

以 σ 偏振方向(1053nm)而言,在連續波雷射或飽和吸收體的初始穿透

率(T0)為 95%的被動式 Q 開關雷射架構下,輸出鏡的反射率愈大,輸出功

率愈大;而在飽和吸收體的初始穿透率(T0)為 80%的配置下,則在輸出耦 合鏡反射率為 70%時有最大輸出功率。

2. 被動式 被動式 被動式 Q 開關雷射的脈衝重複率比較 被動式 開關雷射的脈衝重複率比較 開關雷射的脈衝重複率比較 開關雷射的脈衝重複率比較

如前所述,當飽和吸收體的初始穿透率(T0)愈大,也表示其愈易達到 吸收飽和的狀態,亦即 Q 開關的切換頻率愈高(脈衝重複率愈高)。

實驗亦顯示,飽和吸收體的初始穿透率(T0)為 95%的被動式 Q 開關雷 射,其脈衝重複率高於初始穿透率(T0)為 80%的配置(參照圖 4-9)。且在相 同的配置下(前鏡曲率、輸出耦合鏡反射率、飽和吸收體初始穿透率皆相 同),σ 偏振方向(1053nm)的重複率會高於 π 偏振方向(1047nm)。

3. 被動式 被動式 被動式 Q 開關雷射的脈衝寬度比較 被動式 開關雷射的脈衝寬度比較 開關雷射的脈衝寬度比較 開關雷射的脈衝寬度比較

如前所述,飽和吸收體的初始穿透率愈大,晶體能吸收的能量愈少,

亦表示晶體內居量反轉的電子亦愈少,因此,當 Q 開關切換至 ON 時,釋 放能量的速度愈慢(脈衝寬度愈寬)。

實驗亦顯示,飽和吸收體的初始穿透率(T0)為 95%的被動式 Q 開關雷 射,其脈衝寬度大於初始穿透率(T0)為 80%的配置(參照圖 4-10)。

4. 被動式 被動式 被動式 Q 開關雷射的脈衝能量比較 被動式 開關雷射的脈衝能量比較 開關雷射的脈衝能量比較 開關雷射的脈衝能量比較

如前所述,無論是連續波雷射或是被動式 Q 開關雷射,σ 偏振方向

言,飽和吸收體的初始穿透率(T0)愈高,脈衝重複率愈高,且因腔內損耗 愈小,而使輸出功率愈高。由以下算式可得到雷射輸出的平均脈衝能量:

脈衝能量(J) = 輸出功率(W) / 脈衝重複率(Hz) (4-4) 實驗顯示,飽和吸收體的初始穿透率(T0)為 80%的被動式 Q 開關雷 射,其平均脈衝能量大於初始穿透率(T0)為 95%的配置(參照圖 4-11)。亦 即,飽和吸收體的初始穿透率(T0)愈高,平均脈衝能量愈低。此外,在相 同的配置下,σ 偏振方向(1053nm)的平均脈衝能量大於 π 偏振方向 (1047nm)。

5. 被動式 被動式 被動式 Q 開關雷射的尖峰功率比較 被動式 開關雷射的尖峰功率比較 開關雷射的尖峰功率比較 開關雷射的尖峰功率比較

如前所述,飽和吸收體的初始穿透率愈大,脈衝寬度愈寬,平均脈衝 能量愈低。由以下算式可得到雷射脈衝的尖峰功率:

尖峰功率(W) = 脈衝能量(J) / 脈衝寬度(s) (4-5) 實驗顯示,飽和吸收體的初始穿透率(T0)為 80%的被動式 Q 開關雷 射,其尖峰功率大於初始穿透率(T0)為 95%的配置(參照圖 4-12)。亦即,

飽和吸收體的初始穿透率(T0)愈高,尖峰功率愈低。

6. 被動式 被動式 被動式 Q 開關雷射在 被動式 開關雷射在 開關雷射在 π 偏振方向 開關雷射在 偏振方向 偏振方向 偏振方向(1047nm)與 與 與 與 σ 偏振方向 偏振方向 偏振方向 偏振方向 (1053nm)的穩定性比較 的穩定性比較 的穩定性比較 的穩定性比較

實驗顯示,在同一配置下,被動式 Q 開關 σ 偏振方向(1053nm)的脈衝

寬 度 與 π 偏 振 方 向 (1047nm) 差 不 多 , 但 重 複 率 會 高 於 π 偏 振 方 向 (1047nm),且脈衝輸出更穩定(參照圖 4-13)。亦即,σ 偏振方向(1053nm) 的表現優於 π 偏振方向(1047nm)。

圖 4-8 連續波雷射與被動式 Q 開關雷射(初始穿透率為 80%、95%)在 π 偏 振方向(1047nm)與 σ 偏振方向(1053nm)的輸出功率比較圖。

Reflectivity of output coupler (%)

40 50 60 70 80 90 100

O u tp u t p o w er ( W )

0 1 2 3 4 5 6

7

σ polarization, T0=80%

σ polarization, T0=95%

π polarization, T0=80%

π polarization, T0=95%

σ polarization, CW π polarization, CW

圖 4-9 被動式 Q 開關雷射(初始穿透率為 80%、95%)在 π 偏振方向(1047nm) 與 σ 偏振方向(1053nm)的脈衝重複率比較圖。

Reflectivity of output coupler (%)

40 50 60 70 80 90 100

P u ls e re p et it io n r at e (k H z)

0 10 20 30 40 50

σ polarization, T0=80%

σ polarization, T0=95%

π polarization, T0=80%

π polarization, T0=95%

圖 4-10 被動式 Q 開關雷射(初始穿透率為 80%、95%)在 π 偏振方向 (1047nm)與 σ 偏振方向(1053nm)的脈衝寬度比較圖。

Reflectivity of output coupler (%)

40 50 60 70 80 90 100

P u ls e w id th ( n s)

0 20 40 60 80 100 120 140

σ polarization, T0=80%

σ polarization, T0=95%

π polarization, T0=80%

π polarization, T0=95%

圖 4-11 被動式 Q 開關雷射(初始穿透率為 80%、95%)在 π 偏振方向 (1047nm)與 σ 偏振方向(1053nm)的脈衝能量比較圖。

Reflectivity of output coupler (%)

40 50 60 70 80 90 100

P u ls e en er g y ( µ J)

0 100 200 300 400 500

σ polarization, T0=80%

σ polarization, T0=95%

π polarization, T0=80%

π polarization, T0=95%

圖 4-12 被動式 Q 開關雷射(初始穿透率為 80%、95%)在 π 偏振方向 (1047nm)與 σ 偏振方向(1053nm)的尖峰功率比較圖。

Reflectivity of output coupler (%)

40 50 60 70 80 90 100

P ea k p o w er ( k W )

0 5 10 15 20 25 30 35

σ polarization, T0=80%

σ polarization, T0=95%

π polarization, T0=80%

π polarization, T0=95%

圖 4-13 被動式 Q 開關雷射在 π 偏振方向(1047nm)與 σ 偏振方向(1053nm) 的穩定性比較圖。

0

0

(a) σpolarization 500µs/div (b) σpolarization 20ns/div

(c) πpolarization 500µs/div (d) πpolarization 10ns/div

(c) πpolarization 500µs/div (d) πpolarization 10ns/div